【技术实现步骤摘要】
本申请涉及自动化的，特别涉及一种升降机构及预热装置。
技术介绍
1、在光伏及半导体产品生产的过程中，片状材料需要进行原子层沉积(atomiclayer deposition，ald)，从而在片状材料上形成多层原子膜。片状材料在进行ald加工前可以在预热装置内进行预热，预热装置的上设置预热件，可以对位于预热装置内的片状材料进行加热。加热后的片状材料可以进入与预热装置连通的反应装置中进行镀膜。
2、反应装置和预热件在竖直方向上间隔设置，因此片状材料通常位于在竖直方向上与反应装置对应的位置进行加热，以便加热后进入反应装置。如此，片状材料难以在靠近预热件的位置进行加热，导致片状材料的加热效率不佳。
技术实现思路
1、鉴于以上内容，有必要提供一种升降机构及预热装置，以解决上述缺陷。
2、第一方面，本申请的实施例提供一种预热装置的升降机构，预热装置包括预热舱，预热舱用于加热片状材料，预热舱包括沿竖直方向设置的预热位置和传输位置，预热位置为片状材料加热时在预热舱内的位置，传输位置...
【技术保护点】
1.一种预热装置的升降机构，其特征在于，所述预热装置包括预热舱，所述预热舱用于加热片状材料，所述预热舱包括沿竖直方向设置的预热位置和传输位置，所述预热位置为所述片状材料加热时在所述预热舱内的位置，所述传输位置用于对接与所述预热舱连通的反应舱，所述升降机构设置于所述预热舱内，所述升降机构包括：
2.如权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述预热舱上开设有料口，所述料口用于供所述片状材料通过以进入或移出所述预热舱，所述传输位置与所述料口对应设置，所述升降组件包括：
3.如权利要求2所述的升降机构，其特征在于，所述升降机构还包括：
4....
【技术特征摘要】
1.一种预热装置的升降机构，其特征在于，所述预热装置包括预热舱，所述预热舱用于加热片状材料，所述预热舱包括沿竖直方向设置的预热位置和传输位置，所述预热位置为所述片状材料加热时在所述预热舱内的位置，所述传输位置用于对接与所述预热舱连通的反应舱，所述升降机构设置于所述预热舱内，所述升降机构包括：
2.如权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述预热舱上开设有料口，所述料口用于供所述片状材料通过以进入或移出所述预热舱，所述传输位置与所述料口对应设置，所述升降组件包括：
3.如权利要求2所述的升降机构，其特征在于，所述升降机构还包括：
4.如权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述升降驱动组件包括：
5...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱太荣，张武，刘群，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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