一种氟醚橡胶表面Ti/Cr/Cu共掺杂复合氮化物薄膜的制备方法技术

本发明专利技术公开一种氟醚橡胶表面Ti/Cr/Cu共掺杂复合氮化物薄膜的制备方法，先将氟醚橡胶基材清洗吹干后放入磁控溅射腔体，抽至高真空条件下后通入Ar气体清洗基底；再采用阴极电弧磁过滤技术得到改性的Ti/Cr/Cu共掺杂复合氮化物薄膜。获得的Ti/Cr/Cu共掺杂复合氮化物薄膜明显提高摩擦性能，同时保持了薄膜自身的致密度和硬度；阴极电弧磁过滤技术使掺杂元素均匀弥散在薄膜内部，保证少量掺杂元素便能够获得薄膜性能提升，提升了薄膜的摩擦学性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于真空镀膜及橡胶密封，尤其涉及一种氟醚橡胶表面ti/cr/cu共掺杂复合氮化物薄膜的制备方法。

技术介绍

1、氟醚橡胶（fkm）以其卓越的化学稳定性、优异的耐油性和良好的密封性能，在航空航天、汽车工业及化工领域作为密封材料得到了广泛应用。然而，在实际使用过程中，氟醚橡胶表面与工程材料（如陶瓷、钢铁等）发生相对滑动时，常伴随着较高的摩擦系数和严重的磨损。这种现象显著影响了其使用寿命和可靠性，限制了其在高性能领域的应用。为了改善氟醚橡胶的摩擦学性能，当前的研究主要集中于采用表面改性技术，例如沉积硬质薄膜（如金属氮化物薄膜或类金刚石碳薄膜）。这些薄膜因其优异的耐磨性和低摩擦特性，能够在一定程度上提升氟醚橡胶的表面性能。然而，传统的薄膜制备技术在氟醚橡胶表面应用时仍存在明显不足，包括薄膜附着力较弱、沉积均匀性不佳以及制备工艺复杂等问题。其中，由于氟醚橡胶表面的化学惰性，薄膜与基体之间的界面结合力较低，容易导致薄膜在使用过程中出现剥落或失效。此外，在柔性基体表面实现高质量、均匀分布的薄膜沉积具有较大挑战，而制备工艺的复杂性和成本较高的特点也限制了其工业化本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种氟醚橡胶表面Ti/Cr/Cu共掺杂复合氮化物薄膜的制备方法，其特征在于，该复合氮化物薄膜包括沉积在氟醚橡胶表面的Cr金属承载层、CrN中间过渡层以及Ti/Cr/Cu金属氮化物表面减摩层，制备步骤如下：

2.如权利要求1所述一种氟醚橡胶表面Ti/Cr/Cu共掺杂复合氮化物薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

3.如权利要求2所述一种氟醚橡胶表面Ti/Cr/Cu共掺杂复合氮化物薄膜的制备方法，其特征在于，步骤5）中，Cr电弧靶和Ti电弧靶对称设置在真空室左右两侧并通过磁过滤弯管与真空室连接，与Cr电弧靶连接的磁过滤弯管的磁场电流为70~80A，与Ti电弧...

【技术特征摘要】

1.一种氟醚橡胶表面ti/cr/cu共掺杂复合氮化物薄膜的制备方法，其特征在于，该复合氮化物薄膜包括沉积在氟醚橡胶表面的cr金属承载层、crn中间过渡层以及ti/cr/cu金属氮化物表面减摩层，制备步骤如下：

2.如权利要求1所述一种氟醚橡胶表面ti/cr/cu共掺杂复合氮化物薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：<...

【专利技术属性】
技术研发人员：张斌，李伟业，杨攀峰，张俊彦，
申请(专利权)人：中国科学院兰州化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：