【技术实现步骤摘要】
本专利技术申请涉及光学检测，具体涉及一种透明元件面形检测方法。
技术介绍
1、平面透明元件在现代工业中被广泛应用于光学仪器、电子设备以及精密制造等领域，其中，平面透明元件的面形质量直接影响到产品的性能及可靠性。传统的透明元件检测方法是采用偏折术检测，其通过测量光线在元件表面的偏折来获取元件表面信息，但是，由于透明元件前后表面的反射，使得偏折术检测中会出现寄生反射现象，从而检测结果中包含了透明元件前后表面的反射叠加信息，由此影响检测的准确性。
2、为了实现无损元件面形的准确检测，专利技术人知晓一种特殊光源法，该方法是利用透明元件在紫外光波段不发生折射的特性，消除上述寄生反射的不利影响，以实现透明元件面形的检测，但是该检测方法的检测元件种类受限。此外专利技术人还知晓一种空域法，其是通过显示线结构光、二值图案或点阵图，确定仅包含有前表面反射的区域，但是该方法难以快速准确地确定合适的阈值以确定该区域。另外还有一种频域法，其是将寄生反射看作是两个正弦信号的叠加，使用信号分析的方法分离寄生反射，为了获得序列的功率谱分布或包络零点，时间强...
【技术保护点】
1.一种透明元件面形检测方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的透明元件面形检测方法，其特征在于，在所述步骤（1）中，对应调整所述显示器、相机以及待测透明元件间的相对位置，使所述待测透明元件完全反射所述显示器的显示信息、所述相机完全捕捉所述待测透明元件的反射信息。
3.根据权利要求1所述的透明元件面形检测方法，其特征在于，在所述步骤（3）中，由相位展开获取x方向的叠加相位；
4.根据权利要求3所述的透明元件面形检测方法，其特征在于，在所述步骤（3）中，x方向和y方向的所述叠加显示器坐标分别为：
5.根据...
【技术特征摘要】
1.一种透明元件面形检测方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的透明元件面形检测方法，其特征在于，在所述步骤（1）中，对应调整所述显示器、相机以及待测透明元件间的相对位置，使所述待测透明元件完全反射所述显示器的显示信息、所述相机完全捕捉所述待测透明元件的反射信息。
3.根据权利要求1所述的透明元件面形检测方法，其特征在于，在所述步骤（3）中，由相位展开获取x方向的叠加相位；
4.根据权利要求3所述的透明元件面形检测方法，其特征在于，在所述步骤（3）中，x方向和y方向的所述叠加显示器坐标分别为：
5.根据权利要求1或4所述的透明元件面形检测方法，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：张庆辉，郑万兴，吕磊，万晨霞，王金辉，
申请(专利权)人：河南工业大学，
类型：发明
国别省市：
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