【技术实现步骤摘要】
本技术涉及加热设备,特别是一种新型碳化硅加热设备。
技术介绍
1、碳化硅微粉的生产过程中会涉及到加热工序,加热作用主要体现在促进碳粉和硅粉之间的反应,通过外部加热保证硅和碳反应的持续进行,从而合成高质量的碳化硅粉料。这种加热过程不仅有助于提高碳化硅粉料的纯度,而且对于升华法生长半绝缘碳化硅单晶时,加热作用直接影响单晶的结晶质量和电学性质。此外,加热作用还有助于提高碳化硅粉料的纯度,这对于半导体产业等高新
的应用至关重要。上述方法不仅适用于实验室和小规模生产,也适合于对产品质量有特殊要求的场所生产。综上,加热作用在碳化硅微粉的生产过程中扮演着关键角色,它不仅促进了原料的反应,还直接影响了最终产品的质量和应用领域。
2、现有技术中,特别生产规模不大的厂家等,受到资金或者其他因素影响,一般采用电加热炉进行碳化硅微粉的加热合成,具体应用中,工作人员打开炉门,把装有碳化硅微粉原料的加热金属箱放入电加热炉内,然后电加热炉的电加热管发热、对原料进行加热合成。上述操作过程,工作人员需要人为手动开闭炉门,特别
...【技术保护点】
1.新型碳化硅加热设备,包括底板、上支撑架、震动电机、电加热机构、电动滚筒式输送机构、电动直线滑台、风冷机构,其特征在于,所述电动滚筒式输送机构至少有两套,两套电动滚筒式输送机构的下部间隔距离分别安装在底板两端上、且两者之间的间距大于碳化硅微粉的生产箱体宽度,至少两套上支撑架的下端分别安装在两套电动滚筒式输送机构两侧端,两套上支撑架上端之间安装有固定板,至少两套电动直线滑台分别安装在固定板下侧,两套电动直线滑台的滑动块下端安装有连接板;所述电加热机构包括罩壳、下加热壳、电动推杆、直线轴承、电加热管,多套电加热管分别安装在罩壳、下加热壳内,直线轴承、电动推杆的上端分别安
...【技术特征摘要】
1.新型碳化硅加热设备,包括底板、上支撑架、震动电机、电加热机构、电动滚筒式输送机构、电动直线滑台、风冷机构,其特征在于,所述电动滚筒式输送机构至少有两套,两套电动滚筒式输送机构的下部间隔距离分别安装在底板两端上、且两者之间的间距大于碳化硅微粉的生产箱体宽度,至少两套上支撑架的下端分别安装在两套电动滚筒式输送机构两侧端,两套上支撑架上端之间安装有固定板,至少两套电动直线滑台分别安装在固定板下侧,两套电动直线滑台的滑动块下端安装有连接板;所述电加热机构包括罩壳、下加热壳、电动推杆、直线轴承、电加热管,多套电加热管分别安装在罩壳、下加热壳内,直线轴承、电动推杆的上端分别安装在连接板下端,电动推杆、直线轴承的下端分别安装在罩壳上端外;所述下加热壳的下端安装有安装壳,震动电机的安装在安装壳内,安装壳安装在两套电动滚筒式输送机构之间;所述风冷机构安装在底板一侧。
2.根据权利要求1所述的新型碳化硅加热设备,其特征在于,下加热壳的外部尺寸大于罩壳的外部尺寸。
<...【专利技术属性】
技术研发人员:席建明,
申请(专利权)人:上海泛翌新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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