晶圆图像的检测方法、装置、电子设备以及存储介质制造方法及图纸

技术编号:44851090 阅读:29 留言:0更新日期:2025-04-01 19:45
本发明专利技术提供了一种晶圆图像的检测方法、装置、电子设备以及存储介质。上述检测方法包括:确定待测晶圆的晶圆编号的每个编号字符在待测图像中各自对应的字符区域;针对每个编号字符,将该编号字符对应的字符区域在待测图像中对应的区域图像输入至该编号字符对应的检测模型中,以得到该编号字符的第一检测结果;基于所有编号字符的第一检测结果,确定待测晶圆的待测图像是否存在异常。一方面,上述方案可针对每个编号字符分别通过对应的检测模型进行识别,有利于提高编号字符的检测准确性;另一方面,上述方案还可基于与晶圆编号相关的检测结果,确定晶圆的待测图像是否存在异常,有利于辅助改进晶圆的加工和检测流程。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及图像处理,更具体地涉及一种晶圆图像的检测方法、一种晶圆图像的检测装置、一种电子设备、一种存储介质和一种计算机程序产品。


技术介绍

1、在工业领域,随着生产技术的不断发展,人们对于工业产品的生产质量和生产效率提出了更高的要求。而随着图像处理领域的发展,越来越多的产品检测是基于图像进行检测的。如果检测精度较低,那么基于图像检测的方式的实用性也会降低。

2、在晶圆制造过程中,通常会将晶圆的编号刻印在晶圆上,通过该晶圆编号,可实现在加工和检测流程中对该晶圆进行追踪。故针对晶圆编号的图像识别的精度,直接影响了能否实现对晶圆进行追踪定位。若精度较低,则会导致晶圆的加工和检测流程效率降低,极大降低晶圆的出厂量。故如何准确地对晶圆编号进行检测识别,是本领域技术人员亟需解决的技术问题。


技术实现思路

1、考虑到上述问题而提出了本专利技术。本专利技术提供了一种晶圆图像的检测方法、一种晶圆图像的检测装置、一种电子设备、一种存储介质和一种计算机程序产品。

2、根据本专利技术一个方面,提供了一种晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆图像的检测方法,其特征在于,所述方法包括:

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述检测模型通过如下步骤训练得到:

3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,

4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:

5.如权利要求4所述的方法,其特征在于,所述判断所述晶圆编号是否存在异常,包括以下至少一项:

6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,

7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,

8.一种晶圆图像的检测装置,其特征在于,所述装置包括:

9.一种电子设备,其特征在于,包...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆图像的检测方法,其特征在于,所述方法包括:

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述检测模型通过如下步骤训练得到:

3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,

4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:

5.如权利要求4所述的方法,其特征在于,所述判断所述晶圆编号是否存在异常,包括以下至少一项:

6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,

7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,

8.一种晶圆图像的检测装置,...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐海俊
申请(专利权)人:苏州镁伽科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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