【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及计算机处理，尤其涉及一种对象面形信息确定方法、装置、设备、介质及产品。
技术介绍
1、在芯片的制造过程中，通常会使用到一些材料，如晶圆。为了保障芯片制造的准确性，通常需要对制造所需的一些材料对象的表面形状进行精确的测量重建。
2、现有的表面重建的方式通常是依赖于菲索干涉仪来重建对象表面的面形结构。菲索干涉仪在测量过程中的一些控制参数和策略等较多地依赖于用户的工程经验来确定，对用户的要求较高，存在表面重建过程繁琐以及准确性差的问题。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种对象面形信息确定方法、装置、设备、介质及产品，以实现使得确定出的表面形状图是与待测对象高适配，达到提高对象面形信息重建便捷性的技术效果。
2、根据本专利技术的一方面，提供了一种对象面形信息确定方法，该方法包括：
3、获取待测对象的干涉条纹图，并确定所述干涉条纹图的图像描述信息；其中，所述干涉条纹图是基于至少两束光波分别传播到参考面和所述待测对象表面后所反射的光束相干涉后得到的；
4、将所述干涉条纹图、所述图像描述信息、预设图像处理方式描述信息以及泽尼克多项式图像输入至预先训练的面形重构模型中，得到泽尼克多项式系数；其中，所述泽尼克多项式图像是基于不同阶的泽尼克多项式表示的图像；所述预设图像处理方式描述信息至少包括相位解包裹处理方式描述信息和泽尼克系数求解方式描述信息；
5、基于所述不同阶的泽尼克多项式图像和所述泽尼克多项式系数，得到所述待测对象
6、根据本专利技术的另一方面，提供了一种对象面形信息确定装置，该装置包括：
7、图像描述信息确定模块，用于获取待测对象的干涉条纹图，并确定所述干涉条纹图的图像描述信息；其中，所述干涉条纹图是基于至少两束光波分别传播到参考面和所述待测对象表面后所反射的光束相干涉后得到的；
8、泽尼克多项式系数确定模块，用于将所述干涉条纹图、所述图像描述信息、预设图像处理方式描述信息以及泽尼克多项式图像输入至预先训练的面形重构模型中，得到泽尼克多项式系数；其中，所述泽尼克多项式图像是基于不同阶的泽尼克多项式表示的图像；所述预设图像处理方式描述信息至少包括相位解包裹处理方式描述信息和泽尼克系数求解方式描述信息；
9、表面形状图确定模块，用于基于所述不同阶的泽尼克多项式图像和所述泽尼克多项式系数，得到所述待测对象的表面形状图。
10、根据本专利技术的另一方面，提供了一种电子设备，所述电子设备包括：
11、至少一个处理器；以及与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，
12、所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的计算机程序，所述计算机程序被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行本专利技术任一实施例所述的对象面形信息确定方法。
13、根据本专利技术的另一方面，提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使处理器执行时实现本专利技术任一实施例所述的对象面形信息确定方法。
14、根据本专利技术的另一方面，提供了一种计算机程序产品，包括计算机程序，该计算机程序在被处理器执行时实现如本专利技术任一实施例所述的对象面形信息确定方法。
15、本专利技术实施例的技术方案，通过获取待测对象的干涉条纹图，并确定干涉条纹图的图像描述信息；其中，干涉条纹图是基于至少两束光波分别传播到参考面和待测对象表面后所反射的光束相干涉后得到的；将干涉条纹图、图像描述信息、预设图像处理方式描述信息以及泽尼克多项式图像输入至预先训练的面形重构模型中，得到泽尼克多项式系数；其中，泽尼克多项式图像是基于不同阶的泽尼克多项式表示的图像；预设图像处理方式描述信息至少包括相位解包裹处理方式描述信息和泽尼克系数求解方式描述信息；基于不同阶的泽尼克多项式图像和泽尼克多项式系数，得到待测对象的表面形状图，解决了现有技术中依赖于菲索干涉仪进行对象面形重建，存在表面重建过程繁琐以及准确性差的问题，实现了通过将干涉条纹图、图像描述信息、预设图像处理方式描述信息以及泽尼克多项式图像输入至端到端训练的面形重构模型中，得到泽尼克多项式系数，结合泽尼克多项式图像和泽尼克多项式系数，来确定待测对象的表面形状图，使得确定出的表面形状图是与待测对象高适配的同时，达到了提高对象面形信息重建便捷性的技术效果。
16、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本专利技术的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本专利技术的范围。本专利技术的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。
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1.一种对象面形信息确定方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述面形重构模型中包括图像预处理模型、相位解包裹模型和波面拟合模型；所述将所述干涉条纹图、所述图像描述信息、预设图像处理方式描述信息以及泽尼克多项式图像输入至预先训练的面形重构模型中，得到泽尼克多项式系数，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述相位解包裹图、所述泽尼克系数求解方式描述信息、所述波面拟合需求信息、所述多项式转换指导信息以及泽尼克多项式图像，确定波面拟合引导特征，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述目标损失函数包括第一损失函数、第二损失函数和第三损失函数，所述基于目标损失函数，对所述第一样本中第二干涉条纹数据和所述第三干涉条纹数据、所述第一样本中相位解包裹理论数据和所述相位解包裹预测数据，以及所述第一样本中泽尼克多项式理论数据和所述泽尼克多项式预测数据处理，得到损失值，包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，
7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第三损失函数包括第七损失函数、第八损失函数、第九损失函数和第十损失函数，所述泽尼克多项式理论数据中包括泽尼克多项式理论系数和理论系数特征向量，所述泽尼克多项式预测数据包括泽尼克多项式预测系数和预测系数特征向量；所述基于所述第三损失函数，对所述第一样本中泽尼克多项式理论数据和所述泽尼克多项式预测数据处理，得到第三误差值，包括：
8.一种对象面形信息确定装置，其特征在于，包括：
9.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括：
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使处理器执行时实现权利要求1-7中任一项所述的对象面形信息确定方法。
...【技术特征摘要】
1.一种对象面形信息确定方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述面形重构模型中包括图像预处理模型、相位解包裹模型和波面拟合模型；所述将所述干涉条纹图、所述图像描述信息、预设图像处理方式描述信息以及泽尼克多项式图像输入至预先训练的面形重构模型中，得到泽尼克多项式系数，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述相位解包裹图、所述泽尼克系数求解方式描述信息、所述波面拟合需求信息、所述多项式转换指导信息以及泽尼克多项式图像，确定波面拟合引导特征，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述目标损失函数包括第一损失函数、第二损失函数和第三损失函数，所述基于目标损失函数，对所述第一样本中第二干涉条纹数据和所述第三干涉条纹数据、所述第一样本中相位解包裹理论数据和所述相位解包裹预测数据，以及所述第一样本中泽尼克多项式理论数据和所述泽尼克多项式预测数据处理，得到损失值，包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一损失函数包括第四损失函数、第五损失函数和第六损失...
【专利技术属性】
技术研发人员：邢彦文，刘建，
申请(专利权)人：广东省大湾区集成电路与系统应用研究院，
类型：发明
国别省市：
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