一种差压传感器制造技术

技术编号:44857200 阅读:23 留言:0更新日期:2025-04-01 19:49
本发明专利技术属于压力检测设备技术领域,公开了一种差压传感器,其包括基体组件、过载保护膜片组件、安装座和管道组件。基体组件包括依次设置的正压基体、中间基体和负压基体;过载保护膜片组件包括位于正压基体和中间基体之间的第一过载保护膜片和位于中间基体和负压基体之间的第二过载保护膜片;具有感压芯片的安装座设置于基体组件;管道组件内有导压液,管道组件使过载保护膜片组件对感压芯片起到保护效果。上述差压传感器设置有第一过载保护膜片和第二过载保护膜片,基体受到瞬间压力时,第一过载保护膜片与第二过载保护膜片可以共同发生形变以消减感压芯片处产生的应力,两者可以在短时间内共同产生足够的形变量以实现对感压芯片更好的保护效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及压力检测设备,尤其涉及一种差压传感器


技术介绍

1、差压传感器是一种用于测量两个位置或环境之间压力差的传感器,广泛应用于流体压力和流量测量装置上。差压传感器将流体不同位置的两个压力信号转换为电信号的变化,随后对电信号进行分析即可得到外加压力的差压值。差压传感器通常包括基体与安装座内的测压腔。基体两侧受到压力作用时能使基体内的硅油等介质在测压腔内产生对应压力,测压腔内包括检测芯片,可根据测压腔内的压力产生电信号。

2、现有技术中,差压传感器通常设置有过载保护膜片,过载保护膜片位于基体中,基体受到压力时硅油等介质会在过载保护膜片的缓冲后进入测压腔,避免即时压力过大损坏检测芯片,但是现场使用过程中突然加压或泄压仍然会使压力过大击穿检测芯片。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种差压传感器,能够消减感压芯片处产生的应力,以对差压传感器中的感压芯片起到更好的保护效果。

2、为达此目的,本专利技术采用以下技术方案:

3、一种差压传感器,其中,包括:

...

【技术保护点】

1.一种差压传感器,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的差压传感器,其特征在于,所述正压管道组件(5)包括正压引压管(51),所述正压引压管(51)能将所述正压力面(111)与所述第一过载保护膜片(21)连通;所述负压管道组件(6)包括负压引压管(61),所述负压引压管(61)能将所述负压力面(131)与所述第二过载保护膜片(22)连通。

3.根据权利要求2所述的差压传感器,其特征在于,所述正压管道组件(5)还包括第一正压管道(52)、第二正压管道(53)和第三正压管道(54),所述第一正压管道(52)设置于所述正压基体(11)并能将所述第一过载保护膜片(...

【技术特征摘要】

1.一种差压传感器,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的差压传感器,其特征在于,所述正压管道组件(5)包括正压引压管(51),所述正压引压管(51)能将所述正压力面(111)与所述第一过载保护膜片(21)连通;所述负压管道组件(6)包括负压引压管(61),所述负压引压管(61)能将所述负压力面(131)与所述第二过载保护膜片(22)连通。

3.根据权利要求2所述的差压传感器,其特征在于,所述正压管道组件(5)还包括第一正压管道(52)、第二正压管道(53)和第三正压管道(54),所述第一正压管道(52)设置于所述正压基体(11)并能将所述第一过载保护膜片(21)和所述第三正压管道(54)连通,所述第二正压管道(53)设置于所述中间基体(12)并能将所述第二过载保护膜片(22)和所述第三正压管道(54)连通,所述第三正压管道(54)位于所述安装座(3)中并与所述正压检测面连通。

4.根据权利要求2所述的差压传感器,其特征在于,所述负压管道组件(6)还包括第一负压管道(62)、第二负压管道(63)和第三负压管道(64),所述第一负压管道(62)设置于所述中间基体(12)并能将所述第一过载保护膜片(21)和所述第三负压管道(64)连通,所述第二负压管道(63)设置于所述负压基体(13)并能将所述第二过载保护膜片(22)和所述第三负压管道(64)连通,所述第三负压管道(64)位于所述安装座(3)中并与所述负压检测面连...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵刚
申请(专利权)人:上海立格仪表有限公司
类型:发明
国别省市:

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