一种基于样品热形变的自适应霍尔测量杆及测量方法技术

本发明专利技术提供了一种基于样品热形变的自适应霍尔测量杆及测量方法，属于材料测试领域。所述霍尔测量杆的真空腔体内，支撑杆、可动电极和可动霍尔探针的自由端均设置在引线腔体内上，依次穿过中间支撑件到测试腔体；可动电极和可动霍尔探针在穿线腔体内，各自穿过压簧和施力固件，施力固件各自固定在可动电极和可动霍尔探针上，且上端与压簧的下端固定连接；可动电极穿过样品台与电极斜劈的水平面接触，电极斜劈与固定电极从水平方向上可调节地夹持样品；可动霍尔探针穿过样品台中央孔与固定霍尔探针相对，从竖直方向上可调节地夹持样品，从而自适应地完成热形变下的样品夹持。本发明专利技术提高了提高对热形变样品电学参数测量的准确性和稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于材料测试领域，尤其涉及一种基于样品热形变的自适应霍尔测量杆及测量方法。

技术介绍

1、电输运性能是导体/半导体材料的关键参数，应用导体/半导体材料开发电子元器件时需要测试材料的电输运参数，而温度会显著影响材料的电输运参数。一方面，不同温度下导体/半导体材料样品的电输运参数本身会随温度发生变化，另一方面，温度变化时样品存在显著的热胀冷缩。当导体/半导体材料需要从低温到高温(70k～1300k)进行连续的电输运性能测试时，需要保证测试时发生热形变的样品，始终与探针保持良好的接触，以准确测量载流子浓度、迁移率等电输运参数。

2、现有技术中，对于存在热形变的样品，电输运参数的测量方法包括霍尔测量方法和范德堡测量法，这两种测量方法中，样品与探针/电极的接触方法是粘连或者螺钉固定。但是，粘连一般只适用于较低温度(<400k)的时候使用，且不易放样和取样；螺丝固定的方法是通过螺钉将具有一定弹性的探针和样品强力固定在一起，因不同使用者的拧紧力度，易造成样品的接触不良或者压碎样品；且当升温测量时，可能因热膨胀而挤碎样品；当降温测量时，因样品和本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于样品热形变的自适应霍尔测量杆，其特征在于，所述霍尔测量杆包括：真空腔体、支撑杆、样品台、电极、霍尔探针、热电偶、压簧和施力固件；其中，

2.根据权利要求1所述的基于样品热形变的自适应霍尔测量杆，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的基于样品热形变的自适应霍尔测量杆，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的基于样品热形变的自适应霍尔测量杆，其特征在于，换气孔对称设置在穿线腔体的中腰两侧。

5.根据权利要求3所述的基于样品热形变的自适应霍尔测量杆，其特征在于，在测试腔体中设置有调节弹簧的区域，对应的可动电极、可动霍尔探针及热电偶上，设...

【技术特征摘要】

1.一种基于样品热形变的自适应霍尔测量杆，其特征在于，所述霍尔测量杆包括：真空腔体、支撑杆、样品台、电极、霍尔探针、热电偶、压簧和施力固件；其中，

2.根据权利要求1所述的基于样品热形变的自适应霍尔测量杆，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的基于样品热形变的自适应霍尔测量杆，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的基于样品热形变的自适应霍尔测量杆，其特征在于，换气孔对称设置在穿线腔体的中腰两侧。

5.根据权利要求3所述的基于样品热形变的自适应霍尔测量杆，其特征在于，在测试腔体中设置有调节弹簧的区域，对应的可动电极、可动霍尔探针及热电偶上，设置有手持件。

6.根据权利要求5所述的基于样品热形变的自适应霍尔测量杆，其特征在于，所述引线腔体具有上下可拆卸的密封法兰，上侧设置引线口用于放入支撑杆、可动电极、可动霍尔探针和热电偶，下侧开口对接引线块，再与上引线柱实现卡位对接；引...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭坤岭，王国玉，周小元，
申请(专利权)人：南京理工大学，
类型：发明
国别省市：