一种用于硅片切割的冷却装置制造方法及图纸

本技术提供一种用于硅片切割的冷却装置，涉及硅片加工技术领域，包括切割台和切割线，所述切割台的表面开设有凹槽，所述凹槽的内壁底部固定连接有定位架，所述定位架的侧面设有转把，所述转把的一侧固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的另一侧活动连接有夹具，所述夹具的顶部固定安装有风机，转动转把使两侧的夹具相互靠近，对硅片进行夹持固定，夹具顶部安装的风机，能够将切割完成之后硅片顶部粘附的冷却液和碎屑吹落，水泵将储液仓内部的冷却液抽向喷头喷出，对硅片切割位置进行喷淋降温，当切割位置变化时，驱动电机带动丝杆旋转使活动块在其表面移动，避免出现切割位置变化时冷却液无法及时喷淋降温的情况。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片加工，尤其涉及一种用于硅片切割的冷却装置。

技术介绍

1、冷却装置是硅片切割过程中必不可少的附件，冷却液通过冷却装置对钢线进行冷却和润滑，目的是降低钢线与硅片摩擦而产生的热量，并清洗钢线表面裹敷着的硅粉以及硅片与硅片之间夹杂的硅粉，以提高钢线的润滑效果，保证钢线的切割速度，同时也降低钢线断线率。

2、硅片在切割完成之后，其表面会粘附切削液和碎屑等物质，由于切削液内部存在过敏物质，需人员佩戴手套将其取下，降低了装置的实用性，另外，硅片在切割过程中，由于切割位置逐渐变化，但冷却装置通常用螺栓固定在某处，使得冷却液的喷出角度有限，无法充分对硅片进行喷淋降温。

技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决上述硅片在切割完成之后，需人员佩戴手套将其取下，降低了装置的实用性，另外，硅片在切割过程中，冷却液的喷出角度有限，无法充分对硅片进行喷淋降温的问题，而提出的一种用于硅片切割的冷却装置。

2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种用于硅片切割的冷却装置，包括切割台和切割线，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于硅片切割的冷却装置，包括切割台(1)和切割线(11)，其特征在于：所述切割台(1)的表面开设有凹槽(101)，所述凹槽(101)的内壁顶部开设有安装槽(102)，所述切割台(1)的顶部固定安装有储液仓(13)，所述凹槽(101)的内壁顶部固定连接有安装板(14)，所述凹槽(101)的内壁底部固定连接有定位架(2)数量为两个，所述定位架(2)的侧面设有转把(21)，所述转把(21)的一侧固定连接有螺纹杆(22)，所述螺纹杆(22)的表面与定位架(2)的内壁螺纹连接，所述定位架(2)的外壁一侧固定连接有导杆(23)，所述螺纹杆(22)的另一侧活动连接有夹具(3)，所述夹具(3)的...

【技术特征摘要】

1.一种用于硅片切割的冷却装置，包括切割台(1)和切割线(11)，其特征在于：所述切割台(1)的表面开设有凹槽(101)，所述凹槽(101)的内壁顶部开设有安装槽(102)，所述切割台(1)的顶部固定安装有储液仓(13)，所述凹槽(101)的内壁顶部固定连接有安装板(14)，所述凹槽(101)的内壁底部固定连接有定位架(2)数量为两个，所述定位架(2)的侧面设有转把(21)，所述转把(21)的一侧固定连接有螺纹杆(22)，所述螺纹杆(22)的表面与定位架(2)的内壁螺纹连接，所述定位架(2)的外壁一侧固定连接有导杆(23)，所述螺纹杆(22)的另一侧活动连接有夹具(3)，所述夹具(3)的后端固定连接有滑块(31)，所述滑块(31)滑动安装在导杆(23)的表面，所述夹具(3)的顶部固定安装有风机(4)，所述安装板(14)的一侧固定安装有水泵(5)，所述切割台(1)的表面固定安装有驱动电机(6)。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片切割的冷却装置，其特征在于：所述凹槽(101)的内壁底部固定安装有挡板(12)，所述挡板(12)位于定位架(2)的后端，所述风机(4)处于倾斜状态。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片切割的冷却装置，其特征在于：所述储液仓(13)的底部固定连接有导液管...

【专利技术属性】
技术研发人员：焦凌宵，陈斯奇，李雷，
申请(专利权)人：上海巴豪能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：