【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及图像处理,更具体地涉及一种晶圆图像的检测方法、一种晶圆图像的检测装置、一种电子设备、一种存储介质和一种计算机程序产品。
技术介绍
1、在工业领域,随着生产技术的不断发展,人们对于工业产品的生产质量和生产效率提出了更高的要求。而随着图像处理领域的发展,越来越多的产品检测是基于图像进行检测的。如果检测精度较低,那么基于图像检测的方式的实用性也会降低。
2、在晶圆制造过程中,通常会将晶圆的编号刻印在晶圆上,通过该晶圆编号,可实现在加工和检测流程中对该晶圆进行追踪。故针对晶圆编号的图像识别的精度,直接影响了能否实现对晶圆进行追踪定位。若精度较低,则会导致晶圆的加工和检测流程效率降低,极大降低晶圆的出厂量。故如何准确地对晶圆编号进行检测识别,是本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、考虑到上述问题而提出了本专利技术。本专利技术提供了一种晶圆图像的检测方法、一种晶圆图像的检测装置、一种电子设备、一种存储介质和一种计算机程序产品。
2、根据本专利技术一
...【技术保护点】
1.一种晶圆图像的检测方法,其特征在于,所述方法包括:
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述检测模型通过如下步骤训练得到:
3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
5.如权利要求4所述的方法,其特征在于,所述判断所述晶圆编号是否存在异常,包括以下至少一项:
6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,
7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,
8.一种晶圆图像的检测装置,其特征在于,所述装置包括:
9.一种电子
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆图像的检测方法,其特征在于,所述方法包括:
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述检测模型通过如下步骤训练得到:
3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
5.如权利要求4所述的方法,其特征在于,所述判断所述晶圆编号是否存在异常,包括以下至少一项:
6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,
7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,
8.一种晶圆图像的检测装置,...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐海俊,
申请(专利权)人:苏州镁伽科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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