【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及阀门领域，尤其涉及一种双驱动控制阀门。
技术介绍
1、semi, lcd, led, solar 产业流程用工艺气体会产生完成工艺的副产品，该污染物会成为真空泵故障及停产的原因，特别是diff工艺的furness设备利用大容量圆顶形态的腔体进行工艺，因此投入大量的工艺气体时也会产生工艺副产物，维持副产物排放和真空的dry pump面临无法预料的停工状态，发生大量晶圆污染，造成巨大的费用损失。
2、采用双阀门系统控制切换使用，可以在真空泵故障及停产时采用备用的另一真空泵来使用，避免出现停工情况，但是这种双阀门系统在关闭其中一个阀门后，副产物污染物气体虽然不会再通过阀门进入故障的真空泵，但是副产物污染物气体还会涌入到所关闭的阀体内，造成阀体内结构腐蚀损坏。
3、因此，针对上述双阀门系统在真空泵故障时关闭其中一个阀门，仍会出现副产物污染物气体进入阀体长时间郁积，造成结构腐蚀损坏的情况，可以设计一种在关闭其中一个阀门后，阻止污染物气体涌入该阀门内造成郁积的双驱动控制阀门。
技术实...
【技术保护点】
1.一种双驱动控制阀门，包括有阀体组件；其特征在于：还包括有安装在阀体组件上的动力仓（109）、安装在阀体组件中的闸门组件和安装在动力仓（109）中的驱动组件，阀体组件的一侧设置有A侧泵管（103）和A侧导气管（104），阀体组件的另一侧设置有B侧泵管（106）和B侧导气管（107），驱动组件用于驱使闸门组件开启或关闭A侧泵管（103）和A侧导气管（104）之间的通道以及B侧泵管（106）和B侧导气管（107）之间的通道；
2.根据权利要求1所述的一种双驱动控制阀门，其特征在于：阀体组件包括中仓（101）、设置在中仓（101）一端的A侧仓（102）、设置在...
【技术特征摘要】
1.一种双驱动控制阀门，包括有阀体组件；其特征在于：还包括有安装在阀体组件上的动力仓（109）、安装在阀体组件中的闸门组件和安装在动力仓（109）中的驱动组件，阀体组件的一侧设置有a侧泵管（103）和a侧导气管（104），阀体组件的另一侧设置有b侧泵管（106）和b侧导气管（107），驱动组件用于驱使闸门组件开启或关闭a侧泵管（103）和a侧导气管（104）之间的通道以及b侧泵管（106）和b侧导气管（107）之间的通道；
2.根据权利要求1所述的一种双驱动控制阀门，其特征在于：阀体组件包括中仓（101）、设置在中仓（101）一端的a侧仓（102）、设置在中仓（101）另一端的b侧仓（105）和安装在中仓（101）内的隔板（108），a侧泵管（103）连接在a侧仓（102）上，a侧导气管（104）和b侧导气管（107）均连接在中仓（101）上，b侧泵管（106）连接在b侧仓（105）上，隔板（108）设置在a侧导气管（104）和b侧导气管（107）之间，a侧泵管（103）和a侧导气管（104）之间的通道与a侧仓（102）连通，b侧泵管（106）和b侧导气管（107）之间的通道与b侧仓（105）连通。
3.根据权利要求2所述的一种双驱动控制阀门，其特征在于：闸门组件包括活动连接在a侧仓（102）中的a侧球闸（201）、固定连接在a侧球闸（201）上的一号侧齿轮（202）、活动连接在b侧仓（105）中的b侧球闸（203）和固定连接在b侧球闸（203）上的二号侧齿轮（204），一号侧齿轮（202）和二号侧齿轮（204）均设置于动力仓（109）中，驱动组件用于驱使一号侧齿轮（202）和二号侧齿轮（204）旋转。
4.根据权利要求3所述的一种双驱动控制阀门，其特征在于：驱动组件包括安装在动力仓（109）上的驱动机（301）、连接在驱动机（301）输出端上的主动齿轮（302）和设置在动力仓（109）中的链条（303），链条（303）与主动齿轮（302）、一号侧齿轮（202）和二号侧齿轮（204）相啮合，主动齿轮（302）用于驱使链条（303）传动，链条（303）用于驱使一号侧齿轮（202）和二号侧齿轮（204）旋转。
5.根据权利要求4所述的一种双驱动控制阀门，其特征在于：封堵组件包括安装在中仓（101）中的a侧注气筒（401）和b侧注气筒（404）、活动连接在a侧注气筒（401）中的a侧顶杆（402）、固定连接在a侧顶杆（402）上的a侧胶塞（403）、活动连接在b侧注气筒（404）中的b侧顶...
【专利技术属性】
技术研发人员：鲜于居，梁仁模，
申请(专利权)人：安徽凯必芯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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