【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学物镜,特别涉及一种分组式光谱共焦色散物镜。
技术介绍
1、光谱共焦传感器是一种重要的非接触式光电位移传感器,利用彩色编码与共焦技术,其最高精度可以达到纳米级别。光谱共焦传感器能够将测量表面的三维信息编码为样品反射光的光谱特征,并具有测量精度高、分辨率高、响应速度快、稳定性优越、允许倾斜角度大等优点,非常适合对精密零件进行尺寸测量或检测。
2、光谱共焦测量系统主要由光源、色散物镜、探测器组成。色散物镜作为光谱共焦传感器的核心组件,它的光学性能直接影响传感器的测量性能。目前已公开的色散物镜中,大部分利用整体结构实现色散要求,透镜组之间不具备可替换性,色散物镜的长度等参数固定,调整色散物镜的测量性能需要重新设计光学系统。
技术实现思路
1、本专利技术针对现有的光谱共焦色散物镜存在的不足,提供了一种分组式光谱共焦色散物镜,可以对色散物镜的测量范围、光斑尺寸等性能参数进行单独调整,以满足不同的测量需求,并能够灵活调整光谱共焦色散物镜长度,增加装配自由度。
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...【技术保护点】
1.一种分组式光谱共焦色散物镜,其特征在于,依次包括:光源入射端与接收端(1)、色散物镜前透镜组(21)、孔径光阑(22)、色散物镜后透镜组(23);
2.根据权利要求1所述的分组式光谱共焦色散物镜,其特征在于,所述色散物镜前透镜组(21)满足式(1)所示的约束条件:
3.根据权利要求1所述的分组式光谱共焦色散物镜,其特征在于,所述色散物镜前透镜组(21)与色散物镜后透镜组(23)之间的传递光线满足式(2):
【技术特征摘要】
1.一种分组式光谱共焦色散物镜,其特征在于,依次包括:光源入射端与接收端(1)、色散物镜前透镜组(21)、孔径光阑(22)、色散物镜后透镜组(23);
2.根据权利要求1所述的分组式光谱共焦色散物镜,其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员:卢荣胜,张艾琳,谈士涛,张腾达,
申请(专利权)人:合肥工业大学,
类型:发明
国别省市:
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