一种高强度掩膜板存储载具制造技术

本技术涉及掩模板生产技术领域，本技术要解决的技术问题是不能用于不同规格掩模板的装载。为了解决上述技术问题，本技术提供了一种高强度掩膜板存储载具。本技术包括：承载底座，包括第一本体、第一支撑件、第一限位组件以及两个第二限位组件；第一限位组件用于限制掩模板沿X方向和Y方向的移位；两个第二限位组件沿Y方向对称设置于第一本体的内壁，第二限位组件用于卡紧掩模板，以限制掩模板移位；第二限位组件包括设有卡槽的辅助限位件，两个第二限位组件的卡槽自掩模板的两侧夹紧掩模板；卡槽到第一本体中心的水平距离可调；遮光盖板扣合在承载底座的顶部。本技术适用于不同尺寸规格掩模板的装载。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及掩模板生产，尤其是指一种高强度掩膜板存储载具。

技术介绍

1、掩模板是一种用于微电子加工中的技术，主要作用是隔离和保护电路的特定区域。掩模板的制作涉及多个步骤，包括基板准备、上光刻胶、显影、蒸镀和拓印等。掩模板在集成电路制造、半导体器件制造和光刻技术等领域有着广泛的应用，由于大尺寸的掩模板单价较高，为了避免

2、存储及运输过程中的气蚀、particle、湿度、静电及紫外光等对掩模板的污染，所以需要使用特殊载具来装载掩模板。

3、现有的掩模板载具多采用非标定制或者拼接式的载具，非标定制载具存在一个载具不能用于不同规格掩模板的装载。大尺寸的掩模板自重一般都在200kg左右及以上，拼接式的载具在使用过程中易损坏。

技术实现思路

1、为此，本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中存在的上述问题。

2、为解决上述技术问题，本技术提供了一种高强度掩膜板存储载具，包括：

3、承载底座，包括第一本体、设于第一本体中的第一支撑件、设于第一本体中的第一限位组件以及设于第本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高强度掩膜板存储载具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的高强度掩膜板存储载具，其特征在于：还包括多个设于所述载具侧面的锁紧组件，所述遮光盖板与所述承载底座通过所述锁紧组件锁紧固定；所述锁紧组件包括搭扣和与所述搭扣配合连接的挂钩；所述搭扣和所述挂钩，两者中的一者连接在所述承载底座的侧壁、另一个连接在所述遮光盖板的侧壁。

3.根据权利要求1所述的高强度掩膜板存储载具，其特征在于：第二限位组件还包括至少一个锁紧螺栓；所述辅助限位件上设有与所述锁紧螺栓一一对应设置的腰形孔，所述腰形孔沿所述Y方向延伸；所述第一本体在设有辅助限位件的位置处设有螺纹孔，所述螺...

【技术特征摘要】

1.一种高强度掩膜板存储载具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的高强度掩膜板存储载具，其特征在于：还包括多个设于所述载具侧面的锁紧组件，所述遮光盖板与所述承载底座通过所述锁紧组件锁紧固定；所述锁紧组件包括搭扣和与所述搭扣配合连接的挂钩；所述搭扣和所述挂钩，两者中的一者连接在所述承载底座的侧壁、另一个连接在所述遮光盖板的侧壁。

3.根据权利要求1所述的高强度掩膜板存储载具，其特征在于：第二限位组件还包括至少一个锁紧螺栓；所述辅助限位件上设有与所述锁紧螺栓一一对应设置的腰形孔，所述腰形孔沿所述y方向延伸；所述第一本体在设有辅助限位件的位置处设有螺纹孔，所述螺纹孔与所述锁紧螺栓一一对应设置；所述锁紧螺栓穿过所述腰形孔与所述螺纹孔连接。

4.根据权利要求3所述的高强度掩膜板存储载具，其特征在于：所述卡槽处设有第一缓冲垫。

5.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：白利锋，王亚洲，
申请(专利权)人：苏州工业园区捷泰包装材料有限公司，
类型：新型
国别省市：