【技术实现步骤摘要】
本技术涉及八氟丙烷成品过滤辅助组件领域，具体涉及一种八氟丙烷成品过滤装置。
技术介绍
1、八氟丙烷成品在微电子工业中用于等离子蚀刻以及器件表面清洗，同时其也用于低温制冷、医疗用气及气体绝缘等，八氟丙烷在生产完成后，通常不够纯净，需要将其过滤，以提升八氟丙烷的纯度，目前在对八氟丙烷成品进行过滤时，通常是采用蒸发冷凝的方式进行其他成分的分离。
2、但是目前在对八氟丙烷成品通过蒸发冷凝的方式进行过滤提纯的过程中，通常是通过管道分别直连蒸发器和冷凝器的方式来进行蒸发气体的输送，由于无法根据冷凝器的水温来对蒸发气体的输送流量进行适配性调整，而在不同季节下的入水水温是明显不同的，这就导致会影响到八氟丙烷成品的蒸发冷凝效率，使用起来存在一定的不便。
技术实现思路
1、本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种八氟丙烷成品过滤装置，设置有双路输气组件，同时双路输气组件分别为直连输气管道和抽吸输气管道，继而在入水水温高位时，通过直连输气管道单独输气的方式能够将蒸发气体的输送流量适配调整到合适的...
【技术保护点】
1.一种八氟丙烷成品过滤装置，包括蒸发器本体(2)和冷凝器本体(3)，其特征在于：所述蒸发器本体(2)的顶部和所述冷凝器本体(3)的顶部分别竖向设置有排气管(201)和进气接管(302)，且所述排气管(201)和所述进气接管(302)之间固定连通有双路输气组件(1)，用以通过所述双路输气组件(1)来将蒸发气体的输送流量根据冷却水入水水温适配调整到合适的流量值。
2.根据权利要求1所述一种八氟丙烷成品过滤装置，其特征在于：所述双路输气组件(1)包括抽吸输气管道(109)和直连输气管道(1010)，所述抽吸输气管道(109)的中段位置安装有用以为抽吸输气提供动...
【技术特征摘要】
1.一种八氟丙烷成品过滤装置，包括蒸发器本体(2)和冷凝器本体(3)，其特征在于：所述蒸发器本体(2)的顶部和所述冷凝器本体(3)的顶部分别竖向设置有排气管(201)和进气接管(302)，且所述排气管(201)和所述进气接管(302)之间固定连通有双路输气组件(1)，用以通过所述双路输气组件(1)来将蒸发气体的输送流量根据冷却水入水水温适配调整到合适的流量值。
2.根据权利要求1所述一种八氟丙烷成品过滤装置，其特征在于：所述双路输气组件(1)包括抽吸输气管道(109)和直连输气管道(1010)，所述抽吸输气管道(109)的中段位置安装有用以为抽吸输气提供动力的管道泵(102)，所述抽吸输气管道(109)和所述直连输气管道(1010)的两端均通过管接头(103)固定连通有输气弯管(104)，且所述抽吸输气管道(109)和所述直连输气管道(1010)同一端对应的所述输气弯管(104)下端均通过所述管接头(103)固定连通有竖直设置的出气接管(106)，所述出气接管(106)的底端均穿插通过端盖(107)，且所述端盖(107)同轴封闭在所述排气管(201)的顶端，用以通过所述端盖(107)使所述出气接管(106)均与所述排气管(201)相连通，所述抽吸输气管道(109)和所述直连输气管道(1010)另外一端对应的所述输气弯管(104)下端分别与三通接管(101)的两个接口...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐鸣远，徐志宽，程炎炎，李文成，杨伟，文翔翔，孙佳楠，王健钊，
申请(专利权)人：湄格科技洛阳有限公司，
类型：新型
国别省市：
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