【技术实现步骤摘要】
实施方式涉及台。更具体地，实施方式涉及台和使用台的误差补偿系统。
技术介绍
1、台是在显示设备、半导体等的制造工艺中支承并精确地传送基板、晶片等的设备。台可以包括支承基板、晶片等并且线性地移动的移动器，以及用于移动器的线性运动的引导件。当移动器进行线性运动时，可能会在x轴方向、y轴方向和z轴方向上发生平移运动误差或旋转运动误差。
技术实现思路
1、实施方式提供了具有改善的可靠性的台。
2、实施方式提供了使用台的误差补偿系统。
3、然而，实施方式不限于在本文中所阐述那些。对于本领域普通技术人员而言，通过参考以下给出的对本公开的详细描述，上述及其他实施方式将变得更加显而易见。
4、根据实施方式的台包括：底板，在第一方向和与第一方向相交的第二方向上延伸；移动框架，设置在底板上并且能够在第一方向上或在与第一方向相反的方向上移动；以及误差补偿部，设置在底板和移动框架之间并且包括在第一方向上延伸的导轨和设置在导轨上并且覆盖导轨的至少一部分的电磁体部。
5、在实施方式中，电磁体部可以包括设置在导轨的至少一个表面上的线圈以及覆盖线圈的轭。
6、在实施方式中，线圈可以包括第一线圈以及在第一方向上与第一线圈相邻并且在与第一线圈缠绕的方向相反的方向上缠绕的第二线圈。
7、在实施方式中，轭可以包括覆盖线圈的盖部以及在朝向导轨的方向上突出的铁芯部。
8、在实施方式中，线圈可以围绕铁芯部缠绕。
9、在实施方式中，电
10、在实施方式中，导轨和电磁体部可以彼此间隔开。
11、在实施方式中，台还可以包括设置在移动框架的至少一个表面上的空气轴承。
12、在实施方式中，台还可以包括固定到移动框架并且在第一方向上或在与第一方向相反的方向上可移动的线性电机。移动框架可以通过线性电机可移动。
13、在实施方式中，导轨可以固定到底板，并且电磁体部可以固定到移动框架。
14、在实施方式中，误差补偿部可以设置在底板的上表面上。
15、在实施方式中，误差补偿部可以设置在底板的侧表面上。
16、根据实施方式的误差补偿系统包括台。台包括：底板，在第一方向和与第一方向相交的第二方向上延伸；移动框架，设置在底板上并且能够在第一方向上或在与第一方向相反的方向上移动；以及误差补偿部，设置在底板和移动框架之间并且包括在第一方向上延伸的导轨和设置在导轨上并且覆盖导轨的至少一部分的电磁体部。
17、在实施方式中，电磁体部可以包括设置在导轨的至少一个表面上并且被施加电流的线圈、覆盖线圈的轭以及穿过轭的冷却管路。
18、在实施方式中，线圈可以包括在一方向上缠绕的第一线圈以及在第一方向上与第一线圈相邻并且在与第一线圈缠绕的方向相反的方向上缠绕的第二线圈。
19、在实施方式中，轭可以包括覆盖线圈的盖部以及在朝向导轨的方向上突出并且线圈围绕其缠绕的铁芯部。
20、在实施方式中，移动框架的运动误差可以通过控制施加到线圈的电流来补偿。
21、在实施方式中，可以通过施加到线圈的电流在导轨和电磁体部之间产生吸引力，并且吸引力的大小可以通过控制施加到线圈的电流的大小来调节。
22、在实施方式中，可以通过将冷却剂流入冷却管路来释放从线圈产生的热量。
23、在实施方式中，导轨和电磁体部可以彼此间隔开。
24、在根据实施方式的误差补偿系统中，误差补偿系统可以包括台，该台包括误差补偿部。误差补偿部可以包括在一方向上延伸的导轨以及产生磁通量的电磁体部。在台中发生线性运动误差的情况下，可以通过控制施加到电磁体部的线圈的电流来补偿误差。例如，在由于电流而从电磁体部的线圈产生热量的情况下，可以通过将冷却剂流入电磁体部的冷却管路来释放产生的热量。因此，由于可以精确地补偿相对于多轴的线性运动误差，因此可以实现具有改善的可靠性的超精确台。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.台，包括：
2.根据权利要求1所述的台，其中，所述电磁体部包括：
3.根据权利要求2所述的台，其中，所述线圈包括：
4.根据权利要求2所述的台，其中，
5.根据权利要求2所述的台，其中，所述电磁体部还包括穿过所述轭的冷却管路。
6.根据权利要求1所述的台，其中，所述导轨和所述电磁体部彼此间隔开。
7.根据权利要求1所述的台，还包括：
8.根据权利要求1所述的台，其中，
9.根据权利要求1所述的台，其中，所述误差补偿部设置在所述底板的上表面上。
10.根据权利要求1所述的台，其中，所述误差补偿部设置在所述底板的侧表面上。
【技术特征摘要】
1.台，包括：
2.根据权利要求1所述的台，其中，所述电磁体部包括：
3.根据权利要求2所述的台，其中，所述线圈包括：
4.根据权利要求2所述的台，其中，
5.根据权利要求2所述的台，其中，所述电磁体部还包括穿过所述轭的冷却管路。
6.根据权利要求1所述的台...
【专利技术属性】
技术研发人员：卞炡雄，闵淸玩，崔宰赫，许明洙，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。