一种耐高温柔性紫外日盲探测器件及其制备方法技术

本发明专利技术专利公开了一种耐高温柔性紫外日盲探测器件及其制备方法，具体涉及半导体器件领域。包括：衬底层，所述衬底层由耐高温的柔性金属薄片制成；金属层，所述金属层位于衬底层上；绝缘层，所述绝缘层位于金属层上；感光层，所述感光层位于绝缘层上；电极层，所述电极层包括与感光层形成欧姆接触的电极。其方法如下：清洁金属薄片衬底；先后利用磁控溅射法在衬底表面向上沉积金属层、绝缘层和感光层；再采用旋涂、曝光、显影在感光层上制作出金属叉指电极。采用本发明专利技术技术方案解决了传统的刚性探测器无法同时兼具高温和结构柔性的问题，使得探测器在军事侦察、环境监测等领域具有广阔的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体器件领域，特别涉及一种耐高温柔性紫外日盲探测器件及其制备方法。

技术介绍

1、日盲紫外光的波长在10nm至280nm之间，由于大气层的强烈吸收作用，这一波段的紫外光几乎无法穿透大气层抵达地球表面，从而使得日盲紫外探测器具有低背景噪声的独特优势。这一特性使得日盲紫外探测器在多个领域展现出巨大的应用潜力，包括但不限于臭氧空洞监测、导弹追踪以及紫外通讯等。随着科技的进步和探测需求的提升，对于日盲紫外探测器的性能要求也日益严格，特别是在响应度、响应时间、探测波长范围以及适应恶劣环境的能力等方面。

2、在恶劣环境下，如火灾监测和火箭尾焰探测等应用场景中，探测器不仅需要具备高响应度、宽探测波长和快速响应的能力，还必须能够承受高温并保持良好的柔性。这是因为这些应用场景往往伴随着极高的温度和复杂的空间结构，传统的刚性探测器难以满足这些要求。因此，开发一种既耐高温又可弯折的紫外日盲探测器成为了当前的研究热点，在军事侦察、环境监测等领域具有广阔的应用前景。

技术实现思路

1、本专利技术意在提供一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种耐高温柔性紫外日盲探测器件，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的一种耐高温柔性紫外日盲探测器件，其特征在于：所述耐高温的柔性金属衬底材料为商用的铜箔，其厚度为10-100μm。

3.根据权利要求1所述的一种耐高温柔性紫外日盲探测器件，其特征在于：所述金属层材料为金属Al或Cu，其厚度为100-200nm。

4.根据权利要求1所述的一种耐高温柔性紫外日盲探测器件，其特征在于：所述绝缘层材料为超宽禁带的AlN，其厚度为100nm。

5.根据权利要求1所述的一种耐高温柔性紫外日盲探测器件，其特征在于：所述感光层为a-Ga2O3，其...

【技术特征摘要】

1.一种耐高温柔性紫外日盲探测器件，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的一种耐高温柔性紫外日盲探测器件，其特征在于：所述耐高温的柔性金属衬底材料为商用的铜箔，其厚度为10-100μm。

3.根据权利要求1所述的一种耐高温柔性紫外日盲探测器件，其特征在于：所述金属层材料为金属al或cu，其厚度为100-200nm。

4.根据权利要求1所述的一种耐高温柔性紫外日盲探测器件，其特征在于：所述绝缘层材料为超宽禁带的aln，其厚度为100nm。

5.根据权利要求1所述的一种耐高温柔性紫外日盲探测器件，其特征在于：所述感光层为a-ga2o3，其厚度为50-200nm。

6.根据权利要求1所述的一种耐高温柔性紫外日盲探测器件，其特征在于：所述电极层材料为金属ni，其厚度为100-200nm。

7.一种耐高温柔性紫外日盲探测器件的制备方法，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：张磊，罗杰，郭幸，叶兆骏，吕俊豪，
申请(专利权)人：中南大学，
类型：发明
国别省市：