【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及废水处理,具体涉及一种集成电路板焚烧炉洗涤塔废水及蚀刻槽液中水回用装置及方法。
技术介绍
1、近年来,伴随包括通信、工业控制、消费电子等下游行业对需求的快速拉动,集成电路总体需求不断提升。但是,集成电路生产过程中将产生蚀刻槽液以及焚烧炉洗涤废水,均属于有机物浓度极低,但氟化物浓度极高的废水,有效去除氟化物,保护后续设备、管道和膜组件是废水处理的难题,同时,若有效去除氟化物、ss,则可实现废水的中水回用,节约水资源。
2、目前,集成电路产业废水处理技术主要包括物理化学技术、电化学技术和生物技术。
3、物理化学技术是利用物理化学原理对废水进行处理的技术。常用的物理化学技术包括沉淀法、吸附法和离子交换法等。沉淀法通过添加化学药剂使废水中的污染物沉淀下来,从而达到净化的目的;吸附法则是利用吸附剂将废水中的污染物吸附在表面,从而达到净化的目的;离子交换法则是利用离子交换树脂将废水中的离子与树脂上的离子进行交换,从而达到净化的目的。物理化学技术具有处理效果好、操作简单等优点,但也存在一些问题,比如处理效率低、产
...【技术保护点】
1.一种焚烧炉洗涤塔废水及蚀刻槽液中水回用方法,其特征在于,包括如下步骤:
2.如权利要求1所述的焚烧炉洗涤塔废水及蚀刻槽液中水回用方法,其特征在于,S1中,所述除氟反应器中投加硫酸和熟石灰调控pH至5-9具体为:投加硫酸至pH=2.0,然后投加熟石灰至pH为7.5。
3.如权利要求1所述的焚烧炉洗涤塔废水及蚀刻槽液中水回用方法,其特征在于,S21中,所述反应沉淀一体机包括依次顺序连接的第一反应区、第二反应区、第三反应区和沉淀区;
4.如权利要求1所述的焚烧炉洗涤塔废水及蚀刻槽液中水回用方法,其特征在于,S4中,所述一级反渗透装置为
...【技术特征摘要】
1.一种焚烧炉洗涤塔废水及蚀刻槽液中水回用方法,其特征在于,包括如下步骤:
2.如权利要求1所述的焚烧炉洗涤塔废水及蚀刻槽液中水回用方法,其特征在于,s1中,所述除氟反应器中投加硫酸和熟石灰调控ph至5-9具体为:投加硫酸至ph=2.0,然后投加熟石灰至ph为7.5。
3.如权利要求1所述的焚烧炉洗涤塔废水及蚀刻槽液中水回用方法,其特征在于,s21中,所述反应沉淀一体机包括依次顺序连接的第一反应区、第二反应区、第三反应区和沉淀区;
4.如权利要求1所述的焚烧炉洗涤塔废水及蚀刻槽液中水回用方法,其特征在于,s4中,所述一级反渗透装置为低压反渗透膜,所述二级反渗透装置为高压抗盐反渗透膜,所述三级反渗透装置为碟管式反渗透膜。
5.如权利要求1所述的焚烧炉洗涤塔废水及蚀刻槽液中水回用方法,...
【专利技术属性】
技术研发人员:汪超,毕炎,邵金兰,徐富,徐子木,
申请(专利权)人:苏州苏沃特环境科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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