【技术实现步骤摘要】
本申请涉及压电材料测试,特别涉及一种压电薄膜材料压电系数的测试方法及装置。
技术介绍
1、相关技术中,逆压电系数是衡量压电薄膜材料性能好坏的重要参数之一。压电薄膜材料逆压电系数的测试方法,通常采用激光多普勒测振法,激光多普勒测振仪是采用逆压电效应,即通过给薄膜加电信号使其产生形变来测量压电系数的,其测量分辨率高、精度高,能够测量多种尺寸和形状的样品,且操作简单方便。
2、然而,相关技术中,为了得到最优的压电系数,需要对压电薄膜材料先进行极化,目前常用的极化装置只能极化在两个端面镀有电极的片状样品,不能极化镀有点电极的薄膜样品,且对于厚度在2-200μm间不易被极化的压电薄膜材料,需要施加高压进行极化,超过安全电压时,电流的作用会对人体造成伤害,亟需一种防止人体直接接触带电体的保护措施进行压电系数的测试。
技术实现思路
1、本申请提供一种压电薄膜材料压电系数的测试方法及装置,以解决相关技术中,测试过程施加电压超过人体安全电压,对测试人员的人身安全造成隐患的问题。
2、
...【技术保护点】
1.一种压电薄膜材料压电系数的测试方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述实际形变量计算所述压电薄膜材料的逆压电系数,包括:
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述逆压电系数的计算公式为:
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述预设电压大于人体安全电压。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述预设条件包括清澈透明度、耐击穿电压、电绝缘性、耐热性和化学稳定性。
6.一种压电薄膜材料压电系数的测试装置,其特征在于,包括:
7.根据
...【技术特征摘要】
1.一种压电薄膜材料压电系数的测试方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述实际形变量计算所述压电薄膜材料的逆压电系数,包括:
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述逆压电系数的计算公式为:
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述预设电压大于人体安全电压。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述预设条件包括清澈透明度、耐击穿电压、电绝缘性、耐热性和化学稳定性。
6.一种压电薄膜材料压电系数的测试装置,其特征在于,包括:
7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,所述计算模块...
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