【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及等离子清洗领域，具体涉及一种卷对卷等离子设备。
技术介绍
1、等离子体，又称为等离子态。等离子态下的物质具有类似于气态的性质，比如良好的流动性和扩散性。但是，由于等离子体的基本组成粒子是离子和电子，因此它也具有许多区别于气态的性质，比如良好的导电性、导热性。特别的，根据科学计算，等离子体的比热容与温度成正比，高温下等离子体的比热容往往是气体的数百倍。所以等离子体的应用非常的广泛，从我们的日常生活到工业、农业、环保、军事、宇航、能源、天体等方面，它都有非常重要的应用价值。
2、在工件表面处理前为得到良好的材料表面附着力，采用等离子体进行表面清洁处理是一种常见的处理方式。等离子体是由部分电子被剥夺后的原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，主要利用等离子体处理装置的喷头喷射至工件表面以达到处理目的，随着等离子清洗技术的发展，能够进行等离子清洗的物质越来越多样化，不仅能够满足独立物体如颗粒、玩偶等的清洗，还能进行整卷膜材的连续清洗。
3、膜材的清洗通过在等离子真空清洗机内设置收放卷机构，使得放卷的膜材经过等离子处理后收卷，清洗处理高效且操作便捷，然而在等离子清洗过程中，高频电磁场将气体（如氧气、氩气、氮气等）转化为等离子体时，会释放大量的能量，这些能量会导致清洗室内温度升高，进而使得待清洗的卷材温度升高，高温会导致卷材变软、变形，甚至出现高温烫伤，后续无法使用的问题，不利于批量生产。
技术实现思路
1、为克服现有技术的不足，本专利技术提
2、为实现上述目的，架体支撑进料辊、出料辊、导料辊和等离子发生组件，待清洗卷材通过进料辊，且依次穿过若干交替布置的导料辊，并且通过出料辊移出架体，卷材经过若干导料辊时，通过若干与之一一对应的等离子发生组件，对卷材的上下两面进行等离子清洗，不需要卷材反复进入架体内对两面进行清洗，减少拉长卷材影响质量的可能性，同时通过稳定组件提供动力，使得卷材可以稳定吸附在导料辊上，提高卷材运输的稳定性，减少卷材滑移而出现褶皱的可能性。
3、进一步地，所述导料辊为内腔中空，两端封闭的管状结构，所述稳定组件包括均匀开设在导料辊上的若干吸风孔，所述导料辊通过吸风孔连通外界和导料辊内腔，所述导料辊一端同轴布置有内腔中空的安装管，所述安装管的一端贯穿架体且与架体固定，另一端穿入导料辊内且与导料辊转动连接，所述安装管内腔与导料辊内腔连通，所述安装管通过连接管与真空泵的进气管连通。
4、通过上述技术方案，通过真空泵提供动力，使得导料辊内腔呈负压状态，以便于稳定吸附绕过该导料辊外的卷材，减少卷材滑移而褶皱的可能性，同时导料辊内气流快速流通，空气流动会带走部分热量，从而促进了散热过程，进一步减少了卷材因高温而变形的可能性。
5、进一步地，所述导料辊的圆周外壁上还固定有覆盖若干吸风孔且包裹在导料辊外的接触网片，所述接触网片的孔径远远小于吸风孔的孔径。
6、通过上述技术方案，通过接触网片覆盖若干吸风孔，减少导料辊上的吸风孔损伤卷材的可能性。
7、进一步地，所述导料辊内腔中间位置还设置有降温组件。
8、通过上述技术方案，通过设置降温组件，进一步降低经过等离子清洗的卷材温度，减少材料在高温下变形或损坏的可能性。
9、进一步地，所述降温组件包括设置在导料辊内腔中间位置的降温管，所述导料辊槽壁靠近安装管的一端固定有十字型支架，所述降温管的一端与十字型支架固定，另一端穿出导料辊且与导料辊转动连接，所述降温管穿出导料辊的一端与架体固定，所述降温管穿出架体，所述降温管穿出架体的一端设有进一步对导料辊进行降温的冷却组件。
10、通过上述技术方案，通过十字型支架和架体支撑位于导料辊内的降温管，通过冷却组件提供动力，通过降温管有效地控制材料的温度，确保其在适当的温度范围内进行加工，从而提高产品的质量和生产效率。
11、进一步地，所述冷却组件包括设置在架体旁侧且与架体固定的排气管，所述排气管内腔由下至上依次一体化有进气管、喉管和扩散管，所述进气管和扩散管的内径均呈朝向喉管渐缩，所述喉管上一体化有吸料管，所述吸料管远离喉管的一端与降温管穿出架体的一端固定，所述进气管、喉管、扩散管、吸料管和降温管内腔相互连通，所述进气管远离喉管的一端与气泵的出气口通过管路连通，所述扩散管远离喉管的一端与收集排出气体的处理箱通过管路连通。
12、通过上述技术方案，气泵的进气口与蒸汽源连通，通过气泵提供动力，使得高压蒸汽进入进气管内，高压蒸汽经过喉管时，降温管内的空气会被喉管的低压吸力带走，且通过扩散管排出，此时降温管内的压强减小，降温管内气体分子之间的相互作用减弱，分子之间的平均自由程增大，导致分子在单位时间内撞击单位面积上的次数减少，分子的平均动能减小，即气体温度降低，进一步实现冷却作用。
13、进一步地，所述等离子发生组件包括与架体固定的若干导电板，若干所述导电板朝向相邻的导料辊一侧固定有靠近导料辊的若干等离子电极，若干所述等离子电极沿着导料辊的圆心方向阵列式布置。
14、通过上述技术方案，输出电压通过高压线缆和导电板，传递至等离子电极，工艺气体通过等离子电极后形成等离子气体，等离子气体朝向导料辊上的卷材均匀喷出，提高了等离子处理的高均匀性。
15、进一步地，所述架体上下两侧分别固定有位于两个相邻的导料辊之间的进气架和排气架，所述进气架和排气架的一端与架体固定，另一端穿出架体且与架体固定，所述进气架和排气架穿出架体的部分分别一体化有输气管和抽气管，所述进气架和排气架朝向导料辊一侧开设有供工艺气体流动的流动槽。
16、通过上述技术方案，工艺气体通过输气管进入进气架内，再通过流动槽朝向等离子电极方向移出输气管，清洗完毕后，工艺气体通过流动槽进入排气架内，且通过抽气管排出。
17、进一步地，所述架体由相互配合的上机架和下机架组成，若干导料辊、输气管和抽气管分别设置在上机架和下机架上，所述上机架和下机架通过调距组件连接。
18、通过上述技术方案，通过设置调距组件提供动力，以便于带动上机架在竖直方向上移动，上机架移动以便于调节两个相邻的导料辊之间间隙，进而使得装置适用于微米到mm厚度的卷材物料。
19、进一步地，所述调距组件包括固定在下机架上的气缸，所述气缸的伸长端固定有耳板，所述耳板与上机架固定，所述下机架上固定有两个耳座，两个所述耳座上固定有轴向的导向杆，所述上机架上固定有套设在导向杆外且与导向杆滑移连接的移本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种卷对卷等离子设备，其特征在于，包括内腔中空，前后两侧开口的架体（1），所述架体（1）的前后两端分别转动连接有用于进料的进料辊（2）和用于出料的出料辊（3），所述架体（1）内腔还转动连接有若干位于进料辊（2）和出料辊（3）之间的导料辊（4），所述架体（1）上设有若干与导料辊（4）一一对应的等离子发生组件（5），若干所述导料辊（4）和等离子发生组件（5）交替布置，一部分等离子发生组件（5）位于相邻的导料辊（4）上方，另一部分等离子发生组件（5）位于相邻的导料辊（4）下方，所述导料辊（4）上还设有便于卷材稳定运输的稳定组件（6）。
2.根据权利要求1所述的一种卷对卷等离子设备，其特征在于，所述导料辊（4）为内腔中空，两端封闭的管状结构，所述稳定组件（6）包括均匀开设在导料辊（4）上的若干吸风孔（601），所述导料辊（4）通过吸风孔（601）连通外界和导料辊（4）内腔，所述导料辊（4）一端同轴布置有内腔中空的安装管（602），所述安装管（602）的一端贯穿架体（1）且与架体（1）固定，另一端穿入导料辊（4）内且与导料辊（4）转动连接，所述安装管（602）内腔与导料辊（
3.根据权利要求2所述的一种卷对卷等离子设备，其特征在于，所述导料辊（4）的圆周外壁上还固定有覆盖若干吸风孔（601）且包裹在导料辊（4）外的接触网片（603），所述接触网片（603）的孔径远远小于吸风孔（601）的孔径。
4.根据权利要求2所述的一种卷对卷等离子设备，其特征在于，所述导料辊（4）内腔中间位置还设置有降温组件（7）。
5.根据权利要求4所述的一种卷对卷等离子设备，其特征在于，所述降温组件（7）包括设置在导料辊（4）内腔中间位置的降温管（701），所述导料辊（4）槽壁靠近安装管（602）的一端固定有十字型支架（702），所述降温管（701）的一端与十字型支架（702）固定，另一端穿出导料辊（4）且与导料辊（4）转动连接，所述降温管（701）穿出导料辊（4）的一端与架体（1）固定，所述降温管（701）穿出架体（1），所述降温管（701）穿出架体（1）的一端设有进一步对导料辊（4）进行降温的冷却组件。
6.根据权利要求5所述的一种卷对卷等离子设备，其特征在于，所述冷却组件包括设置在架体（1）旁侧且与架体（1）固定的排气管，且排气管内腔由下至上依次一体化有进气管（703）、喉管（704）和扩散管（705），所述进气管（703）和扩散管（705）的内径均呈朝向喉管（704）渐缩，所述喉管（704）上一体化有吸料管（706），所述吸料管（706）远离喉管（704）的一端与降温管（701）穿出架体（1）的一端固定，所述进气管（703）、喉管（704）、扩散管（705）、吸料管（706）和降温管（701）内腔相互连通，所述进气管（703）远离喉管（704）的一端与气泵的出气口通过管路连通，所述扩散管（705）远离喉管（704）的一端与收集排出气体的处理箱通过管路连通。
7.根据权利要求1所述的一种卷对卷等离子设备，其特征在于，所述等离子发生组件（5）包括与架体（1）固定的若干导电板（501），若干所述导电板（501）朝向相邻的导料辊（4）一侧固定有靠近导料辊（4）的若干等离子电极（502），若干所述等离子电极（502）沿着导料辊（4）的圆心方向阵列式布置。
8.根据权利要求7所述的一种卷对卷等离子设备，其特征在于，所述架体（1）上下两侧分别固定有位于两个相邻的导料辊之间的进气架（503）和排气架（504），所述进气架（503）和排气架（504）的一端与架体（1）固定，另一端穿出架体（1）且与架体（1）固定，所述进气架（503）和排气架（504）穿出架体（1）的部分分别一体化有输气管（505）和抽气管（506），所述进气架（503）和排气架（504）朝向导料辊（4）一侧开设有供工艺气体流动的流动槽（507）。
9.根据权利要求8所述的一种卷对卷等离子设备，其特征在于，所述架体（1）由相互配合的上机架（101）和下机架（102）组成，若干导料辊（4）、输气管（505）和抽气管（506）分别设置在上机架（101）和下机架（102）上，所述上机架（101）和下机架（102）通过调距组件（8）连接。
10.根据权利要求9所述的一种卷对卷等离子设备，其特征在于，所述调距组件（8）包括固定在下机架（102）上的气缸（801），所述气缸（801）的伸长端固定有耳板（802），所述耳板（802）与上机架（101）固定，所述下机架（102）上固定有两个耳座（803），两个所述耳座（803）上固定...
【技术特征摘要】
1.一种卷对卷等离子设备，其特征在于，包括内腔中空，前后两侧开口的架体（1），所述架体（1）的前后两端分别转动连接有用于进料的进料辊（2）和用于出料的出料辊（3），所述架体（1）内腔还转动连接有若干位于进料辊（2）和出料辊（3）之间的导料辊（4），所述架体（1）上设有若干与导料辊（4）一一对应的等离子发生组件（5），若干所述导料辊（4）和等离子发生组件（5）交替布置，一部分等离子发生组件（5）位于相邻的导料辊（4）上方，另一部分等离子发生组件（5）位于相邻的导料辊（4）下方，所述导料辊（4）上还设有便于卷材稳定运输的稳定组件（6）。
2.根据权利要求1所述的一种卷对卷等离子设备，其特征在于，所述导料辊（4）为内腔中空，两端封闭的管状结构，所述稳定组件（6）包括均匀开设在导料辊（4）上的若干吸风孔（601），所述导料辊（4）通过吸风孔（601）连通外界和导料辊（4）内腔，所述导料辊（4）一端同轴布置有内腔中空的安装管（602），所述安装管（602）的一端贯穿架体（1）且与架体（1）固定，另一端穿入导料辊（4）内且与导料辊（4）转动连接，所述安装管（602）内腔与导料辊（4）内腔连通，所述安装管（602）通过连接管与真空泵的进气管（703）连通。
3.根据权利要求2所述的一种卷对卷等离子设备，其特征在于，所述导料辊（4）的圆周外壁上还固定有覆盖若干吸风孔（601）且包裹在导料辊（4）外的接触网片（603），所述接触网片（603）的孔径远远小于吸风孔（601）的孔径。
4.根据权利要求2所述的一种卷对卷等离子设备，其特征在于，所述导料辊（4）内腔中间位置还设置有降温组件（7）。
5.根据权利要求4所述的一种卷对卷等离子设备，其特征在于，所述降温组件（7）包括设置在导料辊（4）内腔中间位置的降温管（701），所述导料辊（4）槽壁靠近安装管（602）的一端固定有十字型支架（702），所述降温管（701）的一端与十字型支架（702）固定，另一端穿出导料辊（4）且与导料辊（4）转动连接，所述降温管（701）穿出导料辊（4）的一端与架体（1）固定，所述降温管（701）穿出架体（1），所述降温管（701）穿出架体（1）的一端设有进一步对导料辊（4）进行降温的冷却组件。
6.根据权利要求5所述的一种卷对卷等离子设备，其特征在于，所述冷却组件包括设置在架体（1）旁侧且与架体（1）固定的排...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗弦，
申请(专利权)人：珠海市骏逸电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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