【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及制备卤化烃,尤其涉及一种六氟丁二烯的制备方法。
技术介绍
1、随着国内对光电行业的飞速发展,尤其是半导体行业的发展,对干蚀刻气的需求也随着日益增长。
2、六氟丁二烯(c4f6)是一种全氟化合物,其沸点为6 °c,密度1.4 g·ml-1,在芯片行业的应用潜能被逐步开发。研究显示,与其他常用的蚀刻气相比,它是可以对小于100 nm的宽度进行干蚀刻,具有更高选择性和精确性。六氟丁二烯在含氟医药中间体等含氟精细化学品合成方面具有较高的应用价值。六氟丁二烯在含氟高分子合成方面,它可以作为聚合单体制备聚六氟丁二烯,也可以与其他单体合成含氟橡胶和电性良好的树脂。六氟丁二烯属于一种温室效应低,绿色环保的高效干蚀刻气。大气中的寿命小于2 d,并且温室效应系数gwp100不到300。
3、目前制备六氟丁二烯的路线较多,例如1,2-二氯二氟乙烯路线、四氟乙烯路线、1,1,1,3-四氟乙烷路线和三氟氯乙烯路线等。
4、gb798407中报道了一种以1,2-二氯二氟乙烯为原料的合成路线,此法需要在压力为13.3
...【技术保护点】
1.一种六氟丁二烯的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种六氟丁二烯的制备方法,其特征在于,所述步骤一中,所述的非质子极性溶剂为四氢呋喃、N,N-二甲基甲酰胺、1,3-二甲基-3,4,5,6-四氢-2-嘧啶酮、1,3-二甲基-2-咪唑啉酮、N-甲基吡咯烷酮、N,N-二异丙基乙胺、苯、甲苯、1-丙醇、2-丙醇、正丁醇、三正丁胺中的一种或多种组合,含水量低于100ppm。
3.根据权利要求1所述的一种六氟丁二烯的制备方法,其特征在于,所述步骤一中,所述的无水卤化锌为氯化锌、溴化锌和碘化锌,含水量低于100ppm。
...【技术特征摘要】
1.一种六氟丁二烯的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种六氟丁二烯的制备方法,其特征在于,所述步骤一中,所述的非质子极性溶剂为四氢呋喃、n,n-二甲基甲酰胺、1,3-二甲基-3,4,5,6-四氢-2-嘧啶酮、1,3-二甲基-2-咪唑啉酮、n-甲基吡咯烷酮、n,n-二异丙基乙胺、苯、甲苯、1-丙醇、2-丙醇、正丁醇、三正丁胺中的一种或多种组合,含水量低于100ppm。
3.根据权利要求1所述的一种六氟丁二烯的制备方法,其特征在于,所述步骤一中,所述的无水卤化锌为氯化锌、溴化锌和碘化锌,含水量低于100ppm。
4.根据权利要求1所述的一种六氟丁二烯的制备方法,其特征在于,所述步骤一中,所述的无水卤化锌和三氟乙烯摩尔比为1:0.8~1:1.2,加入无水卤化锌和三氟乙烯的温度为-10℃~20℃。
5.根据权利要求1所述的一种六氟丁二烯的制备方法,其特征在于,所述步骤二中,所述的强碱为正丁基锂、二异丙基氨基锂和叔丁醇钾中的一种或多种组合。
<...【专利技术属性】
技术研发人员:张金柯,袁银杰,吴炎魁,胡若珊,乔毅浩,胡翼川,王佳钦,
申请(专利权)人:浙江科技大学,
类型:发明
国别省市:
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