【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜，尤其涉及一种真空镀膜用蒸汽分配阀及真空镀膜方法。
技术介绍
1、真空镀膜是指在真空条件下，以物理或化学方式使材料分子蒸发或溅射，并到达和凝结于镀件表面形成薄膜的一种工艺方法。现有的真空蒸镀工艺中，可以将固体材料加热使其气化或升华而产生粒子蒸汽，蒸汽因加热机械能量及加热产生的密度变化，由坩埚上部开口或多个开口向上自然喷射，并以热力学运动形式飞向基板表面凝固成膜。诸如中国专利文献cn118996341a公开的一种镀膜蒸汽立式布气装置及其使用方法等，实现了卧式蒸发器的垂直向上的蒸汽流形式或以侧向水平喷射的蒸汽流形式镀膜的方案，其中，现有真空蒸镀工艺中通常采用的蒸发器蒸汽向上自然喷射的方式，但无法实现蒸汽的分区域实时流量控制，即无法对镀膜基板上各区域上的蒸镀膜厚做实时控制，以致还有待进一步优化改进。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术的目的在于提出一种真空镀膜用蒸汽分配阀及真空镀膜方法，以解决现有的真空蒸镀工艺中无法实现蒸汽的分区域实时流量控制，即无法对镀膜基板上各区域...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜用蒸汽分配阀，设于真空镀膜系统中，所述真空镀膜系统包括依次连接的蒸镀室(1)、布气组件(2)、气控室(3)、蒸发器(4)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用蒸汽分配阀，其特征在于，所述气控室(3)的顶端连接有气控法兰(31)，并通过气控法兰(31)与布气盖板(5)底端相连，所述蒸发器(4)顶端设有倾斜出气口(41)，所述倾斜出气口(41)的顶端连接有蒸气法兰(42)，并通过蒸气法兰(42)与气控室(3)的侧端下方相连。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用蒸汽分配阀，其特征在于，所述气通道(6)的顶端长度方向...
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜用蒸汽分配阀，设于真空镀膜系统中，所述真空镀膜系统包括依次连接的蒸镀室(1)、布气组件(2)、气控室(3)、蒸发器(4)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用蒸汽分配阀，其特征在于，所述气控室(3)的顶端连接有气控法兰(31)，并通过气控法兰(31)与布气盖板(5)底端相连，所述蒸发器(4)顶端设有倾斜出气口(41)，所述倾斜出气口(41)的顶端连接有蒸气法兰(42)，并通过蒸气法兰(42)与气控室(3)的侧端下方相连。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用蒸汽分配阀，其特征在于，所述气通道(6)的顶端长度方向垂直于基片(100)横向移动方向，所述布气组件(2)、气控室(3)、蒸发器(4)沿基片(100)横向移动方向上间隔布设有多组。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用蒸汽分配阀，其特征在于，所述驱动器(82)的输出端连接有驱动滑杆(83)，所述驱动滑杆(83)的一端连接有驱动连杆(84)，所述驱动连杆(84)的一端与阀芯(80)相连接。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用蒸汽分配阀，其特征在于，所述阀芯(80)伸入气控室(3)内的一端上套接有密封波纹管(9)。
6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜用蒸汽分配阀，其特征在于，所述密封波纹管(9)分为连接于气控室(3)内底端的第一波纹管(91)，以及连接于第一波纹管(91)上端的第二波纹管(92)，第一波纹管(91)与气控室(3)内底端之间弹性连接，第一波纹管(91)与第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：王荣杰，吴建清，江湖，
申请(专利权)人：安徽华远装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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