【技术实现步骤摘要】
本技术涉及射频电源，特别涉及一种模块化组件式射频电源。
技术介绍
1、射频电源可广泛应用于半导体工艺、等离子清洗、真空镀膜等领域。现有射频电源多采用层叠布局方式，运用上、下水冷板将电源箱体分层，在不同层设置多个功放模块，多个模块交错叠层放置，内部布线凌乱，不便于装配、维护。就射频电源中的功放模块，现有专利（公开号cn205142774u一种单功放模块降温插箱针对功率）采用插箱结构布局，在一定程度上有利于电路板的安装和维护，但未采用集中供电、冷却，在供电上每个功放模块都需单独外接电源，散热上冷却管路连接也相对复杂。基于此，需提供一种结构紧凑、散热效果好、便于装卸维护的射频电源。
技术实现思路
1、本技术的目的在于克服现有技术中所存在的上述不足，提供一种模块化组件式射频电源。
2、为了实现上述技术目的，本技术提供了以下技术方案：
3、一种模块化组件式射频电源，包括：设置在箱体内的第一液冷板、若干个功放模块、输入滤波整流单元、控制单元、若干个供电单元、合路单元；所述第一液...
【技术保护点】
1.一种模块化组件式射频电源，其特征在于，包括：设置在箱体（1）内的第一液冷板（2）、若干个功放模块（5）、输入滤波整流单元（8）、控制单元（9）、若干个供电单元（3）、合路单元（10）；所述第一液冷板（2）水平放置，将箱体（1）内分为上部区域和下部区域；所述上部区域内，第一液冷板（2）的前端设有输入滤波整流单元（8）、控制单元（9）、合路单元（10），第一液冷板（2）的后端设有若干个竖向排列的功放模块（5）；所述下部区域内，第一液冷板（2）上设有若干个并列设置的供电单元（3），所述供电单元（3）的输出端经导电件（19）电连接至所述功放模块（5）的输入端，功放模块（5...
【技术特征摘要】
1.一种模块化组件式射频电源，其特征在于，包括：设置在箱体（1）内的第一液冷板（2）、若干个功放模块（5）、输入滤波整流单元（8）、控制单元（9）、若干个供电单元（3）、合路单元（10）；所述第一液冷板（2）水平放置，将箱体（1）内分为上部区域和下部区域；所述上部区域内，第一液冷板（2）的前端设有输入滤波整流单元（8）、控制单元（9）、合路单元（10），第一液冷板（2）的后端设有若干个竖向排列的功放模块（5）；所述下部区域内，第一液冷板（2）上设有若干个并列设置的供电单元（3），所述供电单元（3）的输出端经导电件（19）电连接至所述功放模块（5）的输入端，功放模块（5）的输出端电连接至合路单元（10）。
2.根据权利要求1所述的一种模块化组件式射频电源，其特征在于，每个所述功放模块（5）包括宽面竖向设置的第二液冷板（13），及设置于第二液冷板（13）宽侧面的功放单元（14），所述功放单元（14）输入端电连接至供电单元（3），输出端电连接至合路单元（10）。
3.根据权利要求2所述的一种模块化组件式射频电源，其特征在于，所述功放模块(5)还包括壳体(12)，壳体(12)内第二液冷板(13)的两个宽侧面对应设置有功放单元(14)。
4.根据权利要求2所述的一种模块化组件式射频电源，其特征在于，所述输入滤波整流单元(8)中的整流部分(15)紧贴安装在第一液冷板(2)上，所述整流部分(15)、控制单元(9...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓超，郑现坤，黄阳，邱文杰，候山山，
申请(专利权)人：成都英杰晨晖科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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