液晶显示装置的制造方法、液晶显示装置及曝光装置制造方法及图纸

一种液晶显示装置的制造方法、液晶显示装置及曝光装置，可通过比较简单的方法抑制因重复曝光引起的显示不均的产生。液晶显示装置的制造方法包括介隔光掩模对有机膜进行曝光的曝光工序：对有机膜的一部分进行一次曝光，对剩余的至少一部分进行重复曝光。光掩模(40)在与一次曝光对应的非重复区域(45)中具有狭缝(61a)及遮光部(62a)，在与重复曝光对应的重复区域(46)中具有狭缝(61b)及遮光部(62b)。狭缝(61b)中的至少一部分的开口面积比狭缝(61a)的开口面积小。狭缝(61b)是相对于狭缝(61a)的开口面积而为75％以上且100％以下的第一狭缝，或者是超过0％且为25％以下的第二狭缝。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种液晶显示装置的制造方法、液晶显示装置及曝光装置。

技术介绍

1、液晶显示器、尤其是面向大型电视机的液晶显示面板中，视场角、透过率、响应时间等为重要的性能指标。作为用于使这些性能指标的值良好的液晶显示模式，开发了四域反向扭转向列(4domain-reverse twisted nematic，4d-rtn)模式、或四域电控双折射(4domain-electrically controlled birefringence，4d-ecb)模式、聚合物稳定取向(polymer sustained alignment，psa)模式、共面切换(in plane switching，ips)模式、边缘场切换(fringe field switching，ffs)模式等各种模式。另外，目前使用了这些液晶显示模式技术的大型电视机正在批量生产。

2、液晶显示装置中设置有用于控制液晶单元中的液晶分子的取向的液晶取向膜。作为获得液晶取向膜的方法，已知有：对有机膜进行摩擦的方法、斜向蒸镀氧化硅的方法、形成具有长链烷基的单分子膜的方法、对感光性的有机膜进本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种液晶显示装置的制造方法，其中，所述液晶显示装置包括：基板、形成于所述基板上的光取向膜、以及与所述光取向膜邻接的液晶层，

2.根据权利要求1所述的液晶显示装置的制造方法，其中，所述光掩模包括沿着与所述移动方向交叉且沿着基板面的方向即交叉方向邻接排列的第一光掩模与第二光掩模，所述第一光掩模及所述第二光掩模配置成彼此的一部分在所述移动方向上观察时重叠，

3.根据权利要求2所述的液晶显示装置的制造方法，其中，配置于所述第一光掩模及所述第二光掩模中的一个光掩模的所述重复区域中的所述第一透光部与配置于另一个光掩模的所述重复区域中的所述第二透光部或所述遮光部配置于在所述...

【技术特征摘要】

1.一种液晶显示装置的制造方法，其中，所述液晶显示装置包括：基板、形成于所述基板上的光取向膜、以及与所述光取向膜邻接的液晶层，

2.根据权利要求1所述的液晶显示装置的制造方法，其中，所述光掩模包括沿着与所述移动方向交叉且沿着基板面的方向即交叉方向邻接排列的第一光掩模与第二光掩模，所述第一光掩模及所述第二光掩模配置成彼此的一部分在所述移动方向上观察时重叠，

3.根据权利要求2所述的液晶显示装置的制造方法，其中，配置于所述第一光掩模及所述第二光掩模中的一个光掩模的所述重复区域中的所述第一透光部与配置于另一个光掩模的所述重复区域中的所述第二透光部或所述遮光部配置于在所述移动方向上延伸的同一线上。

4.根据权利要求2或3所述的液晶显示装置的制造方法，其中，在所述重复区域中，以沿着所述交叉方向的规定长度的区域中所包含的所述透光部的开口面积的总和从光掩模端部朝向所述非重复区域显示出增加倾向的方式，配置所述透光部。

5.根据权利要求4所述的液晶显示装置的制造方法，其中，在所述重复区域中，所述第一透光部从光掩模端部朝向所述非重复区域紧密地配置。

6.根据权利要求2或3所述的液晶显示装置的制造方法，其中，所述重复区域具有与所述非重复区域邻接的第一区间、以及包含光掩模端部的第二区间，

7.根据权利要求6所述的液晶显示装置的制造方法，其中，在所述第一区间配置有多个所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫地弘一，胜井宏充，登政博，
申请(专利权)人：JSR株式会社，
类型：发明
国别省市：