一种真空机械臂旋转零部件阻尼自动检测装置及检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于真空机械臂生产制造领域，公开了一种真空机械臂旋转零部件阻尼自动检测装置及检测方法。通过电机驱动施力，转动旋转单元，基于码盘与红外传感器反馈数据对旋转环节的阻尼力进行测试。本发明专利技术方法填补了真空机械臂生产优化中对于旋转阻尼这一关键参数检测方案的缺失。本发明专利技术的方法可对零部件生产进行更精确的把控以及避免组装后的误差过大。减少实际机械臂与理论模型的差异值，提升机械臂生产品控，并且提高稳定算法控制对于稳定性的优化效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空机械臂生产制造领域，尤其涉及一种真空机械臂旋转零部件阻尼自动检测装置及检测方法。

技术介绍

1、集成电路(intergrated circuit,ic)作为各种电子产品的核心和信息化发展的关键，已经成为影响国家经济发展、政治建设、国防安全的战略性、基础性和先导性产业。

2、目前国内真空机械臂厂家的解决思路主要是通过优化运行算法，减少抖动，但一方面在机械臂的运行过程中，机械臂的姿态改变会导致固有频率发生变化，常规算法无法使用，另一方面，经过考察，会发现每一台机械臂的抖动情况的严重程度皆不相同，加工过程中导致的差异性问题是算法无法解决的。

技术实现思路

1、为了解决机械臂加工过程中的差异性结构问题，同时让实机和模型的差异减少，提高防摇控制算法的效果，本专利技术提出一种真空机械臂旋转零部件阻尼自动检测装置及检测方法。真空机械臂转子的装配结构为同轴心嵌套式，加工过程中如果出现转子偏离轴心的情况会导致机械臂整体的偏心转动与旋转环节的阻尼差异，从而导致运行不稳定。通过对旋转阻尼的检测，并记录本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种真空机械臂旋转零部件阻尼自动检测装置，其特征在于，真空机械臂旋转零部件阻尼自动检测装置包括支架(1)、电机I(2)、电机II(3)、升降台(5)、阻尼检测拨转手(6)、反馈装置(7)、红外传感器(10)、丝杠(14)和上位机；

2.根据权利要求1所述的真空机械臂旋转零部件阻尼自动检测装置，其特征在于，所述反馈装置(7)包括码盘(13)和受力旋转装置(12)，二者固定连接；

3.根据权利要求1所述的真空机械臂旋转零部件阻尼自动检测装置，其特征在于，所述红外传感器(10)将测距光线打到码盘(13)上，光线在缝隙处和在缝隙间隔处时，红外传感器(10)检测到的测距...

【技术特征摘要】

1.一种真空机械臂旋转零部件阻尼自动检测装置，其特征在于，真空机械臂旋转零部件阻尼自动检测装置包括支架(1)、电机i(2)、电机ii(3)、升降台(5)、阻尼检测拨转手(6)、反馈装置(7)、红外传感器(10)、丝杠(14)和上位机；

2.根据权利要求1所述的真空机械臂旋转零部件阻尼自动检测装置，其特征在于，所述反馈装置(7)包括码盘(13)和受力旋转装置(12)，二者固定连接；

3.根据权利要求1所述的真空机械臂旋转零部件阻尼自动检测装置，其特征在于，所述红外传感器(10)将测距光线打到码盘(13)上，光线在缝隙处和在缝隙间隔处时，红外传感器(10)检测到的测距距离不同，根据测距距离的变化速度计算待检测零件的转动速度，监测速度变化。

4.根据权利要求3所述的真空机械臂旋转零部件阻尼自动检测装置，其特征在于，所述红外传感器(10)分别有两个工作模式，一个是触发反馈模式，一个是速度反馈模式；检测启动阻尼时，电机ii(3)缓慢增加输出力矩，当红外传感器(10)感应到受力旋转装置(12)运动时，上位机记录...

【专利技术属性】
技术研发人员：王孝良，沃佳宇，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：