【技术实现步骤摘要】
本申请涉及自动化的，特别涉及一种升降机构及预热装置。
技术介绍
1、在光伏及半导体产品生产的过程中，片状材料需要进行原子层沉积(atomiclayer deposition，ald)，从而在片状材料上形成多层原子膜。片状材料在进行ald加工前可以在预热装置内进行预热，预热装置的上设置预热件，可以对位于预热装置内的片状材料进行加热。加热后的片状材料可以进入与预热装置连通的反应装置中进行镀膜。
2、反应装置和预热件在竖直方向上间隔设置，因此片状材料通常位于在竖直方向上与反应装置对应的位置进行加热，以便加热后进入反应装置。如此，片状材料难以在靠近预热件的位置进行加热，导致片状材料的加热效率不佳。
技术实现思路
1、鉴于以上内容，有必要提供一种升降机构及预热装置，以解决上述缺陷。
2、第一方面，本申请的实施例提供一种预热装置的升降机构，预热装置包括预热舱，预热舱用于加热片状材料，预热舱包括沿竖直方向设置的预热位置和传输位置，预热位置为片状材料加热时在预热舱内的位置，传输位置用于对接与预热舱连通的反应舱，升降机构设置于预热舱内，升降机构包括：升降组件，可移动地设置于预热舱，且用于承接片状材料；升降驱动组件，与升降组件连接，且用于驱动升降组件移动，以使片状材料移动至预热位置，以及驱动升降组件移动，以使片状材料移动至所传输位置。
3、可选地，预热舱上开设有料口，料口用于供片状材料通过以进入或移出预热舱，传输位置与料口对应设置，升降组件包括：升降架，升降驱动组件
4、可选地，升降机构还包括：固定架，固定架用于安装于预热舱的内壁，升降导向组件与固定架连接，使升降组件可移动地连接于固定架。
5、可选地，升降驱动组件包括：升降驱动轮，升降驱动轮可转动地连接于预热舱；升降随动轮，升降随动轮可转动地连接于预热舱且与升降驱动轮间隔设置；升降驱动绳，升降驱动绳套设于升降驱动轮和升降随动轮，且连接升降组件；升降驱动件，升降驱动件与升降驱动轮连接，升降驱动件用于驱动升降驱动轮转动，使升降随动轮及升降驱动绳同步转动，从而使升降组件移动。
6、可选地，升降驱动组件还包括：升降驱动轴，升降驱动轴的轴向与升降驱动轮的轴向重合，升降驱动轴用于可转动地连接于预热舱，升降驱动轴与升降驱动件及多个升降驱动轮连接，升降驱动件用于驱动升降驱动轴转动，以使每一个升降驱动轮及对应的升降随动轮和升降驱动绳同步转动。
7、可选地，升降导向组件包括：升降导轨，升降导轨用于安装于预热舱的内壁；升降导向轮，升降导向轮可转动地连接于升降组件，升降导向轮的轴向垂直于升降组件移动的方向，升降导向轮的周壁用于与升降导轨滑动配合。
8、可选地，升降导向轮的周壁上开设有限位槽，限位槽用于收容升降导轨的至少部分结构，以限制升降导向轮与升降导轨在升降导向轮轴向上的相对移动。
9、第二方面，本申请的实施例提供一种预热装置，包括：预热舱，预热舱用于加热片状材料；如上述任一项的升降机构，升降机构设置于预热舱内。
10、可选地，预热装置还包括：反射板，反射板设置于传输位置背离预热位置的一侧，反射板用于反射从预热位置传递至反射板的热量，使反射后的热量朝向预热位置流动。
11、通过本申请提供的升降机构及预热装置，升降组件可以使承接的片状材料移动至靠近预热件的位置进行加热，从而可以提高对片状材料的加热效果，以及可以提高片状材料完成镀膜加工的效率。现有技术中，片状材料可直接在工艺腔体内加热至工艺温度后开始做镀膜工艺，加热和工艺有先后顺序的，此过程浪费了加热时间。本申请通过设置第一承接架和第二承接架，将预热工序和工艺工序分离开来，预热和工艺可以同步进行，提高了加工效率。
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1.一种预热装置的升降机构，其特征在于，所述预热装置包括预热舱，所述预热舱用于加热片状材料，所述预热舱包括沿竖直方向设置的预热位置和传输位置，所述预热位置为所述片状材料加热时在所述预热舱内的位置，所述传输位置用于对接与所述预热舱连通的反应舱，所述升降机构设置于所述预热舱内，所述升降机构包括：
2.如权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述预热舱上开设有料口，所述料口用于供所述片状材料通过以进入或移出所述预热舱，所述传输位置与所述料口对应设置，所述升降组件包括：
3.如权利要求2所述的升降机构，其特征在于，所述升降机构还包括：
4.如权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述升降驱动组件包括：
5.如权利要求4所述的升降机构，其特征在于，所述升降驱动组件还包括：
6.如权利要求2所述的升降机构，其特征在于，所述升降导向组件包括：
7.如权利要求6所述的升降机构，其特征在于，所述升降导向轮的周壁上开设有限位槽，所述限位槽用于收容所述升降导轨的至少部分结构，以限制所述升降导向轮与所述升降导轨在所述升降导向轮轴向上
8.如权利要求7所述的升降机构，其特征在于，在从所述升降导向轮周壁朝向所述升降导向轮中心的方向上，所述限位槽的宽度逐渐减少，所述升降导轨与所述限位槽适配。
9.一种预热装置，其特征在于，包括：
10.如权利要求9所述的预热装置，其特征在于，所述预热装置还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种预热装置的升降机构，其特征在于，所述预热装置包括预热舱，所述预热舱用于加热片状材料，所述预热舱包括沿竖直方向设置的预热位置和传输位置，所述预热位置为所述片状材料加热时在所述预热舱内的位置，所述传输位置用于对接与所述预热舱连通的反应舱，所述升降机构设置于所述预热舱内，所述升降机构包括：
2.如权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述预热舱上开设有料口，所述料口用于供所述片状材料通过以进入或移出所述预热舱，所述传输位置与所述料口对应设置，所述升降组件包括：
3.如权利要求2所述的升降机构，其特征在于，所述升降机构还包括：
4.如权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述升降驱动组件包括：
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【专利技术属性】
技术研发人员：朱太荣，张武，刘群，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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