【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及原子气室制备，尤其涉及一种原子气室制备方法、设备及原子气室。
技术介绍
1、芯片型原子钟和陀螺仪在定位和导航的中具有重要的作用，其核心器件为mems原子气室；该类型的原子气室具有体积小、可批量生产的优点。目前对于mems原子气室的制备，广泛使用的方法是采用化合物进行反应，产生碱金属，并将产生的碱金属收集或封装在mems微结构中。例如采用碱金属直接注入mems结构，然后再进行封装，但是由于碱金属极易氧化，导致成品率较低，成品质量较差；或者采用两个腔室，一个腔室用于产生制备碱金属，另一腔室用于光与碱金属进行相互作用，实现碱金属制备后残余物的分离，提升光与碱金属的作用强度，但不仅存在效率低的问题，还由于采用两腔室，键合成品率低、mems气室成品体积较大。即在现有技术中，无论是将碱金属直接注入mems微结构以减少杂质，或者是通过采用双腔室分离反应残余物，均存在成品质量和成品率低的问题。
2、因此，亟需一种原子气室制备方法、设备及原子气室来解决上述问题。
技术实现思路
1、...
【技术保护点】
1.一种原子气室制备方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的原子气室制备方法，其特征在于，还准备一个中间结构件，所述中间结构件上具有多个间隔设置的第一通孔；
3.根据权利要求1所述的原子气室制备方法，其特征在于，准备所述蒸发结构件包括：
4.根据权利要求1所述的原子气室制备方法，其特征在于，采用控温件对所述蒸发腔进行温度控制，所述控温件的一面为制热面，另一面为制冷面，对所述蒸发腔进行温度控制包括：
5.根据权利要求1所述的原子气室制备方法，其特征在于，采用键合机对凝结有所述碱金属的所述碱金属收集结构件和所述第一
...【技术特征摘要】
1.一种原子气室制备方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的原子气室制备方法，其特征在于，还准备一个中间结构件，所述中间结构件上具有多个间隔设置的第一通孔；
3.根据权利要求1所述的原子气室制备方法，其特征在于，准备所述蒸发结构件包括：
4.根据权利要求1所述的原子气室制备方法，其特征在于，采用控温件对所述蒸发腔进行温度控制，所述控温件的一面为制热面，另一面为制冷面，对所述蒸发腔进行温度控制包括：
5.根据权利要求1所述的原子气室制备方法，其特征在于，采用键合机对凝结有所述碱金属的所述碱金属收集结构件和所述第一玻璃片键合。
6.根据权利要求1所述的原子气室制备方法，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈海波，王亮，
申请(专利权)人：北京无线电计量测试研究所，
类型：发明
国别省市：
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