一种具有散热通道的Micro-LED基板的制造方法技术

本发明专利技术涉及一种具有散热通道的Micro‑LED基板的制造方法，属于半导体显示技术领域，通过在阵列基板的显示区域中刻蚀出散热通孔，往散热通孔中蒸镀第一导热材料，在阵列基板上蒸镀金属层作为驱动电路和电极焊盘，将阵列芯片与阵列基板上对应的电极焊盘贴合，通过键合工艺固化粘性金属层，且在键合后封合键合后的阵列基板和阵列芯片的外周，通过在先或者先后的方式在阵列芯片与基板之间填充第二导热材料，从而使得显示基板内部的阵列中布设形成有散热通道，提高了热量传导的效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体显示，具体涉及一种具有散热通道的micro-led基板的制造方法。

技术介绍

1、micro-led显示阵列是一种基于微小发光二极管(led)单元的显示技术，通过将微米级别的led像素密集排列成阵列，实现自发光显示。与传统的lcd和oled显示技术相比，micro-led显示阵列具有更高的亮度、更低的功耗、响应速度快、对比度高和寿命长等优点，因此在高清显示、可穿戴设备和车载显示等领域具有广泛的应用前景。

2、然而，micro-led在高亮度操作时会产生大量热量，特别是在高密度的显示面板中，由于电流分布不均，热量难以高效散出。局部高温积聚不仅增加了能耗，还影响了器件的使用寿命及亮度稳定性。

3、现有的micro-led阵列结构在散热途径的设计上存在不足，难以有效将热量从高热区导出，导致热量积聚在led像素间区域，综上所述，遂有了本方案的产生。

技术实现思路

1、鉴于现有技术的不足，本专利技术所要解决的技术问题是提供一种具有散热通道的micro-led基板的制造方法，其本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有散热通道的Micro-LED基板的制造方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.一种具有散热通道的Micro-LED基板的制造方法，其特征在于：包括以下步骤：

3.根据权利要求1或2所述的一种具有散热通道的Micro-LED基板的制造方法，其特征在于：所述第一导热材料选用物理性质稳定、化学性质稳定以及硬度高的固体导热材料。

4.根据权利要求3所述的一种具有散热通道的Micro-LED基板的制造方法，其特征在于：所述第一导热材料选用碳化硅、氮化铝或金刚石。

5.根据权利要求1或2所述的一种具有散热通道的Micro-LED基板的制造方法...

【技术特征摘要】

1.一种具有散热通道的micro-led基板的制造方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.一种具有散热通道的micro-led基板的制造方法，其特征在于：包括以下步骤：

3.根据权利要求1或2所述的一种具有散热通道的micro-led基板的制造方法，其特征在于：所述第一导热材料选用物理性质稳定、化学性质稳定以及硬度高的固体导热材料。

4.根据权利要求3所述的一种具有散热通道的micro-led基板的制造方法，其特征在于：所述第一导热材料选用碳化硅、氮化铝或金刚石。

5.根据权利要求1或2所述的一种具有散热通道的micro-led基板的制造方法，其特征在于：所述步骤s3中蒸镀金属层材质为铂、铬、钛、铝、镍和金中的任意一种或多种。

6.根据权利要求1或2所述的一种具有散热通道的micro-led基板的制造方法，其特征在于：所述步骤s1中的具体步骤如下：选取阵列基板在温度为60℃-90℃的光刻胶剥离液中水浴加热3分钟-15分钟，对阵列基板表面进行清洁和去氧化处理；然后在阵列基板的显示区域中使用干法刻蚀，精确刻蚀出散热通孔，散热通孔位于micro-led像素之间。

【专利技术属性】
技术研发人员：吴挺竹，林迈迦，刘时彪，刘苏阳，吕毅军，颜丰裕，廖新勤，郑将辉，朱丽虹，郭伟杰，苏毓涵，陈忠，
申请(专利权)人：厦门大学，
类型：发明
国别省市：

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