【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜，特别是涉及一种喷淋结构及镀膜设备。
技术介绍
1、在现有的镀膜设备的喷淋结构中，喷淋结构一般采用一体设计的喷淋板。在使用过程中镀膜设备会产生积粉，故需要对喷淋板进行清理和维护。但是由于喷淋板不易拆卸，导致喷淋板的清理和维护不方便。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对现有的喷淋板不易拆卸的问题，提供一种方便拆卸的喷淋结构及镀膜设备。
2、一种喷淋结构，包括：
3、基板，开设有多条气帘通道；及
4、多个喷淋块，每一所述喷淋块均可拆卸地连接于所述基板，且多个所述喷淋块沿第一方向间隔布设，每一所述气帘通道的出气端贯穿所述基板，且位于对应的两个相邻的所述喷淋块之间，每一所述喷淋块均开设有喷淋通道，所述喷淋通道的出气端贯穿所述喷淋块背离所述基板的一侧表面。
5、通过设置上述的喷淋结构，喷淋块和基板可拆离，实现了喷淋结构的模块化。在喷淋结构需要清理时，可先将喷淋块拆离基板，再将基板拆下，从而可以对喷淋块和基板分开清洗。相较于一体设...
【技术保护点】
1.一种喷淋结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的喷淋结构，其特征在于，每一所述气帘通道的出气端贯穿所述基板以形成一第一条形槽，所述第一条形槽沿与所述第一方向垂直的第二方向纵长延伸。
3.根据权利要求1所述的喷淋结构，其特征在于，每一所述喷淋通道的出气端贯穿所述喷淋块以形成第二条形槽，所述第二条形槽沿与所述第一方向垂直的第二方向纵长延伸。
4.根据权利要求1所述的喷淋结构，其特征在于，所述基板为弧形板，所述喷淋块可拆卸地连接于所述基板的内弧面。
5.根据权利要求1所述的喷淋结构，其特征在于，所述喷淋结构还包括...
【技术特征摘要】
1.一种喷淋结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的喷淋结构，其特征在于，每一所述气帘通道的出气端贯穿所述基板以形成一第一条形槽，所述第一条形槽沿与所述第一方向垂直的第二方向纵长延伸。
3.根据权利要求1所述的喷淋结构，其特征在于，每一所述喷淋通道的出气端贯穿所述喷淋块以形成第二条形槽，所述第二条形槽沿与所述第一方向垂直的第二方向纵长延伸。
4.根据权利要求1所述的喷淋结构，其特征在于，所述基板为弧形板，所述喷淋块可拆卸地连接于所述基板的内弧面。
5.根据权利要求1所述的喷淋结构，其特征在于，所述喷淋结构还包括限位组件，所述限位组件相对所述基板固定设置，且所述限位组件用于对辊筒进行限位。
6.根据权利要求5所述的喷淋结构，其特征在于，所述限位组件包括安装座及限位件，所述安装座相对所述基板固定设置，所述限位件可转动地设置于所述安装座，且所述限位件用于对辊筒进行限位。
7.根据权利要求6所述的喷淋结构，其特征在于，所述限位组件还包括连接块，所述连接块设置于所述安装座，所述限位件可转动地设置于所述连接块，所述连接块能够相对安装座沿内弧圆的径向调节位置；
8.根据权利要求1所述的喷淋结构，其特征在于，每一所述喷淋块还开设有抽气通道，所述抽气通道的进气端贯穿所述喷淋块背离所述基板的一侧表面，以抽取所述气帘通道和所述喷淋通道喷出的气体。
9.根据权利要求1所述的喷淋结构，其特征在于，所述喷淋结构还包括多个抽气块，每一所述抽气块均可拆卸地连接于对应的一所述喷淋块背离所述基板的一侧表面，且所述喷淋通道的出气端至少部分暴露于所述抽气块在所述喷淋块上的正投影之外，所述抽气块开设有抽气通道，以抽取所述气帘通道和所述喷淋通道喷出的气体。
10.根据权利要求9所述的喷淋结构，其特征在于，所述抽气块还开设有连通通道，所述抽气通道的进气端和所述连通通道的出气端均贯穿所述抽气块背离所述基板的一侧表面，所述连通通道的进气端贯穿所述抽气块朝向所述喷淋块的一侧表面；
11.根据权利要求10所述的喷淋结构，其特征在于，所述连通通道的出气端贯穿所述抽气块以形成第三条形槽，所述第三条...
【专利技术属性】
技术研发人员：李翔，左敏，胡磊，陈昌俊，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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