【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及感光性树脂组合物、以及使用其的固化浮雕图案的制造方法及聚酰亚胺膜的制造方法等。本国际申请要求基于2022年10月31日申请的日本特许申请第2022-174360号的优先权,将该日本特许申请的全部内容引入本国际申请。
技术介绍
1、以往,电子部件的绝缘材料、及半导体装置的钝化膜、表面保护膜、层间绝缘膜等中,使用兼具优异的耐热性、电气特性及机械特性的聚酰亚胺树脂、聚苯并噁唑树脂、酚醛树脂等。这些树脂中,以感光性树脂组合物的形态提供的树脂可通过该组合物的涂布、曝光、显影、及利用固化的热酰亚胺化处理,而容易地形成耐热性的浮雕图案皮膜。这种感光性树脂组合物具有如下特征:与以往的非感光型材料相比较,可大幅缩短工序。
2、另一方面,近年来,就集成度及运算功能的提高、以及芯片尺寸的矮小化的观点而言,将半导体装置向印刷布线基板的安装方法(封装结构)也正在变化。从以往的通过金属销与铅-锡共晶焊料的安装方法转变为使用如可更高密度安装的bga(ball grid array,球栅阵列)、csp(chip scale package,芯
...【技术保护点】
1.一种感光性树脂组合物,其含有以下成分:
2.一种感光性树脂组合物,其含有以下成分:
3.一种感光性树脂组合物,其含有以下成分:
4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,所述(B)成分的含量相对于所述(A)成分100质量份为0.01~10质量份。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,所述(B)四唑化合物含有下述通式(3)表示的化合物:
6.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,所述(B)四唑化合物含有下述式表示的化合物:
7.根据权利
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种感光性树脂组合物,其含有以下成分:
2.一种感光性树脂组合物,其含有以下成分:
3.一种感光性树脂组合物,其含有以下成分:
4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,所述(b)成分的含量相对于所述(a)成分100质量份为0.01~10质量份。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,所述(b)四唑化合物含有下述通式(3)表示的化合物:
6.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,所述(b)四唑化合物含有下述式表示的化合物:
7.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物,其还含有(e)自由基聚合性化合物。
8.根据权利要求7所述的感光性树脂组合物,其中,所述(e)成分的含量相对于所述(a)成分100质量份为20~80质量份。
9.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,所述感光性树脂组合物含有所述聚酰亚胺前体,所述聚酰亚胺前体由下述通式(4)表示:
10.根据权利要求9所述的感光性树脂组合物,其中,在所述通式(4)中,r11及r12中的至少一者...
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