【技术实现步骤摘要】
本技术涉及椭偏仪测试，尤其是指一种载台支架。
技术介绍
1、椭偏仪通过测量反射光p分量(振动方向在入射平面内)和s分量(振动方向垂直于入射平面)的振幅比和相位差，来获得膜层材料的相关性质，具体可测的参数包括膜层厚度、折射率、消光系数、介电常数、孔隙率和结晶度等。由于椭偏测量属非接触式测量，对样品无损伤，测量精度高以及可测多层薄膜等优势，被广泛应用于晶圆检测、微纳结构器件制造、工艺在线控制、材料研究、生物医学检测等领域。
2、现有的椭偏仪光斑定位主要依靠样品台上方的显微镜成像系统，调整显微镜成像系统，使显微镜成像系统观测界面中的捕捉框位于光斑上，开始椭偏测量，但是只能进行定点检测，在对不同大小、形状和厚度的晶圆产品进行膜厚检测时，需要调整聚焦组件或晶圆产品位置，调整聚焦组件进行检测较为麻烦，且聚焦组件反复变向移动会导致轻微变形降低检测精度，调整晶圆产品位置也难以保证调整精度，且容易损伤晶圆。
技术实现思路
1、为此，本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中椭偏仪只能进行定点检测...
【技术保护点】
1.一种载台支架，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种载台支架，其特征在于：所述载台组件包括：台面、多个贯穿于所述台面厚度的气孔、开设于所述台面一侧的取料槽，所述台面形状和待检测产品的尺寸相适配，所述气孔用于外接负压装置。
3.根据权利要求2所述的一种载台支架，其特征在于：所述台面沿圆周方向开设有多个弧形的调节槽、所述调节槽可拆卸地连接有多个定位件，所述定位件转动式设置于所述调节槽。
4.根据权利要求1或3所述的一种载台支架，其特征在于：所述第一支撑体的数量为两个，两个所述第一支撑体沿第一方向设置于支架本体，所述第二支撑...
【技术特征摘要】
1.一种载台支架，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种载台支架，其特征在于：所述载台组件包括：台面、多个贯穿于所述台面厚度的气孔、开设于所述台面一侧的取料槽，所述台面形状和待检测产品的尺寸相适配，所述气孔用于外接负压装置。
3.根据权利要求2所述的一种载台支架，其特征在于：所述台面沿圆周方向开设有多个弧形的调节槽、所述调节槽可拆卸地连接有多个定位件，所述定位件转动式设置于所述调节槽。
4.根据权利要求1或3所述的一种载台支架，其特征在于：所述第一支撑体的数量为两个，两个所述第一支撑体沿第一方向设置于支架本体，所述第二支撑体沿第二方向设置于第一平台，所述第一方向和第二方向相垂直，所述支架本体包括底座和沿第三方向设置的立架，所述第一支撑体设置在第一平台和支架本体的底座之间。
5.根据权利要求1所述的一种载台支架，其特征在于：所述第一调节组件和第二调节组件均包括：基体、设置于所述基体上的导轨、设置于所述导轨上的齿条、活动连接于所述基体和导轨的滑动座、以及转动连接于所述滑动座的齿轴，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：周铖，李浪浪，王涛，张晨，葛春雷，刘智超，
申请(专利权)人：苏州佳智彩光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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