一种宽频柔性摩擦电超声传感器制备方法技术

本发明专利技术涉及传感器制备技术领域，尤其是一种宽频柔性摩擦电超声传感器制备方法，包括，将阳极氧化铝模板放置在旋涂机上，然后将PI溶液均匀地滴涂在AAO模板上；将具有均匀PI涂层的AAO模板放入恒温箱中，并通过不断调整温箱内的温度使PI涂层逐渐固化；将固化后的PI膜从AAO模板上取下来，其厚度约为35μm；重复上述步骤，得到另一个具有相同纳米圆锥结构的PI膜；通过磁控溅射技术，感器采用双膜片纳米互锁结构，由表面具有纳米圆锥结构的PI膜和附着在纳米圆锥表面的铜电极层叠互锁而成；该传感器克服了已有摩擦电超声传感器难以兼顾宽频率响应范围及柔性的缺点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及传感器制备，尤其涉及一种宽频柔性摩擦电超声传感器制备方法。

技术介绍

1、宽频超声传感器是一种先进的声学设备，广泛应用于医疗诊断、无损检测、水下探测、环境监测以及生物医学工程等多个领域。其核心特性在于能够覆盖较宽的频率范围，从而实现对不同目标或介质的精确检测和成像。

2、现有宽频超声传感器采用电陶瓷等刚性材料制备而成，但这种材料制备而成的传感器缺乏柔性，且厚度较大，还不易安装，而部分采用柔性材料制备的超声传感器因其结构和材料影响，宽频率响应范围较小，使得现有超声传感器难以实现薄板结构的原位损伤定位与不规则表面结构内部的损伤检测，为此提出了一种宽频柔性摩擦电超声传感器制备方法。

技术实现思路

1、本部分的目的在于概述本专利技术的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和专利技术名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和专利技术名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本专利技术的范围。

2、鉴于上述的电陶瓷制备而成的传感器缺乏本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种宽频柔性摩擦电超声传感器制备方法，其特征在于：包括采用纳米模板法制备宽频摩擦电超声传感器，该传感器的具体制备步骤如下：

2.如权利要求1所述的宽频柔性摩擦电超声传感器制备方法，其特征在于：所述PI溶液的浓度被精确控制在10％至20％之间，确保涂层的均匀性和厚度控制，其中所述旋涂机设置转速为800r/min，时间为5min。

3.如权利要求2所述的宽频柔性摩擦电超声传感器制备方法，其特征在于：将所述取下的PI膜进行清洗，去除残留在膜表面的杂质或未固化的PI溶液，保证后续镀金属步骤的质量。

4.如权利要求3所述的宽频柔性摩擦电超声传感器制备方法，其...

【技术特征摘要】

1.一种宽频柔性摩擦电超声传感器制备方法，其特征在于：包括采用纳米模板法制备宽频摩擦电超声传感器，该传感器的具体制备步骤如下：

2.如权利要求1所述的宽频柔性摩擦电超声传感器制备方法，其特征在于：所述pi溶液的浓度被精确控制在10％至20％之间，确保涂层的均匀性和厚度控制，其中所述旋涂机设置转速为800r/min，时间为5min。

3.如权利要求2所述的宽频柔性摩擦电超声传感器制备方法，其特征在于：将所述取下的pi膜进行清洗，去除残留在膜表面的杂质或未固化的pi溶液，保证后续镀金属步骤的质量。

4.如权利要求3所述的宽频柔性摩擦电超声传感器制备方法，其特征在于：在制备完成后，还包括对传感器进行性能测试的步骤，包括测试其频率响应范围、灵敏度和稳定性指标。

5.如权利要求4所述的宽频柔性摩擦电超声传感器制备方法，其特征在于：所述pi膜的厚...

【专利技术属性】
技术研发人员：张历，许逵，李鑫卓，张俊杰，毛先胤，陈沛龙，范强，杨旗，李金鑫，郑磊，犹登亮，申有吉，王超，张宇潇，骆约约，李欣，刘君，王宇，辛明勇，刘斌，龙秋风，朱石剑，李堃，吕乾勇，邹雕，徐舒蓉，牛唯，张露松，杨柳青，欧阳泽宇，张义钊，葛磊蛟，黄军凯，赵超，潘鑫洲，田月炜，张莎莉，王秋深，
申请(专利权)人：贵州电网有限责任公司，
类型：发明
国别省市：