一种百安培等级的多探头传输延时校准装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种百安培等级的多探头传输延时校准装置，涉及功率半导体测试方法和设备技术领域，包括阻性负载开关模块、驱动模块以及传输模块，所述阻性负载开关模块通过传输模块与校准对象适配连接；所述阻性负载开关模块包括开关器件Q1，所述开关器件Q1与所述驱动模块适配连接；所述驱动模块用于驱动开关器件Q1使阻性负载开关模块产生校准信号，所述校准信号通过传输模块传输至所述校准对象。该传输延时校准装置支持百安培等级的电流探头校准信号输出，且适配多种探头类型。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及功率半导体测试方法和设备，尤其是一种百安培等级的多探头传输延时校准装置。

技术介绍

1、所述传输延时校准装置主要应用于电力电子(电源)分析及高速功率器件的动态特性测量分析领域，目的是利用该装置产生的高电流、高电压同步电学波形(时域信号)，调整示波器采集信号端的各类电压探头与电流探头，使各探头传输时间的保持一致，以便得到准确测量结果。

2、目前市面上的传输延时校准装置主要存在以下问题：

3、(1)所产生的电压和电流探头的激励信号均较低，通常可达到电流范围仅为0.1a至1a，可达到电压范围电压仅为5～10v左右，远低于实际校准对象的测量电流电压范围(1a～100a数量级，10v～1000v范围)，这导致即使采用这类校准装置，校准对象各探头之间的延时误差仍然较大。因此实际使用场景中对各类探头的所起到的校准作用很小，参考价值有限。部分装置的可达到的速度也较慢(达到100ns以上)，影响了时延校准的效果。

4、(2)校准装置设计的可供接入的测量形式较少(主要是接入探头的形式)，并不适配高速功率器件或者模块的测量。通常本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种百安培等级的多探头传输延时校准装置，其特征在于，包括阻性负载开关模块、驱动模块以及传输模块，所述阻性负载开关模块通过传输模块与校准对象适配连接；所述阻性负载开关模块包括开关器件Q1，所述开关器件Q1与所述驱动模块适配连接；

2.根据权利要求1所述的百安培等级的多探头传输延时校准装置，其特征在于，所述阻性负载开关模块还包括薄膜电容C1、负载电阻R Load以及同轴分流电阻器，所述薄膜电容C1的一端与开关器件Q1的第三电极连接，所述开关器件Q1的第二电极与驱动模块连接，所述开关器件Q1的第一电极与负载电阻R Load的一端电连接并形成第一连接点；>

3.根据权利...

【技术特征摘要】

1.一种百安培等级的多探头传输延时校准装置，其特征在于，包括阻性负载开关模块、驱动模块以及传输模块，所述阻性负载开关模块通过传输模块与校准对象适配连接；所述阻性负载开关模块包括开关器件q1，所述开关器件q1与所述驱动模块适配连接；

2.根据权利要求1所述的百安培等级的多探头传输延时校准装置，其特征在于，所述阻性负载开关模块还包括薄膜电容c1、负载电阻r load以及同轴分流电阻器，所述薄膜电容c1的一端与开关器件q1的第三电极连接，所述开关器件q1的第二电极与驱动模块连接，所述开关器件q1的第一电极与负载电阻r load的一端电连接并形成第一连接点；

3.根据权利要求2所述的百安培等级的多探头传输延时校准装置，其特征在于，所述负载电阻r load为无感电阻。

4.根据权利要求2所述的百安培等级的多探头传输延时校准装置，其特征在于，所述开关器件q1包括n型mosfet开关管。

5.根据权利要求2所述的百安培等级的多探头传输延时校准装置，其特征在于，所述传输模块包括与第一连接点连接的多个高压传输单元，以及与第二连接点连接的多个低...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜南，黄晓鸣，王春香，何梅芳，
申请(专利权)人：无锡能芯检测科技有限公司，
类型：发明
国别省市：