旋涂装置制造方法及图纸

本技术涉及旋涂技术领域，具体提供一种旋涂装置。旨在解决现有旋涂装置无法自动控制旋涂腔内的氛围而影响成膜效果的问题。为此，本技术的旋涂装置包括主体、旋涂托盘和吸附膜，主体上形成有旋涂腔，以使旋涂过程能够在旋涂腔中进行；旋涂托盘设置在主体的内底面上，用于将旋涂基板固定至旋涂腔内；吸附膜以可拆卸的方式环绕主体的内侧面设置，能够吸附旋涂腔内悬浮的溶剂。本技术通过增设环绕设置在主体内侧面上的吸附膜来有效吸附旋涂过程中溅射到旋涂腔中的溶剂，保证旋涂腔中洁净的气体氛围，进而有效保证成膜效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及旋涂，具体提供一种旋涂装置。

技术介绍

1、现有旋涂装置的功能单一，仅具备旋涂功能，其用于将滴在基片上的溶液均匀旋开，再通过调节旋转的加速度、速度及时间来控制膜厚，但无法在旋涂过程中精准控制器件周围的气体氛围。在旋涂过程中，现有旋涂装置需要借助额外的手段和方法去进行氛围控制，因而这种方法需要消耗大量的时间和耗材，最重要的是需要人为的干预，消耗操作者的时间和精力。

2、具体而言，以钙钛矿实验为例，在通过旋涂法涂膜时，多余的液滴会溅射到旋涂装置的腔壁上，由于溶剂为小分子有机物，这些液滴会不断挥发，导致器件成膜质量差，膜内结晶度不高，结晶颗粒小等问题，进而导致串阻变大、电流降低的问题，并且表面不平整还会导致开压变低的问题。现有旋涂装置的氛围控制通常都是依靠手动使用无纺布进行吸附以及使用吹风机吹扫来实现，在此过程中，需要将无纺布手动铺设于旋涂装置的底部，但无纺布很薄，吸附能力差，也无法锁住液体阻止其挥发，因而往往旋涂两三次后就需要更换无纺布，而且还需要时常使用吹风机吹扫旋涂装置的内壁，还可以通过开启手套箱的换气功能来置换手套箱内部的氛围，以便本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种旋涂装置，其特征在于，所述旋涂装置包括：

2.根据权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于，所述吸附膜布满所述主体的内侧面；并且/或者

3.根据权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于，所述吸附膜为极性溶剂吸附膜，能够吸附所述旋涂腔内悬浮的极性溶剂；或者

4.根据权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于，所述抽气孔的数量为多个，多个所述抽气孔环绕所述旋涂托盘设置。

5.根据权利要求4所述的旋涂装置，其特征在于，所述旋涂托盘具有多个安装缺口，所述安装缺口的数量和所述抽气孔的数量相等，所述抽气孔相应设置于所述安装缺口的附近。p>

6.根据权...

【技术特征摘要】

1.一种旋涂装置，其特征在于，所述旋涂装置包括：

2.根据权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于，所述吸附膜布满所述主体的内侧面；并且/或者

3.根据权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于，所述吸附膜为极性溶剂吸附膜，能够吸附所述旋涂腔内悬浮的极性溶剂；或者

4.根据权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于，所述抽气孔的数量为多个，多个所述抽气孔环绕所述旋涂托盘设置。

5.根据权利要求4所述的旋涂装置，其特征在于，所述旋涂托盘具有多个安装缺口，所述安装缺口的数量和所述抽气孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：林先航，刘恒钰，孙相彧，李恒，赵怡程，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：新型
国别省市：