半片太阳能电池的钝化方法技术

本申请公开了一种半片太阳能电池的钝化方法，包括如下步骤：将多个半片太阳能电池置于原子层沉积设备的腔体中，其中，多个半片太阳能电池的切割面暴露，其他面未暴露，每个半片太阳能电池的切割面平行或在同一平面，并且切割面与腔体中设置的气流方向平行；将腔体升温至预设反应温度，并且向腔体内脉冲交替地通入铝源和氧源，在多个半片太阳能电池的切割面沉积氧化铝薄膜以实现钝化，其中，铝源包括三甲基铝蒸气，氧源包括臭氧或者水蒸汽，铝源和氧源的气流通入方向与切割面平行；对多个半片太阳能电池进行退火处理和冷却处理，得到钝化后的半片太阳能电池。该方法能够提高钝化均匀性，提高钝化速率，减少钝化时长、原料消耗和成本。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及太阳能电池，特别地涉及一种半片太阳能电池的钝化方法。

技术介绍

1、太阳能电池行业发展迅速，光伏组件的半片技术日益成熟。整片太阳能电池片切半后，第一方面半片太阳能电池降低了电流密度和电阻损耗，从而提高了光伏组件的发电效率和可靠性；第二方面半片太阳能电池在制程中有助于降低焊接难度及提高生产效率。但是，由于切割过程中会对电池片的切割边缘造成损伤，导致边缘复合增加，进而影响电池片的填充因子、开压和效率。通常地，需要在半片太阳能电池切割面沉积一层氧化铝薄膜作为钝化层。氧化铝薄膜具有良好的场钝化和化学钝化特性，能够有效阻止电荷复合。如图1所示，一个整片太阳能电池100经过切割后变成两个半片太阳能电池101，并且形成了相应的切割面a，需要对切割面a进行钝化。

2、目前可以采用原子层沉积(atomic layer deposition，ald)技术沉积氧化铝薄膜以实现钝化。原子层沉积是一种可以将物质以单原子膜脉冲交替形式一层一层地镀在基底表面的方法。原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半片太阳能电池的钝化方法，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的半片太阳能电池的钝化方法，其特征在于，所述步骤S1包括：将多个所述半片太阳能电池叠层为一组，每组半片太阳能电池的切割面朝向相同或相对，并且将多组半片太阳电池垂直堆叠和/或平行放置于所述原子层沉积设备的腔体中，以使得每个所述半片太阳电池的切割面平行或在同一平面内；

3.根据权利要求1所述的半片太阳能电池的钝化方法，其特征在于，在所述步骤S2中，三甲基铝蒸气的体积流量速度为24sccm至30sccm；和/或，输送所述三甲基铝蒸气的压力为20Torr至70Torr，单次脉冲通入时长为7s至11s；...

【技术特征摘要】

1.一种半片太阳能电池的钝化方法，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的半片太阳能电池的钝化方法，其特征在于，所述步骤s1包括：将多个所述半片太阳能电池叠层为一组，每组半片太阳能电池的切割面朝向相同或相对，并且将多组半片太阳电池垂直堆叠和/或平行放置于所述原子层沉积设备的腔体中，以使得每个所述半片太阳电池的切割面平行或在同一平面内；

3.根据权利要求1所述的半片太阳能电池的钝化方法，其特征在于，在所述步骤s2中，三甲基铝蒸气的体积流量速度为24sccm至30sccm；和/或，输送所述三甲基铝蒸气的压力为20torr至70torr，单次脉冲通入时长为7s至11s；和/或，输送所述臭氧或者水蒸汽的压力为20torr至70torr，单次脉冲通入时长为7s至11s。

4.根据权利要求2所述的半片太阳能电池的钝化方法，其特征在于，所述步骤s1包括：将每组叠层的半片太阳能电池置于载片舟内，并将多个载片舟置于所述原子层沉积设备的腔体中；和/或，在所述步骤s2中，所述预设反应温度为150℃至305℃。

5.根据权利要求4所述的半片太阳能电池的钝化方法，其特征在于，所述原子层沉积设备包括退火模...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉颖，张建军，湛东林，
申请(专利权)人：曲靖晶澳太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：