【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及喷金仪，具体为一种非接触旋转式喷金仪。
技术介绍
1、喷金仪也叫离子溅射仪，是采用离子溅射的方式进行镀膜的仪器。离子溅射仪的基本构成包括离子源、加速器、靶材、基底和真空系统。离子源是产生离子束的装置，加速器是将离子束加速到高能的装置，靶材是被轰击的物质，基底是沉积薄膜的物质，真空系统是保证离子束在真空环境下传输的装置。其工作原理如下：用带有几百电子伏特以上动能的粒子或粒子束轰击固体表面，使靠近固体表面的原子获得入射粒子所带能量的一部分而脱离固体进入到真空中，这种现象称为溅射。在封闭腔室中，放置阳极靶材(通常是金靶)，充入气体并保持一定的真空度。在阳极和阴极之间加载高压，发生辉光放电现象。电离的气体离子会轰击、侵蚀阳极靶材，靶材原子向四周扩散并在样品上沉积，最终在样品表面形成一个均匀的镀层。
2、在现有的喷金仪在对样品喷金时，由于样品直接放置在喷金仪内，不能够对样品进行均匀转动，也不能够对样品进行全面的喷金，还会降低样品喷金的效率，不方便工作人员进行使用，况且，现有的喷金仓密封性较差，工作人员需要将喷金仓上方的密封盖按住，以保证喷金仓在使用时的密封性，必然增加工作人员的工作量，还可能由于工作人员的疏忽，导致喷金仓没有完全密封，从而降低喷金仪对样品喷金的质量，使得样品在后续扫描时存在一定的缺陷。因此，需要一种非接触旋转式喷金仪解决上述技术问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提供了一种非接触旋转式喷金仪，相较于传统的喷金仪，本专利技术通过磁性吸附带动转
2、为了实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
3、一种非接触旋转式喷金仪，包括外环磁吸运动装置、喷金装置和控制台，所述控制台上方安装有喷金装置，所述喷金装置外侧周向分布有外环磁吸运动装置，所述外环磁吸运动装置2通过支撑柱安装在控制台1中心，所述控制台用于控制外环磁吸运动装置和喷金装置，所述控制台顶部固定安装有底座，所述底座上设置有抽气孔，所述底座通过轴承转动连接有转盘，所述转盘底部设有永磁铁一，所述底座的边缘设置有透明玻璃罩，所述透明玻璃罩的顶部设置有密封盖，所述密封盖的底部设有位移平台，所述位移平台上设置有喷金电极，所述喷金电极与控制台电连接。
4、进一步地，所述外环磁吸运动装置包括环形齿条导轨和磁吸装置，所述磁吸装置包括齿轮、电机和永磁铁二，所述齿轮与环形齿条导轨相互啮合，所述电机的输入端与控制台通信连接，所述电机的输出端与齿轮连接，所述永磁铁二与喷金装置中的永磁铁一磁性吸附。
5、进一步地，所述环形齿条导轨设置在透明玻璃罩的外部，且与喷金装置中的转盘设置在同一水平面。
6、进一步地，所述控制台外部设置有真空泵，所述真空泵与抽气孔通过抽气管连接。
7、进一步地，所述底座和密封盖的内侧固定安装有密封条，用于与透明玻璃罩适配。
8、进一步地，所述喷金装置内还设置有压力传感器，所述压力传感器与控制台通信连接，用于检测玻璃罩内的压力。
9、本专利技术的有益效果在于：
10、1、本专利技术通过启动外环磁吸运动装置，通过磁吸装置的磁性吸附带动在真空环境下的转盘进行转动，再通过转盘的转动带动样品进行转动，从而使得喷金电极能够更加全面高效的对样品进行喷金。
11、2、本专利技术通过位移平台控制喷金电极的直线运动，实现了喷金位置的调节，提高了喷金作业面积。
12、3、本专利技术通过设置压力传感器，能够实时调节真空泵的功率，使得喷金时环境压力得到稳定控制，从而进一步保证底座与玻璃罩的密封性，从而避免喷金电极在对样品喷金时，透明玻璃罩内部发生漏气，从而导致样品喷金的质量降低。
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1.一种非接触旋转式喷金仪，其特征在于，包括外环磁吸运动装置(2)、喷金装置(3)和控制台(1)，所述控制台(1)上方安装有喷金装置(3)，所述喷金装置(3)外侧周向分布有外环磁吸运动装置(2)，所述外环磁吸运动装置(2)通过支撑柱安装在控制台(1)中心，所述控制台(1)用于控制外环磁吸运动装置(2)和喷金装置(3)，所述控制台(1)顶部固定安装有底座(4)，所述底座(4)上设置有抽气孔，所述底座(4)通过轴承转动连接有转盘(5)，所述转盘(5)底部设有永磁铁一(6)，所述底座(4)的边缘设置有透明玻璃罩(7)，所述透明玻璃罩(7)的顶部设置有密封盖(8)，所述密封盖(8)的底部设有位移平台(9)，所述位移平台(9)上设置有喷金电极(10)，所述喷金电极(10)与控制台(1)电连接。
2.根据权利要求1所述的一种非接触旋转式喷金仪，其特征在于，所述外环磁吸运动装置(2)包括环形齿条导轨(11)和磁吸装置(12)，所述磁吸装置(12)包括齿轮(15)、电机(16)和永磁铁二(17)，所述齿轮(15)与环形齿条导轨(11)相互啮合，所述电机(16)的输入端与控制台(1)通
3.根据权利要求2所述的一种非接触旋转式喷金仪，其特征在于，所述环形齿条导轨(11)设置在透明玻璃罩(7)的外部，且与喷金装置(3)中的转盘(5)设置在同一水平面。
4.根据权利要求1所述的一种非接触旋转式喷金仪，其特征在于，所述控制台(1)外部设置有真空泵(14)，所述真空泵(14)与抽气孔通过抽气管连接。
5.根据权利要求1所述的一种非接触旋转式喷金仪，其特征在于，所述底座(4)和密封盖(8)的内侧固定安装有密封条，用于与透明玻璃罩(7)适配。
6.根据权利要求4所述的一种非接触旋转式喷金仪，其特征在于，所述喷金装置(3)内还设置有压力传感器(13)，所述压力传感器(13)与控制台(1)通信连接，用于检测玻璃罩内的压力。
...【技术特征摘要】
1.一种非接触旋转式喷金仪，其特征在于，包括外环磁吸运动装置(2)、喷金装置(3)和控制台(1)，所述控制台(1)上方安装有喷金装置(3)，所述喷金装置(3)外侧周向分布有外环磁吸运动装置(2)，所述外环磁吸运动装置(2)通过支撑柱安装在控制台(1)中心，所述控制台(1)用于控制外环磁吸运动装置(2)和喷金装置(3)，所述控制台(1)顶部固定安装有底座(4)，所述底座(4)上设置有抽气孔，所述底座(4)通过轴承转动连接有转盘(5)，所述转盘(5)底部设有永磁铁一(6)，所述底座(4)的边缘设置有透明玻璃罩(7)，所述透明玻璃罩(7)的顶部设置有密封盖(8)，所述密封盖(8)的底部设有位移平台(9)，所述位移平台(9)上设置有喷金电极(10)，所述喷金电极(10)与控制台(1)电连接。
2.根据权利要求1所述的一种非接触旋转式喷金仪，其特征在于，所述外环磁吸运动装置(2)包括环形齿条导轨(11)和磁吸装置(12)，所述磁吸装置(12)包括齿轮(15)、电机(16)和永磁铁二...
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