三维电感器及制造其的方法技术

技术编号:45601662 阅读:15 留言:0更新日期:2025-06-20 22:23
公开了三维电感器及制造其的方法。所述三维电感器包括基底、多条第一水平布线、多条第二水平布线和多条竖直布线,所述多条第一水平布线在基底的上表面上方,所述多条第二水平布线在基底的背表面上方,其中,所述多条竖直布线将所述多条第一水平布线连接到所述多条第二水平布线以形成螺旋体。

【技术实现步骤摘要】

专利技术构思的各种示例实施例涉及电感器,并且更具体地,涉及集成电路型三维(3d)电感器、制造3d电感器的方法和/或在射频(rf)电路中使用3d电感器的方法等。


技术介绍

1、电感器与电阻器和电容器一起是电气和电子工程中(特别是在通信的领域中)的必要无源器件。

2、虽然模拟集成电路通常使用电阻器和电容器,但是在通信装置中使用的rf电路附加地需要电感器。使用电阻器和电容器的装置在高频范围内具有减小的电压增益。然而,电感器可在与电容器谐振的同时以较高的频率操作,并且由于在电感器中发生微不足道的电压降,因此电感器可进行操作,同时提供适当的电压增益。

3、随着无线通信演进和待发送的信息的量增大,更高的频率被使用,并且更高性能装置被期望和/或要求。另一方面,为了实现适合于在便携式通信装置(诸如,移动电话)中使用的小型化和集成化,存在对针对大尺寸电感器的设计解决方案的大的需要。

4、为了满足通信装置的小型化和集成化的需求,多个无源器件被集成在片上(on-chip),并且因此,与片外(off-chip)实现相比,器件的数量可减少。为此,本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种三维电感器,包括:

2.如权利要求1所述的三维电感器,其中,

3.如权利要求1所述的三维电感器,其中,

4.如权利要求1所述的三维电感器,其中,所述多条竖直布线具有相同的长度并且彼此平行。

5.如权利要求1所述的三维电感器,其中,所述多条第一水平布线包括超厚金属。

6.如权利要求1所述的三维电感器,其中,

7.如权利要求1所述的三维电感器,其中,所述多条第二水平布线包括背侧金属。

8.如权利要求1至7中任一项所述的三维电感器,其中,

9.如权利要求1至7中任一项所述的三维电感器,其中,...

【技术特征摘要】

1.一种三维电感器,包括:

2.如权利要求1所述的三维电感器,其中,

3.如权利要求1所述的三维电感器,其中,

4.如权利要求1所述的三维电感器,其中,所述多条竖直布线具有相同的长度并且彼此平行。

5.如权利要求1所述的三维电感器,其中,所述多条第一水平布线包括超厚金属。

6.如权利要求1所述的三维电感器,其中,

7.如权利要求1所述的三维电感器,其中,所述多条第二水平布线包括背侧金属。

8.如权利要求1至7中任一项所述的三维电感器,其中,

9.如权利要求1至7中任一项所述的三维电感器,其中,基底还包括:

10.一种三维电感器,包括:

11.如权利要求10所述的三维电感器,其中,

12.如权利要求10所述的三维电感器,其中,所述两个端子分别连接到所述多条第一水...

【专利技术属性】
技术研发人员:韩相昱李庆民李景洙许峻豪
申请(专利权)人:三星电子株式会社
类型:发明
国别省市:

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