【技术实现步骤摘要】
技术介绍
1、为了维持期望的产品良率，需要半导体晶片制造中所使用的设备以高精度操作。在制造集成电路的过程中，在处理室内使用某些化学品来处理半导体晶片。使用质量流量控制器(mfc)以一致的方式和精确的流量将这些化学品输送到处理室。这可能是非常具有挑战性的，因为要求mfc保持非常严格的精度、在多个设定点下操作以及在晶片制造过程中不断地关闭和重新启动。为了管理这种准确性，现有技术的mfc配备了基于处理器的控制单元、大量传感器、以及先进的诊断系统。
技术实现思路
【技术保护点】
1.一种质量流量计，所述质量流量计包括：
2.如权利要求1所述的质量流量计，其中，所述质量流量计与控制器通信，所述控制器可操作以：
3.如权利要求1所述的质量流量计，其中，所述隔膜额定用于0至50psi的压力范围。
4.如权利要求1所述的质量流量计，其中，所述隔膜在小于5psi的压力时的额定性能为线性区域，并且在大于5psi的压力时的额定性能主要为非线性区域。
5.如权利要求1所述的质量流量计，其中，所述压力换能器用于所述压力换能器的非线性性能区域的额定压力超过线性性能区域的压力的二十倍。
6.如权利要求2所述的质量流量计，其中，控制阀定位在所述第一腔体的上游，并且所述质量流量计使用主要基于m＝K*(P12-P22)的方程以计算可压缩层流，并且其中，使用控制阀驱动信号来定位所述控制阀。
7.如权利要求2所述的质量流量计，其中，控制阀定位在所述第一腔体的上游，并且所述质量流量计使用主要基于m＝K*P1的方程以计算声流，并且其中，使用控制阀驱动信号来定位所述控制阀。
8.如权利要求2所述的质量流量计，
9.如权利要求1所述的质量流量计，其中，所述压力换能器是绝对压力传感器，并且其中，所述质量流量计还包括差压传感器，并且其中，所述差压传感器包括至少一个隔膜，并且其中，所述差压传感器测量对所述至少一个隔膜的两侧上的第二压力与第三压力之间的差的线性和非线性响应，以确定指示所述压力差的电压信号。
10.如权利要求1所述的质量流量计，其中，所述压力换能器包括第一差压传感器和第二绝对压力传感器，其中，所述第一差压传感器和所述第二绝对压力传感器测量所述至少一个隔膜的线性和非线性响应，以确定指示所述第一压力的电压信号。
11.如权利要求1所述的质量流量计，其中，所述压力换能器是第一压力传感器，并且其中，所述质量流量计还包括第二绝对压力传感器，并且其中，所述绝对压力传感器各自包括至少一个隔膜，并且其中，每个绝对压力传感器分别测量所述相应至少一个隔膜对所述压力和第二压力的线性和非线性响应，以确定指示所述压力和所述第二压力的电压信号。
12.如权利要求1所述的质量流量计，其中，所述隔膜在所述压力换能器的最大额定使用压力下的偏转大于所述隔膜的厚度的50％。
13.如权利要求1所述的质量流量计，其中，所述隔膜在所述压力换能器的最大额定压力下的偏转大于所述隔膜的厚度的100％。
14.如权利要求1所述的质量流量计，其中，所述隔膜在所述压力换能器的最大额定压力下的偏转大于所述隔膜的厚度的200％。
15.如权利要求1所述的质量流量计，其中，所述质量流量计被配置成测量所述压力换能器的非线性区域中的压力，其中，非线性性能是1％最佳拟合直线模型的三倍。
16.如权利要求1所述的质量流量计，其中，所述质量流量计被配置成测量所述压力换能器的非线性区域中的压力，其中，非线性性能是1％最佳拟合直线模型的八倍。
...【技术特征摘要】
1.一种质量流量计，所述质量流量计包括：
2.如权利要求1所述的质量流量计，其中，所述质量流量计与控制器通信，所述控制器可操作以：
3.如权利要求1所述的质量流量计，其中，所述隔膜额定用于0至50psi的压力范围。
4.如权利要求1所述的质量流量计，其中，所述隔膜在小于5psi的压力时的额定性能为线性区域，并且在大于5psi的压力时的额定性能主要为非线性区域。
5.如权利要求1所述的质量流量计，其中，所述压力换能器用于所述压力换能器的非线性性能区域的额定压力超过线性性能区域的压力的二十倍。
6.如权利要求2所述的质量流量计，其中，控制阀定位在所述第一腔体的上游，并且所述质量流量计使用主要基于m＝k*(p12-p22)的方程以计算可压缩层流，并且其中，使用控制阀驱动信号来定位所述控制阀。
7.如权利要求2所述的质量流量计，其中，控制阀定位在所述第一腔体的上游，并且所述质量流量计使用主要基于m＝k*p1的方程以计算声流，并且其中，使用控制阀驱动信号来定位所述控制阀。
8.如权利要求2所述的质量流量计，其中，控制阀定位在所述第二腔体的下游，并且所述质量流量计使用主要基于m＝k*(p1-p2)/(p1＝p2)/2)的方程以计算层流，并且其中，使用控制阀驱动信号来定位所述控制阀。
9.如权利要求1所述的质量流量计，其中，所述压力换能器是绝对压力传感器，并且其中，所述质量流量计还包括差压传感器，并且其中，所述差压传感器包括至少一个隔膜，并且其中，所述差压传感器测量对所述至少一...
【专利技术属性】
技术研发人员：丹尼尔·T·穆德，安德鲁·斯塔德，穆罕默德·萨利姆，苏克吉特·辛格，托马斯·库托沃斯基，
申请(专利权)人：伊利诺斯工具制品有限公司，
类型：发明
国别省市：
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