【技术实现步骤摘要】
本申请涉及医疗，特别是涉及一种监测下肢静脉血栓的柔性cmut贴片及制备方法。
技术介绍
1、下肢静脉血栓是一种常见的临床疾病，它不仅限制了患者的日常活动，还可能因血栓的移动而导致更严重的并发症，如肺栓塞。因此，对下肢静脉血栓的及时、准确监测至关重要。
2、目前，对于下肢静脉血栓的主要监测手段是定期的血管超声检查。这种监测方法依赖于大型、专业的医疗设备，通常需要在医院的特定科室进行，并由专业的医护人员操作。血管超声检查通过向血管内发送超声波并接收反射回来的信号，来评估血管的结构和血流情况，从而判断是否存在血栓。
3、然而，尽管血管超声检查在下肢静脉血栓的监测中具有一定的准确性，但大多数血管超声检查设备体积庞大，价格昂贵，这限制了血管超声检查设备的便携性，使得患者无法在家中或其他非医疗环境进行监测。并且，也正因患者只能在医院按照预约时间进行检查，这限制了检查的频率，可能无法及时发现血栓的微小变化或脱落，甚至可能延误最佳治疗时机。
技术实现思路
1、基于上述问题，本申请提供了一种监测下肢静脉血栓的柔性cmut贴片及制备方法，能够提高就医的便捷性，以及能够对病情进行及时预警，避免延误最佳治疗时机。
2、本申请实施例公开了如下技术方案：
3、第一方面，本申请公开了一种监测下肢静脉血栓的柔性电容微机械超声换能器cmut贴片，所述柔性cmut贴片包括多个柔性cmut贴片单元，每个所述柔性cmut贴片单元包括：
4、受主衬底，所述受主衬底
5、施主衬底，所述施主衬底包括绝缘层和导电层，所述导电层与所述氧化硅层连接；
6、第一电极，所述第一电极与所述绝缘层连接；
7、第二电极，所述第二电极与所述柔性基材远离所述振动薄膜的一侧连接。
8、可选地，所述柔性基材包括聚酰亚胺膜或聚二甲基硅氧烷膜。
9、可选地，所述负电容材料层为铪锆氧薄膜。
10、可选地，所述振动薄膜的厚度为1-3微米，所述负电容材料的厚度为100-500纳米，所述氧化硅层的厚度为500纳米。
11、可选地，所述氧化硅层表面的真空腔隙是通过反应离子刻蚀方式形成的。
12、可选地，所述绝缘层为硅氧化层，所述导电层为硅层。
13、第二方面，本申请公开了一种监测下肢静脉血栓的柔性电容微机械超声换能器cmut贴片的制备方法，所述方法包括：
14、生成受主衬底，所述受主衬底依次包括柔性基材、振动薄膜、负电容材料层和氧化硅层，所述氧化硅层表面形成有真空腔隙；
15、生成施主衬底，所述施主衬底包括绝缘层和导电层，所述导电层与所述氧化硅层连接；
16、将第一电极与所述绝缘层连接，以及，将第二电极与所述柔性基材远离所述振动薄膜的一侧连接，获得柔性cmut贴片单元；
17、结合多个所述柔性cmut贴片单元，获得柔性cmut贴片。
18、可选地，所述生成施主衬底，所述施主衬底包括绝缘层和导电层，所述绝缘层与所述氧化硅层连接，包括：
19、生成原始施主衬底，所述原始施主衬底包括硅衬底、绝缘层和导电层；
20、通过晶圆键合方式连接所述绝缘层与所述氧化硅层，并通过背部减薄工艺去除所述硅衬底，获得施主衬底。
21、可选地，所述背部减薄工艺包括机械减薄、干法刻蚀、湿法刻蚀和化学机械抛光中的任意一种或多种。
22、可选地，所述柔性基材包括聚酰亚胺膜或聚二甲基硅氧烷膜。
23、相较于现有技术，本申请具有以下有益效果：
24、本申请公开了一种监测下肢静脉血栓的柔性cmut贴片及制备方法，该柔性cmut贴片包括多个柔性cmut贴片单元，每个柔性cmut贴片单元包括受主衬底、施主衬底、第一电极和第二电极。其中，受主衬底由柔性基材、振动薄膜、负电容材料层和氧化硅层组成，其中氧化硅层表面设有真空腔隙，以增强电容响应特性。施主衬底包括绝缘层和导电层，通过导电层与受主衬底的氧化硅层相连，确保电气连接的稳定性。第一电极连接至施主衬底的绝缘层，而第二电极则位于柔性基材的外侧，远离振动薄膜，形成有效的信号采集路径。由此，该柔性cmut贴片采用柔性基材作为受主衬底的一部分，能够适应各种不规则结构的表面(例如人体表面或植入人体内)，这种灵活性不仅提升了佩戴舒适度和使用便捷性，还保证了数据收集的持续性和准确性，有助于及时预警病情变化，避免延误最佳治疗时机。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种监测下肢静脉血栓的柔性电容微机械超声换能器CMUT贴片，其特征在于，所述柔性CMUT贴片包括多个柔性CMUT贴片单元，每个所述柔性CMUT贴片单元包括：
2.根据权利要求1所述的柔性CMUT贴片，其特征在于，所述柔性基材包括聚酰亚胺膜或聚二甲基硅氧烷膜。
3.根据权利要求1所述的柔性CMUT贴片，其特征在于，所述振动薄膜的厚度为1-3微米，所述负电容材料的厚度为100-500纳米，所述氧化硅层的厚度为500纳米。
4.根据权利要求1所述的柔性CMUT贴片，其特征在于，所述氧化硅层表面的真空腔隙是通过反应离子刻蚀方式形成的。
5.根据权利要求1所述的柔性CMUT贴片，其特征在于，所述绝缘层为氧化硅层，所述导电层为硅层。
6.一种监测下肢静脉血栓的柔性电容微机械超声换能器CMUT贴片的制备方法，其特征在于，所述方法包括：
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述生成施主衬底，所述施主衬底包括绝缘层和导电层，所述绝缘层与所述氧化硅层连接，包括：
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所
9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述柔性基材包括聚酰亚胺膜或聚二甲基硅氧烷膜。
...【技术特征摘要】
1.一种监测下肢静脉血栓的柔性电容微机械超声换能器cmut贴片，其特征在于，所述柔性cmut贴片包括多个柔性cmut贴片单元，每个所述柔性cmut贴片单元包括：
2.根据权利要求1所述的柔性cmut贴片，其特征在于，所述柔性基材包括聚酰亚胺膜或聚二甲基硅氧烷膜。
3.根据权利要求1所述的柔性cmut贴片，其特征在于，所述振动薄膜的厚度为1-3微米，所述负电容材料的厚度为100-500纳米，所述氧化硅层的厚度为500纳米。
4.根据权利要求1所述的柔性cmut贴片，其特征在于，所述氧化硅层表面的真空腔隙是通过反应离子刻蚀方式形成的。
5...
【专利技术属性】
技术研发人员：张雨康，张巍，何文，杨佳音，
申请(专利权)人：首都医科大学附属北京天坛医院，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。