【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及到光谱检测与信号处理领域，尤其涉及到一种太赫兹检测薄膜厚度的方法。
技术介绍
1、薄膜、涂层或其他一些超薄物体厚度的无损检测是工程应用的一个重要问题。基于太赫兹波发展而来的太赫兹时域光谱技术具有较高的时间分辨率，以及非电离、非破坏性和非接触的特点，被认为是无损评估薄涂层厚度的有前途的工具。其中，太赫兹时域光谱技术可以检测出样品的太赫兹时域信号，根据时域信号利用飞行时间法可以快速地计算出样品的厚度。然而在检测超薄物体时，由于时域信号中前后两脉冲信号相距过近，而太赫兹脉冲信号自身又具有一定的脉宽，因而两脉冲信号会发生重叠，导致前脉冲信号波峰波形受损，从而无法确定前后脉冲信号间的飞行时间。这使得太赫兹时域光谱技术结合飞行时间法能够测得的物体最小厚度保持在二十多微米，而一些超薄的薄膜、涂层等物体的厚度往往只有十几微米甚至几微米，超出了太赫兹光谱的检测极限，限制了太赫兹检测技术在超薄厚度薄膜领域的应用。
技术实现思路
1、针对现有技术中存在的不足，本专利技术提供了一种太赫兹检测薄膜厚度...
【技术保护点】
1.一种太赫兹检测薄膜厚度的方法，其特征在于，具体包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的太赫兹检测薄膜厚度的方法，其特征在于，所述步骤一中对厚薄膜进行太赫兹时域光谱检测得到其时域信号，时域信号中会存在两个脉冲信号；将时域上出现的第一个脉冲信号称为前脉冲信号，导出其波形数据。
3.根据权利要求1所述的太赫兹检测薄膜厚度的方法，其特征在于，所述步骤二中利用模型拟合程序对导出的前脉冲信号波形数据进行模型参数提取。
4.根据权利要求3所述的太赫兹检测薄膜厚度的方法，其特征在于，模型拟合程序采用高斯函数模型，通过高斯函数模型对选取的前脉冲信...
【技术特征摘要】
1.一种太赫兹检测薄膜厚度的方法，其特征在于，具体包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的太赫兹检测薄膜厚度的方法，其特征在于，所述步骤一中对厚薄膜进行太赫兹时域光谱检测得到其时域信号，时域信号中会存在两个脉冲信号；将时域上出现的第一个脉冲信号称为前脉冲信号，导出其波形数据。
3.根据权利要求1所述的太赫兹检测薄膜厚度的方法，其特征在于，所述步骤二中利用模型拟合程序对导出的前脉冲信号波形数据进行模型参数提取。
4.根据权利要求3所述的太赫兹检测薄膜厚度的方法，其特征在于，模型拟合程序采用高斯函数模型，通过高斯函数模型对选取的前脉冲信号波形进行拟合，提取其具体的模型参数。
5.根据权利要求1所述的太赫兹检测薄膜厚度的方法，其特征在于，所述步骤三中对薄薄膜进行太...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶云霞，夏友劲，王杉杉，戴子杰，任旭东，
申请(专利权)人：江苏大学，
类型：发明
国别省市：
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