一种HRE靶材、制备方法以及使用HRE靶材制备磁体的方法技术

本发明专利技术公开了一种HRE靶材、制备方法以及使用HRE靶材制备磁体的方法,上述HRE靶材的制备方法包括如下步骤：将重稀土金属通过真空感应熔炼或真空电弧熔炼制成高密度的HRE金属块体；熔炼后的HRE金属块体铸模成型为符合靶材要求的形状和尺寸；将HRE金属块冷却后通过车床和铣床加工成刨花状的HRE靶材；对HRE靶材进行表面处理并进行干燥；将HRE靶材在真空环境中保存。本发明专利技术将刨花状的HRE靶材引入蒸镀晶界扩散工艺中，经过多次蒸镀后，其外表面粗糙度虽然增加，但内表面几乎不受影响，随着蒸镀次数的增加，靶材外表面的粗糙度趋于稳定，蒸发量也因此保持稳定，稳定了扩散源的蒸发量，提升了磁体的矫顽力和磁能积。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于烧结磁体的制备领域，尤其涉及一种hre靶材、制备方法以及使用hre靶材制备磁体的方法。

技术介绍

1、钕铁硼磁体由于其高磁能积(bh)max而广泛应用于永磁电机中。但是在实际应用中，当电机运行温度超过150℃时，钕铁硼磁体的性能迅速下降。为了有效改善烧结钕铁硼磁体磁性能，晶界扩散技术已经崭露头角，能较好的提升烧结钕铁硼磁体的磁性能。

2、晶界扩散工艺已演变出多种创新应用方式，包括溅射、电泳沉积、涂覆、蒸镀等。其中，蒸镀分为静态蒸镀和旋转蒸镀两种方式，静态蒸镀在扩散源沉积与磁体扩散同步进行时，需特殊工装保持镀距，导致工艺复杂、生产效率低且成膜一致性较差。而旋转蒸镀则通过在旋转炉中放置小磁体和重稀土靶材，通过旋转和高温使重稀土金属沉积到磁体表面，具有设备投资少、效率高的优势，更适合商业化和规模化生产。

3、目前，在旋转蒸镀过程中，所用的重稀土靶材通常为球状或块状，这种形状有助于磁体在旋转时的各个表面均能与靶材接触，适用于多种形状的小尺寸磁体进行晶界扩散。然而，随着靶材的反复使用，球状或块状靶材表面逐渐变得粗糙，产生更多的凹本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种HRE靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.如权利要求1所述的HRE靶材的制备方法，其特征在于，所述表面处理为：预倒角0.1mm，并通过5％硝酸溶液进行酸洗去除HRE靶材表面氧化物。

3.如权利要求1所述的HRE靶材的制备方法，其特征在于：所述HRE靶材的纯度为99.5％-99.9％，厚度0.5mm-1mm。

4.如权利要求1所述的HRE靶材的制备方法，其特征在于：所述重稀土金属为Tb或Dy。

5.一种使用如权利要求1至4任一项所述方法制备的HRE靶材。

6.一种利用如权利要求5所述的HRE靶材制备磁体的方法，...

【技术特征摘要】

1.一种hre靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.如权利要求1所述的hre靶材的制备方法，其特征在于，所述表面处理为：预倒角0.1mm，并通过5％硝酸溶液进行酸洗去除hre靶材表面氧化物。

3.如权利要求1所述的hre靶材的制备方法，其特征在于：所述hre靶材的纯度为99.5％-99.9％，厚度0.5mm-1mm。

4.如权利要求1所述的hre靶材的制备方法，其特征在于：所述重稀土金属为tb或dy。

5.一种使用如权利要求1至4任一项所述方法制备的hre靶材。

6.一种利用如权利要求5所述的hre靶材制备磁体的方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘祥，胡智勇，
申请(专利权)人：苏州磁亿电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：