【技术实现步骤摘要】
本技术涉及石墨加热器，尤其涉及一种双列轴向温度梯度均变的石墨加热器。
技术介绍
1、目前化学气相沉积工艺，在较长流道中，难已在尾端还能保持一定的化学反应，且很难在较长工件上，进行有效全面的的沉积。因此对流道中反应温度的设计尤为重要。立式炉是底部进气、自下而上至顶部排气的结构，具有较长的流场，如何优化热场结构，通过温度梯度驱动化学反应的过程，不能提前完全反应，应使全流场化学反应均能有效进行，从而达到产品各部位的化学气相沉积效果，是目前的研究热点。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是提供一种双列轴向温度梯度均变的石墨加热器，实现加热器内部热场梯度变化。
2、为了解决上述问题，本技术提出以下技术方案：
3、一种双列轴向温度梯度均变的石墨加热器，包括6个首尾连接的加热组件，所述加热组件包括有1个上连接板、1个下连接板和2组加热杆；每个下连接板均与2组加热杆的下端连接，前一个下连接板的第二组加热杆的上端和后一个下连接板的第一组加热杆的上端与同一个上连接板连接；位于所...
【技术保护点】
1.一种双列轴向温度梯度均变的石墨加热器，其特征在于，包括6个首尾连接的加热组件，所述加热组件包括有1个上连接板、1个下连接板和2组加热杆；每个下连接板均与2组加热杆的下端连接，前一个下连接板的第二组加热杆的上端和后一个下连接板的第一组加热杆的上端与同一个上连接板连接；位于所述上连接板的2组加热杆之间设有电极；所述加热杆的电阻沿着轴向由上端至下端阶梯性增大。
2.根据权利要求1所述的双列轴向温度梯度均变的石墨加热器，其特征在于，所述加热杆的杆径沿着轴向由下端至上端阶梯性增大。
3.根据权利要求1所述的双列轴向温度梯度均变的石墨加热器，其特征在于...
【技术特征摘要】
1.一种双列轴向温度梯度均变的石墨加热器，其特征在于，包括6个首尾连接的加热组件，所述加热组件包括有1个上连接板、1个下连接板和2组加热杆；每个下连接板均与2组加热杆的下端连接，前一个下连接板的第二组加热杆的上端和后一个下连接板的第一组加热杆的上端与同一个上连接板连接；位于所述上连接板的2组加热杆之间设有电极；所述加热杆的电阻沿着轴向由上端至下端阶梯性增大。
2.根据权利要求1所述的双列轴向温度梯度均变的石墨加热器，其特征在于，所述加热杆的杆径沿着轴向由下端至上端阶梯性增大。
3.根据权利要求1所述的双列轴向温度梯度均变的石墨加热器，其特征在于，每组加热杆包括有1根、2根、3根或者4根加热杆。
4.根据权利要求1-3任一项所述的双列轴向温度梯度均变的石墨加热器，其特征在于，所有的加热杆平行且均匀排列，每相邻两个加热杆的间距相等。
5.根据权利要求1所述的双列轴向温度梯度均变的石墨加热器，其特征在于，还包括第一夹紧块，所述第一夹紧块设有第一凹槽；所述下连接板设有第一限位槽，所述第一限位槽的侧壁设有第二凹槽；所述第一凹槽和第二凹槽在所述第一夹紧块与所述第一限位槽合围固定后共同构成用于夹紧所述加热杆下端的第一型腔；所述第一限位槽的底部设有第一穿孔，所述加热杆下端穿过第一型腔进入所述第一穿孔。
6.根据权利要求5所述的双列轴向温度梯度均变的石墨加热器，其特征在于，所述第一夹紧块通过螺栓与所述第一限位槽固定。
7....
【专利技术属性】
技术研发人员：鞠德胜，施天旖，
申请(专利权)人：苏州纽卡本材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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