一种基于磷酸钛氧钾晶体的周期性畴擦除结构元件制备方法及其产品技术

本发明专利技术公开了一种基于磷酸钛氧钾晶体的周期性畴擦除结构元件制备方法及其产品，其方法包括：利用沿晶体z向垂直入射磷酸钛氧钾晶体的飞秒激光条形光束，将飞秒激光辐照区域的铁电畴进行擦除，生成畴擦除结构；并沿所述磷酸钛氧钾晶体的y向平移飞秒激光辐照区域，得到沿y向排布的周期性畴擦除结构；基于飞秒激光对所述磷酸钛氧钾晶体的近表面进行烧蚀，制备出两条平行且贯穿所述周期性畴擦除结构的空气槽；S3.基于空气槽，得到脊型光波导的导波区域；对晶体体y向垂直的两个端面，进行光学抛光处理，最终得到磷酸钛氧钾晶体周期性畴擦除结构元件。本发明专利技术能够实现更加快速高效地制备周期性畴结构并实现特定波长下的非线性频率转换。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光电子器件制备，更具体的说是涉及一种基于磷酸钛氧钾晶体的周期性畴擦除结构元件制备方法及其产品。

技术介绍

1、磷酸钛氧钾晶体(ktiopo4或ktp)是一种性能优异的非线性铁电晶体材料，具有较大的非线性光学系数(约为kdp晶体的15倍)和较宽的光谱透过范围，接收角大，走离角小，并且化学性质和机械性能稳定。磷酸钛氧钾晶体在激光频率转换、光参量振荡和放大等领域具有重要的应用。通过对磷酸钛氧钾晶体的非线性光学系数(即铁电晶体畴)进行周期性地调控，可以在磷酸钛氧钾晶体中制备非线性光子晶体结构，从而实现特定波长下的高效非线性频率转换。

2、飞秒激光具有超高的峰值功率和超短的脉冲宽度。飞秒激光超高的峰值功率可以在透明光学材料内部激发一系列非线性相互作用过程(如多光子吸收、隧穿电离和雪崩击穿)，飞秒激光超短的脉冲宽度可以抑制加工过程中热影响区域的形成，使飞秒激光微纳米级加工成为可能。飞秒激光直写技术具有加工精度高、加工速度快和真三维加工等特点，在生物医学、材料工程和机械制造业等领域已经得到了广泛的应用。

3、目前，科研工作者已发现通本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于磷酸钛氧钾晶体的周期性畴擦除结构元件制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种基于磷酸钛氧钾晶体的周期性畴擦除结构元件制备方法，其特征在于，步骤S1中，沿晶体z向垂直入射磷酸钛氧钾晶体的飞秒激光条形光束通过以下步骤获取：

3.根据权利要求1所述的一种基于磷酸钛氧钾晶体的周期性畴擦除结构元件制备方法，其特征在于，步骤S1中，生成的周期性畴擦除结构中，单周期内畴擦除结构的占空比为0.5。

4.根据权利要求1所述的一种基于磷酸钛氧钾晶体的周期性畴擦除结构元件制备方法，其特征在于，步骤S2中，制备的每条空气槽的沟槽深度16μ...

【技术特征摘要】

1.一种基于磷酸钛氧钾晶体的周期性畴擦除结构元件制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种基于磷酸钛氧钾晶体的周期性畴擦除结构元件制备方法，其特征在于，步骤s1中，沿晶体z向垂直入射磷酸钛氧钾晶体的飞秒激光条形光束通过以下步骤获取：

3.根据权利要求1所述的一种基于磷酸钛氧钾晶体的周期性畴擦除结构元件制备方法，其特征在于，步骤s1中，生成的周期性畴擦除结构中，单周期内畴擦除结构的占空比为0.5。

4.根据权利要求1所述的一种基于磷酸钛氧钾晶体的周期性畴擦除结构元件制备方法，其特征在于，步骤s2中，制备的每条空气槽的沟槽深度16μm，跨度为2μm，两条平行空气槽的横向间隔为12μm。

5.一种基于磷酸钛氧钾晶体的周期性畴擦除结构元件，其特征在于，包括：磷酸钛氧钾晶体，所述磷酸钛氧钾晶体的通光方向为沿着晶体y向，所述磷酸钛氧钾晶体的内部设置有沿y向排布有周期性畴擦除结构，所述磷酸钛氧钾晶体的表面设置有贯穿所述周...

【专利技术属性】
技术研发人员：张彬，陈峰，
申请(专利权)人：山东大学，
类型：发明
国别省市：