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压电薄膜材料压电系数的测试方法及装置制造方法及图纸

技术编号:45436918 阅读:43 留言:0更新日期:2025-06-04 19:17
本申请涉及压电材料测试技术领域,特别涉及一种压电薄膜材料压电系数的测试方法及装置,其中,方法包括:选择满足条件的液体介质,基于液体介质,对带有点电极的压电薄膜材料施加电压,以获取压电薄膜材料的实际形变量,根据实际形变量计算压电薄膜材料的逆压电系数。由此,解决了相关技术中,测试过程施加电压超过人体安全电压,对测试人员的人身安全造成隐患的问题。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及压电材料测试,特别涉及一种压电薄膜材料压电系数的测试方法及装置


技术介绍

1、相关技术中,逆压电系数是衡量压电薄膜材料性能好坏的重要参数之一。压电薄膜材料逆压电系数的测试方法,通常采用激光多普勒测振法,激光多普勒测振仪是采用逆压电效应,即通过给薄膜加电信号使其产生形变来测量压电系数的,其测量分辨率高、精度高,能够测量多种尺寸和形状的样品,且操作简单方便。

2、然而,相关技术中,为了得到最优的压电系数,需要对压电薄膜材料先进行极化,目前常用的极化装置只能极化在两个端面镀有电极的片状样品,不能极化镀有点电极的薄膜样品,且对于厚度在2-200μm间不易被极化的压电薄膜材料,需要施加高压进行极化,超过安全电压时,电流的作用会对人体造成伤害,亟需一种防止人体直接接触带电体的保护措施进行压电系数的测试。


技术实现思路

1、本申请提供一种压电薄膜材料压电系数的测试方法及装置,以解决相关技术中,测试过程施加电压超过人体安全电压,对测试人员的人身安全造成隐患的问题。

2、本申请第一方面实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种压电薄膜材料压电系数的测试方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述实际形变量计算所述压电薄膜材料的逆压电系数,包括:

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述逆压电系数的计算公式为:

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述预设电压大于人体安全电压。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述预设条件包括清澈透明度、耐击穿电压、电绝缘性、耐热性和化学稳定性。

6.一种压电薄膜材料压电系数的测试装置,其特征在于,包括:

7.根据权利要求6所述的装置...

【技术特征摘要】

1.一种压电薄膜材料压电系数的测试方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述实际形变量计算所述压电薄膜材料的逆压电系数,包括:

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述逆压电系数的计算公式为:

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述预设电压大于人体安全电压。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述预设条件包括清澈透明度、耐击穿电压、电绝缘性、耐热性和化学稳定性。

6.一种压电薄膜材料压电系数的测试装置,其特征在于,包括:

7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,所述计算模块...

【专利技术属性】
技术研发人员:张素伟席小庆
申请(专利权)人:清华大学
类型:发明
国别省市:

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