一种半导体激光器制造技术

本申请公开了一种半导体激光器。半导体激光器包括：管壳，包括底座和壁座，底座具有第一安装面，壁座设置于底座的第一安装面上且设有垂直于第一安装面的第二安装面；多路准直光路组，均设置于第一安装面上，用于沿平行于第一安装面的第一方向出射多路准直光束；多路反射镜组，均包括沿第二方向间隔设置于第二安装面的底部反射镜和合束反射镜，各反射镜组对应于各准直光路组设置，底部反射镜将沿第一方向传输的准直光束反射成沿平行于第二安装面的第二方向传输至合束反射镜，各合束反射镜的反射面均以预设角度设置于第二安装面上，使得在后的合束反射镜用于抬升对应的准直光束，以越过在前的合束发射镜；斜方棱镜，斜方棱镜设置于多路反射镜组的出射光路上，用于对各准直光束进行倾斜补偿，使得各准直光束沿平行于第一安装面及第二安装面的第三方向出射。通过上述方式，本申请提供的半导体激光器能够对其内的激光器芯片均匀散热，底座的冷却水道易于加工，光路整形装调难度小，且也可有效减小半导体激光器的体积。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体激光器领域，特别是涉及一种半导体激光器。

技术介绍

1、目前，大多数多单管半导体激光器在合束时采用阶梯结构，底板放置半导体激光器芯片的位置被加工成一定间距的台阶。这种方案主要缺点在于：1、对底板台阶平行度及台阶间距的加工精度要求较高；2、由于台阶的存在使得冷却水道需倾斜加工，增大底板水道加工难度；3、台阶高度差导致半导体激光器芯片散热不均；4、为增加合束芯片数量必须压缩台阶间距，从而增大光学装调难度，降低产品良率；5光路在同一平面，激光器整体体积较大。

2、针对上述问题，一些专利技术通过倾斜光路替代台阶，分离单管半导体激光器芯片光路，降低台阶的不良影响。但上述方案受光路倾斜角变形影响严重，尤其随着芯片数量的增多，光路整形难度增加显著，并且无法减小激光体积。

技术实现思路

1、本申请主要提供一种半导体激光器，以解决现有半导体激光器中散热不均、光路整形装调难度大及体积大的问题。

2、为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种半导体激光器。所述半导体激光器包括：本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体激光器，其特征在于，所述半导体激光器包括：

2.根据权利要求1所述的半导体激光器，其特征在于，各所述合束反射镜设置于同一高度处，所述第一安装面和所述第二安装面均为平面。

3.根据权利要求1所述的半导体激光器，其特征在于，所述斜方棱镜的入射面满足下述式【1】及式【2】：

4.根据权利要求3所述的半导体激光器，其特征在于，所述斜方棱镜的入射面及出射面之间还设置有反射面，各所述准直光束入射至所述反射面时，在与所述第一安装面平行的平面内偏转-α。

5.根据权利要求3所述的半导体激光器，其特征在于，所述斜方棱镜的入射面及出射面之间还设置...

【技术特征摘要】

1.一种半导体激光器，其特征在于，所述半导体激光器包括：

2.根据权利要求1所述的半导体激光器，其特征在于，各所述合束反射镜设置于同一高度处，所述第一安装面和所述第二安装面均为平面。

3.根据权利要求1所述的半导体激光器，其特征在于，所述斜方棱镜的入射面满足下述式【1】及式【2】：

4.根据权利要求3所述的半导体激光器，其特征在于，所述斜方棱镜的入射面及出射面之间还设置有反射面，各所述准直光束入射至所述反射面时，在与所述第一安装面平行的平面内偏转-α。

5.根据权利要求3所述的半导体激光器，其特征在于，所述斜方棱镜的入射面及出射面之间还设置有反射面，各所述准直光束入射至所述反射面时，在与所述第一安装面平行的平面内偏转180°-α。

6.根据权利要求1所述的半导体激光器，其特征在于，所述底座包括设有所述安装面的底壁，所述壁座为连接所述底壁一侧的侧壁；或

7.根据权利要求1所述的半导体激光器，其特征在于，所述底座包括设有所述安装面的底壁，所述壁座为连接于所述底壁上的隔板，从而将所述底壁的安装面划分...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋峰，吕张勇，刘赫，李权，邱小兵，李菡，徐俊秋，李永高，
申请(专利权)人：深圳市创鑫激光股份有限公司，
类型：新型
国别省市：