【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种零件测试设备，尤其涉及的是一种热流仪。
技术介绍
1、在半导体及元器件的制造过程中，需通过极端温度环境(如快速温变、高温/低温循环)进行性能测试与可靠性验证。传统温度试验箱存在以下局限性：(1)温变速率低：无法实现秒级快速温变，延长测试周期；(2)空间占用大：设备体积庞大，难以适配紧凑型测试环境；(3)灵活性不足：依赖外部压缩空气源，限制使用场景(如无气源办公环境)。
2、热流仪因其局部精准控温、快速温变(秒级)及免移动测试件等优势成为优选方案，如cn202322594619.7－一种小体积立式热流仪，包括高温系统和低温系统，分布于上层与下层中，高温系统包括下层的高温系统压缩机(1)，将第一制冷剂压缩成高压高温的气体，并通入平行流换热器(2)，冷却成为高压低温液体；高压低温液体依次通入下层储液罐(5)、上层的膨胀阀(6)，第一制冷剂经过膨胀阀(6)膨胀成为低温低压的气液混合体后，依次进入上层的蒸发冷凝器(7)和空气预冷器(8)，而后回到高温系统压缩机(1)，第一制冷剂在蒸发冷凝器(7)中将冷量传递给低温系统...
【技术保护点】
1.基于斯特林制冷机的小型热流仪，其特征在于，包括机体，机体内连接气流控制系统、气流预冷系统、气流制冷系统；气流控制系统依次连接气流预冷系统、气流制冷系统、机体的顶端出气口、测试系统；多个气流制冷系统串联；
2.根据权利要求1所述的基于斯特林制冷机的小型热流仪，其特征在于，还包括电路板，电路板分别与气体预冷系统、气流制冷系统以及测试系统连接。
3.根据权利要求1所述的基于斯特林制冷机的小型热流仪，其特征在于，气流控制系统包括依次连接的干燥件、流量计、调节阀和第二电磁阀，干燥件、流量计、调节阀和第二电磁阀通过连接板连接在机体内壁上，干燥件的出气端...
【技术特征摘要】
1.基于斯特林制冷机的小型热流仪，其特征在于，包括机体，机体内连接气流控制系统、气流预冷系统、气流制冷系统；气流控制系统依次连接气流预冷系统、气流制冷系统、机体的顶端出气口、测试系统；多个气流制冷系统串联；
2.根据权利要求1所述的基于斯特林制冷机的小型热流仪，其特征在于，还包括电路板，电路板分别与气体预冷系统、气流制冷系统以及测试系统连接。
3.根据权利要求1所述的基于斯特林制冷机的小型热流仪，其特征在于，气流控制系统包括依次连接的干燥件、流量计、调节阀和第二电磁阀，干燥件、流量计、调节阀和第二电磁阀通过连接板连接在机体内壁上，干燥件的出气端连接气流预冷系统。
4.根据权利要求1所述的基于斯特林制冷机的小型热流仪，其特征在于，气体预冷系统包括tec制冷器、涡流机构，涡流机构连接在tec制冷器上，tec制冷器的进气端与气流控制系统连接，tec制冷器的出气口连接涡流机构的进气口，涡流机构的冷端与气流制冷系统连接。
5.根据权利要求4所述的基于斯特林制冷机的小型热流仪，其特征在于，tec制冷器的侧面安装散热器，散热器的侧面连接第一散热风扇，在tec制冷器与散热器的顶部连接固定支架，涡流机构通过多个压条将涡流机构连接在固...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙辉，孙刚，田凤，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十六研究所，
类型：发明
国别省市：
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