一种软启动真空挡板阀制造技术

技术编号:45546643 阅读:12 留言:0更新日期:2025-06-17 18:20
本发明专利技术公开了一种软启动真空挡板阀,涉及挡板阀技术领域。本发明专利技术包含拉孔管、软抽管、两组气动伸缩缸及同轴储压增压组件。阀体采用双通道串联泄压:首先通过软抽管微量均压,再由拉孔管完全导通,实现低冲击启闭。伸缩缸经切换阀芯与旋转密封环联动,自动切换推动/复位通路并同步排气。储压桶内置增压簧‑活塞板,既可由电机驱动涡轮压气,也能接入外部气源在停电时维持高压。多级密封配以波纹管补偿提升寿命,防护外壳与止回补气孔确保过压缓释和单向进气。该结构在同轴空间内集成软启动、双能源自增压及自适应排气功能,可显著降低压差冲击、延长密封寿命并提高断电工况下的可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及挡板阀,具体为一种软启动真空挡板阀


技术介绍

1、在半导体封装、精密镀膜、航天发动机试验等对真空工艺高度敏感的场合,真空挡板阀是实现抽空、隔断与保压的核心元件。现有主流产品多采用单级直驱式活塞结构:阀板借助气动(或电-液联合)活塞一次性在“全闭”与“全开”两个极端位置间切换,以追求结构简单和响应速度。然而,这种设计在实际运行中暴露出以下两大关键缺陷:冲击负压问题,瞬时压差激增:阀板全开瞬间,真空腔体与常压侧的压差可在毫秒级完成平衡,形成剧烈的脉冲气流;对于线宽仅纳米级的光刻机、分子束外延炉等工艺设备,这种脉冲足以引发晶圆台微振或污染颗粒二次悬浮,直接降低良率。冲击波与振动耦合:高速膨胀气团在管路中传播时会在弯头、阀座与密封面反复反射,造成局部超音速激波和压力过冲,不但冲刷密封圈,还使阀板产生高频扭振,缩短密封件和导向件寿命。热-力冲击复合效应:急剧压差变化伴随温度梯度突增,致使金属阀体和陶瓷涂层之间的热膨胀失配,长期循环后易出现微裂纹或镀层剥离,增加真空泄漏风险。


技术实现思路

1、为克服上述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种软启动真空挡板阀,其特征在于:包括拉孔管(104),拉孔管(104)的其中一端固定配设有主体密封块(107),拉孔管(104)外表面的径向和主体密封块(107)的轴向上分别固定连通配设有第一连接嘴(105)和第二连接嘴(106);主体密封块(107)的径向方向固定连通设置有软抽管(115),软抽管(115)与主体密封块(107)的连接处固定设置有软抽通气口(110),软抽管(115)与主体密封块(107)之间通过软抽通气口(110)连通设置,软抽管(115)与拉孔管(104)内部通过泄压口(108)连通设置,其中主体密封块(107)和软抽通气口(110)的端面分别接触密封配设有主...

【技术特征摘要】

1.一种软启动真空挡板阀,其特征在于:包括拉孔管(104),拉孔管(104)的其中一端固定配设有主体密封块(107),拉孔管(104)外表面的径向和主体密封块(107)的轴向上分别固定连通配设有第一连接嘴(105)和第二连接嘴(106);主体密封块(107)的径向方向固定连通设置有软抽管(115),软抽管(115)与主体密封块(107)的连接处固定设置有软抽通气口(110),软抽管(115)与主体密封块(107)之间通过软抽通气口(110)连通设置,软抽管(115)与拉孔管(104)内部通过泄压口(108)连通设置,其中主体密封块(107)和软抽通气口(110)的端面分别接触密封配设有主密封板(103)和软抽密封板(109),拉孔管(104)远离主体密封块(107)的一端和软抽管(115)远离主体密封块(107)的一端均固定配设有气动伸缩缸(101),气动伸缩缸(101)内部滑动密封设置有活塞块(102),两个气动伸缩缸(101)中的活塞块(102)均通过心轴(111)与对的主密封板(103)或软抽密封板(109)固定配设,其中心轴(111)外侧环绕密封套设有波纹管(112),波纹管(112)的内侧设置有弹簧,弹簧环绕在心轴(111)外侧,两个弹簧用于将主密封板(103)和软抽密封板(109)与对应的主体密封块(107)和软抽通气口(110)抵触。

2.根据权利要求1所述的一种软启动真空挡板阀,其特征在于:每个气动伸缩缸(101)的外侧均固定配设有驱动部,驱动部包括与气动伸缩缸(101)内部连通设置的复位气压管(205)和推动气压管(203),其中推动气压管(203)与气动伸缩缸(101)的轴线位置固定连通,复位气压管(205)与气动伸缩缸(101)外表面的径向位置固定连通,推动气压管(203)和复位气压管(205)用于向气动伸缩缸(101)内供给气体,用于驱动活塞块(102)在气动伸缩缸(101)内壁滑动。

3.根据权利要求2所述的一种软启动真空挡板阀,其特征在于:推动气压管(203)和复位气压管(205)之间通过切换阀体(204)连通设置,切换阀体(204)上还连通设置有输入气压管(206),推动气压管(203)、复位气压管(205)、输入气压管(206)在切换阀体(204)处交接,并且推动气压管(203)、复位气压管(205)、输入气压管(206)在切换阀体(204)交接处的轴线呈t字形;切换阀体(204)内壁旋转密封设置有切换阀芯(219),切换阀芯(219)内部开设有t形流动通道(221),t形流动通道(221)用于将输入气压管(206)与推动气压管(203)或复位气压管(205)内部连通。

4.根据权利要求3所述的一种软启动真空挡板阀,其特征在于:两个驱动部中的输入气压管(206)之间通过三通分压管道(113)连通设置,并且三通分压管道(113)与两个输入气压管(206)的连接路径上均串联安装有电动阀门(114),三通分压管道(113)的另一端通过气体储压桶排气管(3...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘永王倩倩
申请(专利权)人:苏州迈格诺科洁净材料有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1