【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及抛光，具体为一种外加能场协同化学机械平坦化设备。
技术介绍
1、超声化学机械抛光技术与电化学机械抛光技术都能够较大提高晶圆的材料去除率，表面质量有不同程度的提升，因此可以同时引入超声与电两种因素，研究超声电化学机械抛光技术。为了实现研究超声电化学机械抛光技术，要有一台特种外加能场协同化学机械平坦化设备。
技术实现思路
1、针对上述需求，本专利技术提供外加能场协同化学机械平坦化设备，来满足研究实验所需要的超声振动、电流电压、抛光头与抛光盘转动、抛光头自动加载、抛光压力与摩擦力的采集、抛光液供给、废液收集、抛光头自动调节功能，并能够自行设置抛光工艺参数，设备自动运行。
2、本专利技术的上述优化结构是通过以下技术方案得以实现的：一种外加能场协同化学机械平坦化设备，包括丝杆机架，所述丝杆机架上垂直设有伺服丝杆装置，所述伺服丝杆装置与所述丝杆机架呈十字连接结构，所述伺服丝杆装置上设有抛光头装置，所述伺服丝杆装置可带动所述抛光头装置沿水平、竖直方向移动，所述抛光头装置上设有待...
【技术保护点】
1.一种外加能场协同化学机械平坦化设备，其特征在于：包括丝杆机架（8），所述丝杆机架（8）上垂直设有伺服丝杆装置（1），所述伺服丝杆装置（1）与所述丝杆机架（8）呈十字连接结构，所述伺服丝杆装置（1）上设有抛光头装置（2），所述伺服丝杆装置（1）可带动所述抛光头装置（2）沿水平、竖直方向移动，所述抛光头装置（2）上设有待加工工件，所述抛光头装置（2）下方设有抛光盘机架（7），所述抛光盘机架（7）上设有抛光盘装置（3），所述抛光盘装置（3）设于所述抛光头装置（2）下方；
2.根据权利要求1所述的一种外加能场协同化学机械平坦化设备，其特征在于：所述伺服丝杆装置...
【技术特征摘要】
1.一种外加能场协同化学机械平坦化设备，其特征在于：包括丝杆机架（8），所述丝杆机架（8）上垂直设有伺服丝杆装置（1），所述伺服丝杆装置（1）与所述丝杆机架（8）呈十字连接结构，所述伺服丝杆装置（1）上设有抛光头装置（2），所述伺服丝杆装置（1）可带动所述抛光头装置（2）沿水平、竖直方向移动，所述抛光头装置（2）上设有待加工工件，所述抛光头装置（2）下方设有抛光盘机架（7），所述抛光盘机架（7）上设有抛光盘装置（3），所述抛光盘装置（3）设于所述抛光头装置（2）下方；
2.根据权利要求1所述的一种外加能场协同化学机械平坦化设备，其特征在于：所述伺服丝杆装置（1）包括丝杆机架（8）、垂直伺服电机（101）、垂直丝杆组件（103）、丝杆连接板（104）、水平丝杆组件支撑脚（108）、水平伺服电机（109）、水平丝杆组件（110），所述垂直丝杆组件（103）平行设于所述丝杆机架（8）上，所述垂直丝杆组件（103）顶部设有垂直伺服电机（101），所述垂直丝杆组件（103）上设有所述丝杆连接板（104），所述丝杆连接板（104）上设有所述水平丝杆组件（110），所述水平丝杆组件（110）一端设有所述水平伺服电机（109），所述水平丝杆组件（110）远离所述丝杆连接板（104）一侧设有所述抛光头装置（2），所述水平丝杆组件（110）与所述丝杆连接板（104）之间设有多个所述水平丝杆组件支撑脚（108）。
3.根据权利要求2所述的一种外加能场协同化学机械平坦化设备，其特征在于：所述伺服丝杆装置（1）还包括三个垂直光电传感器（102）、三个水平光电传感器（111），三个垂直光电传感器（102）设于所述垂直丝杆组件（103）一侧，三个水平光电传感器（111）设于所述水平丝杆组件（110）顶部。
4.根据权利要求2所述的一种外加能场协同化学机械平坦化设备，其特征在于：所述伺服丝杆装置（1）还包括导轨连接板（105）、导轨（106）、滑块（107）；
5.根据权利要求1所述的一种外加能场协同化学机械平坦化设备，其特征在于：所述抛光头装置（2）包括传感器连接板（201）、小带轮（202）、抛光头伺服电机（203）、平衡元件（204）、内六角螺栓（205）、弹簧（206）、超声换能器（207）、振子夹持器（208）、转轴（209）、轴承座（210）、轴承端盖（211）、三维压力传...
【专利技术属性】
技术研发人员：许文虎，衷会清，钟敏，易美荣，陈建锋，李小兵，
申请(专利权)人：南昌大学，
类型：发明
国别省市：
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