【技术实现步骤摘要】
本技术属于真空干燥设备，更具体地涉及一种真空干燥设备及其加热系统。
技术介绍
1、在许多工业领域，如制药、食品、化工、陶瓷、金属加工及电子行业，真空干燥设备是一种关键的设备。它的工作原理主要依赖于真空泵来抽取干燥腔内的空气，降低压力，从而降低水的沸点，使得物料在低温下能够快速去湿。
2、在真空干燥设备的运行中，加热是重要的环节之一。通过加热，可以提高物料的温度，加快水分子的运动速度，从而促进水分子从物料表面蒸发。常见的加热方式包括直接加热和间接加热。直接加热是指将加热元件直接放置在物料中，通过热传导的方式将热量传递给物料，这种方式的优点是热量传递迅速，烘干效果好。间接加热是指通过加热介质，如热空气、热水或热油，将热量传递给物料，这种方式的优点是对物料的热损伤较小，但缺点是热量传递速度较慢，烘干效果相对较差。目前真空干燥设备更倾向于使用直接加热方式。在光伏半导体领域的真空干燥设备设计中，通常会在真空干燥设备的干燥室内设置六个花篮用于放置物料（物料至少可以包括硅片）。然而，往往中间的两个花篮的烘干效果并不理想，因为在真空环境下，...
【技术保护点】
1.一种真空干燥设备的加热系统，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种真空干燥设备的加热系统，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的一种真空干燥设备的加热系统，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的一种真空干燥设备的加热系统，其特征在于：
5.根据权利要求3所述的一种真空干燥设备的加热系统，其特征在于：
6.一种真空干燥设备，其特征在于：
7.根据权利要求6所述的一种真空干燥设备，其特征在于：
8.根据权利要求6或7所述的一种真空干燥设备，其特征在于：
9.根据权利要求...
【技术特征摘要】
1.一种真空干燥设备的加热系统，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种真空干燥设备的加热系统，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的一种真空干燥设备的加热系统，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的一种真空干燥设备的加热系统，其特征在于：
5.根据权利要求3所述的一种真空干燥设备的加热系统...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵玉林，石烨炜，许立新，请求不公布姓名，王飞，
申请(专利权)人：无锡琨圣智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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