基于扫描电镜观察MLCC陶瓷介质材料微观结构的方法和应用技术

本发明专利技术公开了一种基于扫描电镜观察MLCC陶瓷介质材料微观结构的制样及观察方法，包括以下步骤：MLCC试样预处理：将MLCC样品固封在绝缘树脂中，通过金相抛磨暴露出内电极；固定：将导电胶带分别将MLCC抛光面的左右两侧与金属样品台相连接；SEM拍摄得到背散射像：在磁透镜和CBS模式下观察MLCC样品的介质材料微观结构。本发明专利技术采用上述方法观察MLCC陶瓷介质材料微观结构，操作过程方便快捷，不影响MLCC的表面结构，可以更准确地观察其形貌及尺寸，为后续的微观分析提供便利条件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及陶瓷介质材料微观结构的检测分析，尤其涉及一种基于扫描电镜观察mlcc陶瓷介质材料微观结构的方法和应用。

技术介绍

1、陶瓷电容是最主要的电容品类，其中多层陶瓷电容器(multilayer ceramiccapacitor，mlcc)应用广泛，市场规模达到了93％。mlcc应用在诸如静噪、电源电压平滑、滤波等电路中，具有耐高压、耐高温、体积小、电容量范围宽、适合于表面贴装等特点，具有成本和性能上的优势。

2、mlcc的陶瓷介质材料主要为钛酸钡，但纯钛酸钡的介电常数在温度变化中具有突变性，从而不能满足电子元件对温度稳定性的需求。为了克服钛酸钡的介电常数在相变温度附近发生突变的问题，需要对其进行改性。mlcc的温度稳定性和可靠性与介质材料的微观结构相关。

3、基于现有分析技术的局限性，开发一种对mlcc截面无影响的mlcc微观结构的sem制样及表征方法非常重要。

技术实现思路

1、针对上述技术问题，本专利技术提供一种基于背散射扫描电镜观察mlcc微观形貌及尺寸统计制样及表征方法本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于扫描电镜观察MLCC陶瓷介质材料微观结构的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)中，所述绝缘树脂为环氧树脂。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)中，所述金相抛磨包括依次进行的砂纸粗抛磨，以及采用抛光布、并以金刚石悬浮液作为金相抛光剂的镜面抛磨。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述砂纸粗抛磨为依次使用600目、1000目、2000目、3000目和5000目砂纸进行抛磨。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述砂纸粗抛磨的总时间≤10min；所述砂...

【技术特征摘要】

1.一种基于扫描电镜观察mlcc陶瓷介质材料微观结构的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)中，所述绝缘树脂为环氧树脂。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)中，所述金相抛磨包括依次进行的砂纸粗抛磨，以及采用抛光布、并以金刚石悬浮液作为金相抛光剂的镜面抛磨。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述砂纸粗抛磨为依次使用600目、1000目、2000目、3000目和5000目砂纸进行抛磨。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：张蕾，赵一凡，黄雄，于淑会，孙蓉，
申请(专利权)人：深圳先进电子材料国际创新研究院，
类型：发明
国别省市：