电磁阀、电磁阀组件、质量流量控制器和电子设备制造技术

本申请实施例提供一种电磁阀、电磁阀组件、质量流量控制器和电子设备，电磁阀，电磁阀包括导磁壳体、导磁柱、导磁阀芯、阀嘴、驱动线圈和检测线圈，检测线圈与电容并联形成谐振电路，谐振电路的第一端通过电阻与控制器电连接，谐振电路的第二端接地；检测线圈用于接收控制器提供的第一电流信号以产生第一磁场，以使检测线圈与导磁阀芯之间电磁耦合，从而使得控制器获取第一端的电压值，以通过电压值获取导磁阀芯和阀嘴之间的开度。因此，本申请实施例提供的电磁阀、电磁阀组件、质量流量控制器和电子设备，可以提高电磁阀、电磁阀组件、质量流量控制器和电子设备对流体的质量流量的控制稳定性和响应速度。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及电磁阀，尤其涉及一种电磁阀、电磁阀组件、质量流量控制器和电子设备。

技术介绍

1、质量流量控制器(mass flow controller，简称为mfc)可以用于对气体或者液体的质量流量进行测量和控制。

2、相关技术中，质量流量控制器可以包括气体通道、质量流量传感器和电磁阀，质量流量传感器和电磁阀均设置于气体通道上，质量流量传感器用于测定气体通道中的气体的质量流量，可以通过调节电磁阀的开度来控制气体通道中的气体的质量流量大小。

3、然而，上述电磁阀对气体的质量流量的控制稳定性较差。

技术实现思路

1、鉴于上述至少一个技术问题，本申请实施例提供一种电磁阀、电磁阀组件、质量流量控制器和电子设备，可以提高电磁阀和质量流量控制器对流体的质量流量的控制稳定性。

2、本申请实施例提供如下技术方案：

3、本申请实施例的第一方面提供一种电磁阀，用于在控制器组件的控制下工作，控制器组件包括控制器、电阻和电容，控制器与电阻电连接，电磁阀包括导磁壳体、导磁柱、导磁阀芯、阀嘴本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电磁阀，其特征在于，用于在控制器组件的控制下工作，所述控制器组件包括控制器、电阻和电容，所述控制器与所述电阻电连接，所述电磁阀包括导磁壳体、导磁柱、导磁阀芯、阀嘴、驱动线圈和检测线圈，所述导磁壳体中具有容置腔，所述导磁柱、所述导磁阀芯、所述阀嘴、所述驱动线圈和所述检测线圈均位于所述容置腔中，所述导磁柱、所述导磁阀芯和所述阀嘴沿第一方向依次排布，所述导磁柱与所述导磁壳体相连，所述导磁阀芯沿所述第一方向活动连接于所述阀嘴，所述阀嘴中设置有流道；

2.根据权利要求1所述的电磁阀，其特征在于，所述导磁阀芯朝向所述导磁柱一侧的面为非金属面。

3.根据权利要求1所述的...

【技术特征摘要】

1.一种电磁阀，其特征在于，用于在控制器组件的控制下工作，所述控制器组件包括控制器、电阻和电容，所述控制器与所述电阻电连接，所述电磁阀包括导磁壳体、导磁柱、导磁阀芯、阀嘴、驱动线圈和检测线圈，所述导磁壳体中具有容置腔，所述导磁柱、所述导磁阀芯、所述阀嘴、所述驱动线圈和所述检测线圈均位于所述容置腔中，所述导磁柱、所述导磁阀芯和所述阀嘴沿第一方向依次排布，所述导磁柱与所述导磁壳体相连，所述导磁阀芯沿所述第一方向活动连接于所述阀嘴，所述阀嘴中设置有流道；

2.根据权利要求1所述的电磁阀，其特征在于，所述导磁阀芯朝向所述导磁柱一侧的面为非金属面。

3.根据权利要求1所述的电磁阀，其特征在于，所述导磁阀芯朝向所述导磁柱一侧的面为金属面。

4.根据权利要求1-3任一所述的电磁阀，其特征在于，所述电磁阀包括非导磁的隔离件，所述隔离件将所述容置腔分隔为第一容置腔和第二容置腔，所述导磁柱、所述驱动线圈和所述检测线圈均位于所述第一容置腔，所述导磁阀芯和所述阀嘴均位于所述第二容置腔。

5.根据权利要求4所述的电磁阀，其特征在于，所述隔离件的材料包括金属材料；

6.根据权利要求4所述的电磁阀，其特征在于，所述隔离件的材料包括非金属材料，所述第一电流信号的频率大于或等于100khz。

7.根据权利要求4所述的电磁阀，其特征在于，所述隔离件的材料包括耐腐蚀性材料；

8.根据权利要求1-3任一所述的电磁阀，其特征在于，当所述电磁阀处于关闭状态时，所述检测线圈与所述导磁阀芯具有第一距离，当所述电磁阀处于开启状态时，所述检测线圈与所述导磁阀芯具有第二距离，所述开度等于所述第一距离与所述第二距离的差值。

9.根据权利要求1-3任一所述的电磁阀，其特征在于，所述驱动线圈套设于...

【专利技术属性】
技术研发人员：方庆银，孙路，
申请(专利权)人：深圳市新凯来技术有限公司，
类型：发明
国别省市：