【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及含氟弹性体组合物的制备，具体涉及一种含氟弹性体组合物的制备方法及其产品和应用。
技术介绍
1、含氟弹性体具有耐化学性和耐高温性能，并具有在等离子体环境下质量损失与颗粒产生量小等特点，被用于半导体制造多种设备中，但含氟弹性体经过硫化后与金属粘附力高，会增加半导体设备零部件更换、维修时间及成本；但在半导体高温高真空应用中，还要求含氟弹性体密封件有较高硬度和模量，以防在使用过程中密封件被挤出而导致的密封失效。目前采用的降低橡胶与金属间粘附力的方法包括：(1)在含氟弹性体制品表面涂敷防粘涂层，(2)在含氟弹性体中加入适当填料；但采用涂敷防粘涂层的方式会存在增加生产成本，并且产品报废率回升高，并且含氟弹性体具有难涂敷的特性，因此需专业设备和合适涂料，提高了涂敷的难度，并且专业的涂敷需要将含氟弹性体制品常需外送，增加产品周期与生产信息暴露风险；对于在含氟弹性体中加入适当填料方式中，部分填料无法降低粘附力，虽然部分填料能在一定程度降低与金属的粘附力，但传统开炼和密炼方式会导致填料在含氟弹性体中分散不佳，使产品物理性能下降，并且外观均匀性
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1.一种含氟弹性体组合物的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的含氟弹性体组合物的制备方法，其特征在于，所述白炭黑与乙醇的质量比为1：(5-15)，所述白炭黑的平均粒径为5-30nm。
3.如权利要求1所述的含氟弹性体组合物的制备方法，其特征在于，所述混合物a进行干燥。
4.如权利要求1所述的含氟弹性体组合物的制备方法，其特征在于，所述含氟弹性体溶液由含氟弹性体和氟化液组成。
5.如权利要求4所述的含氟弹性体组合物的制备方法，其特征在于，所述混合物a与含氟弹性体溶液进行混合均匀后进行旋蒸获得混合物b
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【技术特征摘要】
1.一种含氟弹性体组合物的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的含氟弹性体组合物的制备方法，其特征在于，所述白炭黑与乙醇的质量比为1：(5-15)，所述白炭黑的平均粒径为5-30nm。
3.如权利要求1所述的含氟弹性体组合物的制备方法，其特征在于，所述混合物a进行干燥。
4.如权利要求1所述的含氟弹性体组合物的制备方法，其特征在于，所述含氟弹性体溶液由含氟弹性体和氟化液组成。
5.如权利要求4所述的含氟弹性体组合物的制备方法，其特征在于，所述混合物a与含氟弹性体溶液进行混合均匀后进行旋蒸获得混合物b。
6.如权利要求5所述的含氟弹性体组合物的制备方法，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾嘉琦，陈欢，高洁，
申请(专利权)人：上海芯密科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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