一种软硬X射线共聚焦的宽能区光电子能谱系统技术方案

本发明专利技术涉及一种软硬X射线共聚焦的宽能区光电子能谱系统，包括依次设置的第一波荡器、第二波荡器和白光偏转镜，第一波荡器提供硬X射线光，形成硬X光束通过的第一光路；第二波荡器提供软X射线光，白光偏转镜用于对第二波荡器提供的软X射线光进行偏转，偏转后形成软X光束通过的第二光路；在第一光路上，沿硬X光束的传输方向依次设置有第一狭缝、第一偏转聚焦镜、第一单色器、第二单色器和第二偏转聚焦镜；在第二光路上，沿软X光束的传输方向依次设置有第二狭缝、第三单色器和第三偏转聚焦镜；经第二偏转聚焦镜偏转聚焦后的硬X光束和经第三偏转聚焦镜偏转聚焦后的软X光束共同照射至样品处，样品后设置有电子能量分析器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及同步辐射x射线谱学装置领域，更具体地涉及一种软硬x射线共聚焦的宽能区光电子能谱系统。

技术介绍

1、x射线光电子能谱（x ray photoemission spectroscopy，简称xps）因其具有极好的表面灵敏性和元素灵敏性，是众多领域广泛应用的一项表征技术，其通过光子激发样品并探测逃逸光电子的内在信息（即光电效应），来实现对样品表面元素组分和化学态定性定量分析的无损探测。传统的xps采用软x射线作为光源（软x射线一般指光子能量低于2000ev），其分析深度一般是表面10nm以内，具有鲜明的表界面灵敏特征。然而，传统的xps无法直接实现涉及更深埋层界面和体相结构的深度分析，一般需要借助离子束刻蚀的方法来进行。但基于离子刻蚀的xps深度分析是一个样品破坏的分析过程，不可避免地导致化学态的破坏而产生假象。

2、根据从样品表面逃逸光电子的非弹性散射平均自由程（imfp）与其动能的关系可知，当逃逸光电子的动能在100ev以上时，其imfp与动能呈现准线性关系。为了增大光电子的逃逸深度，在无损伤的情况下实现对样品的深度分析，一个简单本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种软硬X射线共聚焦的宽能区光电子能谱系统，其特征在于，包括依次设置的第一波荡器、第二波荡器和白光偏转镜，所述第一波荡器用于提供硬X射线光，形成硬X光束通过的第一光路；所述第二波荡器用于提供软X射线光，所述白光偏转镜用于对所述第二波荡器提供的软X射线光进行偏转，偏转后形成软X光束通过的第二光路；

2.根据权利要求1所述的软硬X射线共聚焦的宽能区光电子能谱系统，其特征在于，所述第一波荡器采用波荡器IVU24，以提供1500 eV-18000eV能量范围的光子。

3.根据权利要求1所述的软硬X射线共聚焦的宽能区光电子能谱系统，其特征在于，所述第二波荡器采用波荡器E...

【技术特征摘要】

1.一种软硬x射线共聚焦的宽能区光电子能谱系统，其特征在于，包括依次设置的第一波荡器、第二波荡器和白光偏转镜，所述第一波荡器用于提供硬x射线光，形成硬x光束通过的第一光路；所述第二波荡器用于提供软x射线光，所述白光偏转镜用于对所述第二波荡器提供的软x射线光进行偏转，偏转后形成软x光束通过的第二光路；

2.根据权利要求1所述的软硬x射线共聚焦的宽能区光电子能谱系统，其特征在于，所述第一波荡器采用波荡器ivu24，以提供1500 ev-18000ev能量范围的光子。

3.根据权利要求1所述的软硬x射线共聚焦的宽能区光电子能谱系统，其特征在于，所述第二波荡器采用波荡器epu60，以提供130 ev-1500ev能量范围的光子。

4.根据权利要求1所述的软硬x射线共聚焦的宽能区光电子能谱系统，其特征在于，所述第一波荡器和所述第二波荡器之间的夹角设置为2mrad。

5.根据权利要求1所述的软硬x射线共聚焦的宽能区光电子能谱系统，其特征在于，所述第一单色器采用液氮光栅单色器，以对光子能量在1500ev~2500ev范围内的硬x射线光进行单色化；所述第二单色器采用液氮双晶单色器，以对光子能量...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋飞，梁兆峰，邹鹰，谢磊，陈振华，
申请(专利权)人：中国科学院上海高等研究院，
类型：发明
国别省市：