【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于尾气处理，尤其涉及一种等离子高温燃烧与水幕冷却的尾气处理系统。
技术介绍
1、等离子水洗尾气处理设备应用在半导体生产领域，主要用于对尾气通过等离子高温处理，将废气分子转化为各种活性粒子，进而反应生成无害物质。由于等离子火焰在燃烧腔内的冲击作用，注入燃烧腔的尾气还未与火焰充分接触即被冲击排出，并且在进入水幕冷却腔后尾气顺流而下，行程短、速度快，未能充分与水幕进行接触，导致尾气高温燃烧与水幕冷却效率偏低，处理后的尾气中有害气体分子残留超标，难以达到排放环保标准。
技术实现思路
1、专利技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本专利技术提供一种等离子高温燃烧与水幕冷却的尾气处理系统，通过筒型分火器对等离子火焰进行分火以及通过饼状布气盒布气形成尾气旋流，使尾气与火焰及水幕接触更加充分，提高尾气处理效率。
2、技术方案：为实现上述目的，本专利技术的一种等离子高温燃烧与水幕冷却的尾气处理系统，包括上、下同轴设置的高温燃烧腔和水幕冷却腔，高温燃烧腔的顶部设置有等离子火炬和初始进...
【技术保护点】
1.一种等离子高温燃烧与水幕冷却的尾气处理系统，包括上、下同轴设置的高温燃烧腔(1)和水幕冷却腔(2)，高温燃烧腔(1)的顶部设置有等离子火炬(3)和初始进气口(4)，高温燃烧腔(1)的底部为出气腔口(10)，水幕冷却腔(2)的外部为具备进水口(50)的环形蓄水腔(5)，出气腔口(10)伸入水幕冷却腔(2)，以形成将环形蓄水腔(5)内的冷却水从顶部注入水幕冷却腔(2)的溢流口(6)；
2.根据权利要求1所述的一种等离子高温燃烧与水幕冷却的尾气处理系统，其特征在于：所述进气管(71)的进气端与初始进气口(4)连通，所述进气管(71)的出气端连通分气腔(70)...
【技术特征摘要】
1.一种等离子高温燃烧与水幕冷却的尾气处理系统，包括上、下同轴设置的高温燃烧腔(1)和水幕冷却腔(2)，高温燃烧腔(1)的顶部设置有等离子火炬(3)和初始进气口(4)，高温燃烧腔(1)的底部为出气腔口(10)，水幕冷却腔(2)的外部为具备进水口(50)的环形蓄水腔(5)，出气腔口(10)伸入水幕冷却腔(2)，以形成将环形蓄水腔(5)内的冷却水从顶部注入水幕冷却腔(2)的溢流口(6)；
2.根据权利要求1所述的一种等离子高温燃烧与水幕冷却的尾气处理系统，其特征在于：所述进气管(71)的进气端与初始进气口(4)连通，所述进气管(71)的出气端连通分气腔(70)的内底部，流经进气管(71)的尾气通过筒外火焰部预热。
3.根据权利要求1所述的一种等离子高温燃烧与水幕冷却的尾气处理系统，其特征在于：所述内分气孔(72)和所述外分气孔(73)分别在筒型分火器(7)的周向呈圆周阵列分布，在筒型分火器(7)的轴向呈线性阵列分布；所述筒型分火器(7)的内圈壁面连接有随高度下降而逐渐收缩的内环形火焰围挡(74)，所述内环形火焰围挡(74)与内分气孔(72)的周向阵列分布组在筒型分火器(7)的轴向方向交替分布，使所述内环形火焰围挡(74)形成对其相邻下方的周向阵列分布组的所述内分气孔(72)的遮挡；所述筒型分火器(7)的外圈壁面连接有随高度下降而逐渐扩张的外环形火焰围挡(75)，所述外环形火焰围挡(75)与外分气孔(73)的周向阵列分布组在筒型分火器(7)的轴向方向交替分布，使所述外环形火焰围挡(75)形成对其相邻下方的周向阵列分布组的所述外分气孔(73)的遮挡。
4.根据权利要求1所述的一种等离子高温燃烧与水幕冷却的尾气处理系统，其特征在于：所述筒型分火器(7)的顶部设置有同轴的分火环盖(76)，所述分火环盖(76)具有径向尺寸与筒型分火器(7)的内圈径向尺寸相同的竖...
【专利技术属性】
技术研发人员：褚倩倩，杨彪局，
申请(专利权)人：无锡索奥环保装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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